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ECLIPSE LV150NA LED 与 LV150N LED
适用于多种反射观察场景的直立式显微镜。该显微镜系列是适用于半导体及材料检测的理想之选。
提高可用性并改进维护工作
凭借模块化设计和高显色性光源,LV150NA LED 和 LV150N LED 显微镜可在同一显微镜支架上实现多种互补性光学对比技术的应用。示例应用场景包括:采用专用反射对比技术检测半导体基板与器件封装、平板显示器 (FPD)、电子元件及创新材料。

LV150NA LED

LV150N LED
产品亮点

多种观察方法
通过使用 LV150NA LED 和 LV150N LED,可实现明场、暗场、偏振 (POL)、微分干涉 (DIC)、反射荧光及双光束干涉法等多种观察功能。

智能数字通信
通过 LV-ECON 控制器与 NIS-Elements 软件,可检测物镜、光照强度、光圈及反射对比参数。LV150N LED 使用 LV-NU5IN 和 LV-INAD 来检测物镜并报告相应信息。

Digital Sight 系列
搭配显微镜专用 Digital Sight 摄像头使用,可高效采集高清图像。可通过 NIS-Elements 软件处理图像,实现测量与分析功能。

丰富配件
相比于前代型号,最新款手动旋转物镜转换器可将定位精度*提升 50%。可根据观察方法和用途选配显微镜支架、LED 灯箱等其他配件。

CFI60-2 光学系列
Nikon 提供专为执行显微镜所需观察工作而精心设计的多款物镜。 镜头色差校正技术显著降低了色彩失真,实现了卓越的成像质量。

与晶圆加载器 NWL200 集成
通过与 NWL200 集成,LV150N LED 可满足多种晶圆检测需求,如微观检测。
*定位精度:从转动物镜转换器切换物镜后,到恢复为原物镜时的 FOV 变化量(例如:从 10 倍放大倍率切换至其他放大倍率后再恢复为 10 倍放大倍率时的 FOV 变化量)
| LV150N | LV150NA | |
| 主机: | 最大样品高度:38 mm(与 LVNU5A U5A 物镜转换器和 LV-S32 3x2 载物台/LV-S64 6x4 载物台一起使用时) *73 mm 与一个立柱一起使用时 用于调光、粗调和微调旋钮 左:粗微调/右:微调,40mm行程 粗调:14 mm/转(带扭矩调节、重聚焦机构) 微调:0.1 mm/转(1 μm/刻度) 载物台安装孔间距:70 x 94(4-M4螺丝固定) |
|
| 物镜转换器: | C-N6, LV-NU5N, LV-NBD5N, LV-NU5IN | LV-NU5A, LV-NU5AC, LV-NU5AI |
| 反射照明器: | LV-UEPI-N 高显色性LED光源 C-LL-I:寿命50,000小时 *1 明/暗场开关和链接孔径光阑(可居中)、视场光阑(可居中) 接受 ø 25 mm 滤光片(LV-C-LCB、ND4、ND16)、偏振器/分析器、λ 板、激发光平衡器; 配备噪音终结器 LV-UEPI2 高显色性LED光源 C-LL-I:寿命50,000小时 *1 荧光LED光源D-LEDI(带调光(PC可控)*option 明/暗场开关和链接孔径光阑(可居中),视场光阑(可居中), 与明场、暗场和落射荧光开关相匹配的自动光学元件切换功能 接受 ø 25 mm 滤光片(LV-C-LCB、ND4、ND16)、偏振器/分析器、λ 板、激发光平衡器; 配备噪音终结器 |
|
| 目镜镜筒: | LV-TI3 三目镜筒 (竖立图像, FOV: 22/25) LV-TT2 倾斜三目镜筒(竖立图像,FOV:22/25) C-TB 双目镜筒(倒置图像,FOV:22) P-TB 双目镜筒(倒置图像,FOV:22) P-TT2 三目镜筒(倒置图像,FOV:22) |
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| 载物台: | LV-S32 3x2 载物台(行程:75 x 50 mm,带玻璃板)ESDcompatible LV-S64 6x4 stage (Stroke: 150 x 100 mm with glass plate) ESD compatible LV-S6 6x6 stage (Stroke: 150 x 150 mm) ESD compatible |
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| 目镜: | CFI目镜系列 | |
| 物镜: | CFI60-2/CFI60 光学系统 物镜系列:根据观察方法组合 | |
| ESD 性能: | 1000 至 10V,0.2 秒内。 (不包括某些配件) | |
| 电能耗 | 1.2 A 75 W | |
| 重量: | 大约9.0 kg | |
*1:基于 Nikon 规定条件得出的估算值。
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