NEXIV VMZ-S 시리즈

니콘의 NEXIV VMZ-S 시리즈 화상 측정 시스템은 마이크로 수준의 검사 응용 분야를 위한 고정밀성, 속도, 사용성을 제공합니다.
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다양한 피검물에 맞는 범용성

VMZ는 3가지 타입의 측정 범위(measurement envelope)를 다양한 고품질 광학 장치와 함께 제공하며, TTL 측광(Through The Lens) 방식의 스캐닝 레이저를 표준으로 구성하고 있습니다.

VMZ-S 시리즈는 갈수록 까다로워지는 검사 응용 분야에 대응하기 위해 고정밀 및 고속으로 측정이 가능하므로 다양한 산업 분야에서 사용되고 있습니다.

제품 하이라이트

VMZStype2head

광학 줌 시스템의 6가지 유형

이 시스템은 고정밀 측정을 제공하기 위해 특별히 고안된 니콘 광학 기술을 사용하여 완전히 새롭게 설계되었습니다.

TTL_laser

고속 높이 측정

초당 1,000 포인트의 초고속 스캔이 가능한 TTL 측광(Through The Lens) 방식의 레이저 자동초점으로 고정밀의 고속 높이 측정이 가능합니다.

까다로운 샘플을 측정할 수 있는 기능

니콘의 고유한 조명 옵션을 사용하여 까다로운 가장자리와 형상을 쉽게 측정할 수 있습니다.

연속 자동 측정

구성품 위치의 변동에도 불구하고 정확한 측정이 가능합니다.

핵심 기능

VMZ-S 시리즈

원격 제어 SDK

모델VMZ-S3020VMZ-S4540VMZ-S6555
XYZ 스트로크300×200×200mm *저배율 렌즈를 사용하는 타입 TZ: 250×200×200mm450x400x200mm *저배율 렌즈를 사용하는 타입 TZ: 400x400x200mm650x550x200mm *저배율 렌즈를 사용하는 타입 TZ: 600x550x200mm
최소 판독값0.01 μm
최대 샘플 중량20kg (정확도 보장: 5kg)40kg (정확도 보장: 20kg)50kg (정확도 보장: 30kg)
최대 허용 오차[L: 길이(mm)]EUX, MPE EUY, MPE 1.2 + 4L / 1000 µm
EUXY, MPE 2.0 + 4L / 1000 µm
EUZ, MPE1.2 + 5L / 1000 µm
프로빙 오차 1),2): MPE PF2D 0.8 µm
이미징 프로브 1),2)의 프로빙 오차 MPE PFV2D 0.3 µm
카메라흑백 / 컬러 1/3 CMOS 카메라
작동 거리타입 1, 2, 3: 50mm
타입 4: 30mm
타입 TZ: (고배율) 11mm / (저배율) 32mm
타입 A: 73.5mm(레이저 AF의 경우 63mm)
레이저 AF 반복성 범위 1),3)2σ ≦ 0.5 µm
조명타입 1, 2, 3, 4: 3개의 각도를 갖는 에피스코픽, 디아스코픽 및 8 세그먼트 링 조명 *전체 백색 LED/타입 4에는 단일 각도 타입 TZ만 있음
타입 TZ: 왼쪽 대물렌즈: 에피스코픽, 암시야fi ; 오른쪽 대물렌즈: 에피스코픽, 디아스코픽, 암시야fi
타입 A: 1개의 각을 갖는 에피스코픽, 디아스코픽 및 8 세그먼트 링 조명 *전체 백색 LED
전원,
소비전력
AC100 V-240 V, 50/60 Hz / 4 A − 2 A
치수 & 중량본체와 테이블(가로×세로×높이): 700×730×1793mm/약 265kg 컨트롤러: 190×450×450mm/약 12kg본체와 테이블(가로×세로×높이): 1000×1340×1818mm/약 510kg 컨트롤러: 190×450×450mm/약 12kg본체와 테이블(가로×세로×높이): 1200×1640×1818mm/약 740kg 컨트롤러: 190×450×450mm/약 12kg
설치면적(가로×세로 4)2700×2400 mm
3000×3000 mm
3200×3300 mm
VMZ-S3020 Dimensions in mm
VMZ-S3020 치수 단위는 mm
VMZ-S4540 Dimensions in mm
VMZ-S4540 치수 단위는 mm
VMZ-S6555 Dimensions in mm
VMZ-S6555 치수 단위는 mm

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