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ECLIPSE LV150NA LED 및 LV150N LED
다양한 에피스코픽 관찰 용도의 정립형 현미경입니다. 반도체 및 재료 검사에 적합한 현미경입니다.
사용 편의성과 유지보수 성능 향상
모듈형 설계와 고연색성 광원이 특징인 LV150NA LED와 LV150N LED 현미경으로 하나의 현미경 스탠드에서 광학 대비 기술을 보완적으로 활용할 수 있습니다. 응용 분야의 예시로는 전용 에피스코픽 대비 기술을 사용하여 반도체 기판 및 장치 패키징, 평면 패널 디스플레이(FPD), 전자 부품 및 신소재 등을 검사하는 공정을 들 수 있습니다.
LV150NA LED
LV150N LED
제품 하이라이트
다양한 관찰 방식
LV150NA LED와 LV150N LED는 명시야, 암시야, 편광(POL), 미분 간섭 대비(DIC), 에피 형광 및 이중 빔 간섭계를 지원합니다.
지능형 디지털 커뮤니케이션
LV-ECON 컨트롤러와 NIS-Elements 소프트웨어로 대물 렌즈, 광도, 조리개, 에피 대비를 감지할 수 있습니다. LV150N LED는 LV-NU5IN 및 LV-INAD를 이용하여 대물 렌즈를 감지하여 보고합니다.
Digital Sight 시리즈
현미경용 Digital Sight와 함께 사용하면 고화질 이미지를 효율적으로 캡처할 수 있습니다. 이미지는 NIS-Elements 소프트웨어로 처리하여 측정하고 분석할 수 있습니다.
다양한 액세서리
최신 수동 회전형 노스피스의 정지 정밀도*는 이전 모델 대비 50% 높아졌습니다. 관찰 방식과 목적에 따라 현미경 스탠드, LED 램프하우스 같은 다른 액세서리도 선택할 수 있습니다.
CFI60-2 광학 시리즈
니콘에는 현미경 관찰용으로 설계된 다양한 대물 렌즈가 있습니다. 색수차 보정 기술을 통해 색 왜곡을 획기적으로 줄였으며, 더욱 선명하고 뛰어난 화질을 구현합니다.
웨이퍼 로더 NWL200의 통합
NWL200과 통합한 LV150N LED는 미세 결함 검사를 포함한 웨이퍼 검사 요구사항을 충족합니다.
*정지 정밀도: 노스피스를 회전시켜 대물 렌즈를 교체한 후 다시 기존 대물 렌즈로 되돌렸을 때 발생하는 FOV 변화량(예: 10배율에서 다른 배율로 전환했다가 다시 10배율로 복귀했을 때의 FOV 변화값)
| LV150N LED | LV150NA LED | |
| 베이스 유닛 | 샘플 최대 높이: 38mm(LVNU5A U5A 노즈피스 및 LV-S32 3x2 스테이지/LV-S64 6x4 스테이지와 사용 시) *컬럼 라이저 1개와 사용 시 73mm 조광기용 12V50W 내부 전원, 조동 및 미동 조정 나사 왼쪽: 조동 조정 및 미동 조정/오른쪽: 미동 조정, 40mm 스트로크 조동 조정: 14Mm/회전(토크 조절, 초점 재조정 메커니즘) 미동 조정: 0.1mm/회전(1μm/눈금) 스테이지 마운팅 구멍 간격: 70 x 94(4-M4 나사로 고정) |
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| 노즈피스 | C-N6, LV-NU5N, LV-NBD5N, LV-NU5IN | LV-NU5A, LV-NU5AC, LV-NU5AI |
| 에피스코픽 조명 | LV-UEPI-N 고연색 LED 램프하우스 C-LL-I (수명 50,000시간)*1 명시야/암시야 전환 및 연동 개구 조리개, 시야 조리개(센터링 가능) ø25mm 필터(LV-C-LCB, ND4, ND16) 삽입 가능 폴라라이저/애널라이저 삽입 가능, 노이즈 터미네이터 탑재 LV-UEPI2 고연색 LED 램프하우스 C-LL-I (수명 50,000시간)*1 형광 LED 광원: D-LEDI(조광 기능 포함(PC 제어 가능))※옵션 명시야/암시야 전환 및 연동 개구 조리개(센터링 가능)/시야 조리개(센터링 가능) 명시야/암시야/낙사 형광 전환에 따른 자동 광학소자 전환 기능 ø25 mm 필터(LV-C-LCB, ND4, ND16) 삽입 가능 폴라라이저/애널라이저/λ 플레이트 삽입 가능, 여기광 밸런서 삽입 가능 노이즈 터미네이터 탑재 |
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| 접안렌즈 튜브 | LV-TI3 삼안 현미경 접안렌즈 튜브 ESD(정립상, FOV: 22/25) LV-TT2 틸팅 삼안 현미경 접안렌즈 튜브(정립상, FOV: 22/25) C-TB 쌍안 현미경 튜브(도립상, FOV: 22) P-TB 쌍안 현미경 튜브(도립상, FOV: 22) P-TT2 삼안 현미경 튜브(도립상, FOV: 22) |
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| 스테이지 | LV-S32 3x2 스테이지(스트로크: 75 x 50mm, 유리 플레이트) ESD 호환 LV-S64 6x4 스테이지(스트로크: 150 x 100mm, 유리 플레이트) ESD 호환 LV-S6 6x6 스테이지(스트로크: 150 x 150mm) ESD 호환 |
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| 접안렌즈 | CFI 접안렌즈 시리즈 | |
| 대물렌즈 | 산업용 CFI60-2/CFI60 현미경 광학 시스템 대물렌즈 시리즈: 관찰 방식에 따른 조합 | |
| ESD 성능 | 1000~10V, 0.2초 이내(특정 액세서리 제외) | |
| 소비전력 | 1.2A 75W | |
| 무게 | 약 9.0kg | |
*1: 니콘 자체 기준에 근거한 측정값입니다.
LV150NA LED, LV150N LED(단위: mm)
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