NEXIV VMZ-H系列

NEXIX VMZ-H3030达到NEXIV系列中的最高精度,兼具高度的易用性和高性能。

VMZ-H3030以高精度为核心

VMZ-H3030提供300mm x 300mm x 150mm(X,Y,Z)机型,以及一系列高质量的光学器件,标配有TTL(通过镜头的)扫描激光器。该系统设计用于提供极高精度测量。

NEXIV系列的最高精度

由于其独家的设计和结构,VMZ-H达到了NEXIV系列中的最高精度。

VMZ-H3030

产品亮点

VMZ-H_ringA

5种光学变焦系统

有5种类型可供选择,以满足不同的视场和分辨率要求。

highlight02_TTL_laser

快速高度测量

高精度、快速高度测量通过高精度透镜激光自动对焦实现,能够以每秒1000点的速度进行快速扫描。

测量困难样本的能力

利用尼康独家的照明配件,可以轻松测量难测的边缘和特征。

不间断自动测量

即使部件定位发生变化,也可以实现精确测量。

核心功能

VMZ-S 系列

VMA Series

远程控制SDK

VMZ-H3030

VMZ-K 系列

XYZ 量程300x300x150 mm
最小读数0.01 μm
最大载重量30 kg (精度保证: 10 kg)
最大允许误差
(20 kg以下)
EUX,MPE EUY,MPE: 0.6+2L /1000 μm
EUXY,MPE: 0.9+3L /1000 μm
EUZ,MPE: 0.9+L /150 μm
精度保证温度20 °C ± 0.5 K
最大驱动速度 XY, Z100 mm/s , 50 mm/s
最小驱动速度 XY, Z0.01 mm/s , 0.001 mm/s
相机VGA 1/3“ 黑白, 彩色 *彩色相机为选配,仅适用于 Type 1, 2 和 3.
工作距离Type 1, 2, 3: 50 mm (使用75度外环光时仅10 mm) /
Type 4: 30 mm
Type TZ: 31 mm (低倍物镜), 11 mm (高倍物镜)
自动对焦影像, 激光
电源AC 100 - 240 V ± 10% 50/60 Hz
功耗5A - 2.5 A
外型尺寸 (WxDxH) 和 重量 主机带底座: 1000 x 1125 x 1750 mm / 约 500 kg
控制箱: 190 x 450 x 440 mm / 约 15 kg
占地大小 (WxD)3000×2800 mm
光源
Type 1, 2, 3 和 4全白色LED反射, 透射, 3层8方向环光/Type 4 仅1层
Type TZ反射, 透射, 暗场
电源AC 100 - 240 V ± 10% 50/60 Hz
功耗5 A - 2.5 A
光学系统光学倍率视野大小主要应用
Type 1 0.5X - 7.5X9.33×7.01~0.622×0.467 mm模具, 机械零件 (家电, 汽车), PCB, 电子零件
Type 2 1X - 15X
4.67×3.5~0.311×0.233 mm
Type 3 2X - 30X2.33×1.75~0.155×0.117 mm电子零件
Type 4 4X - 60X1.165×0.875~0.078×0.058 mm高密度封装基板 (线宽,间距,高度)
Type TZ 1X - 120X4.67×3.5~0.039×0.029 mm 晶圆 (WLP, bump 高, 重布线模板, MEMS模板)

5 种光学系统可供选择. Type 1, 2,  3 提供低失真的清晰图像和大视野,Type 4 和 TZ 提供高倍率。5种光学系统应对不同的视野范围和倍率大小。

VMZ-H3030

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