NEXIV VMZ-H3030

향상된 사용성과 성능을 통해 NEXIX VMZ-H3030은 니콘의 NEXIV 시리즈 중 최고의 정밀도를 제공합니다.
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VMZ-H3030은 고정밀도가 필요한 분야에 표준을 제시합니다

VMZ-H3030은 300x300x150mm(X,Y,Z) 측정 범위와 다양한 고품질 광학 장치를 제공하며 TTL 측광(Through The Lens) 방식의 스캐닝 레이저가 표준으로 구성되어 있습니다. 이 시스템은 최상의 고정밀 측정을 제공하도록 설계되었습니다.

NEXIV 시리즈를 사용한 최고의 정밀도

VMZ-H는 전용의 특별한 디자인과 구조로 NEXIV 시리즈 중에서도 최고의 정밀도를 제공합니다.

VMZ-H3030

제품 하이라이트

VMZ-H_ringA

광학 줌 시스템의 5가지 타입

5가지 타입의 광학 줌 시스템을 사용하여 다양한 시야각 및 해상도 요구사항을 처리할 수 있습니다.

highlight02_TTL_laser

고속 높이 측정

초당 1,000 포인트의 초고속 스캔이 가능한 TTL 측광(Through The Lens) 방식의 레이저 자동초점으로 고정밀의 고속 높이 측정이 가능합니다.

까다로운 샘플을 측정할 수 있는 기능

니콘의 고유한 조명 옵션을 사용하여 까다로운 가장자리와 형상을 쉽게 측정할 수 있습니다.

연속 자동 측정

구성품 위치의 변동에도 불구하고 정확한 측정이 가능합니다.

핵심 기능

VMZ-H3030

원격 제어 SDK

XYZ 스트로크300x300x150 mm
최소 판독값0.01 μm
최대 샘플 중량30kg(정확도 보장: 10kg)
최대 허용 오차
(20kg 미만 샘플의 경우)
EUX,MPE EUY,MPE: 0.6+2L /1000 μm
EUXY,MPE: 0.9+3L /1000 μm
EUZ,MPE: 0.9+L /150 μm
정확도 보장 온도20 °C ± 0.5 K
최대 실행 속도 XY, Z100 mm/s , 50 mm/s
최소 실행 속도 XY, Z0.01 mm/s , 0.001 mm/s
카메라VGA 1/3“ 흑백, 컬러, XGA 1/3“ 흑백, 컬러 *컬러 카메라 옵션은 타입 1, 2, 3에서만 가능.
작동 거리타입 1, 2, 3: 50mm(75도 LED 조명 사용 시 10mm) /
타입 4: 30mm
타입 TZ: 31mm(저배율), 11mm(고배율)
자동 초점비전 AF, 레이저 AF
전원AC 100 - 240 V ± 10% 50/60 Hz
소비전력5A - 2.5 A
치수(가로x세로x높이) 및 중량본체 및 테이블: 1000 x 1125 x 1750 mm / 약 500kg
컨트롤러: 190 x 450 x 440mm / 약 15kg"
설치면적 (가로x세로)3000×2800 mm
조명
타입 1, 2, 3, 43개의 각도를 갖는 에피스코픽, 디아스코픽 및 8 세그먼트 링 조명 *전체 백색 LED/타입 4에는 단일 각도 타입 TZ만 있음
타입 TZ에피스코픽, 디아스코픽, 암시야
전원AC 100 - 240 V ± 10% 50/60 Hz
소비전력5 A - 2.5 A
줌 헤드광학 배율FOV적용
타입 1 0.5X - 7.5X9.33×7.01~0.622×0.467 mm금형, 기계부품(가전용, 자동차용), PCB, 전자부품
타입 2 1X - 15X
4.67×3.5~0.311×0.233 mm
타입 3 2X - 30X2.33×1.75~0.155×0.117 mm전자부품
타입 4 4X - 60X1.165×0.875~0.078×0.058 mm고밀도 패키지 기판(선, 폭, 높이)
타입 TZ 1X - 120X4.67×3.5~0.039×0.029 mm 웨이퍼 패턴(WLP, 범프 높이, 재배선 마스크, MEMS 마스크)

광학 줌 시스템의 5가지 타입. 타입 1, 2, 3은 선명하고 왜곡이 적은 이미지와 높은 개구수를 제공합니다. 타입 4 및 TZ는 고배율을 다루도록 설계되었습니다. 5가지 타입을 선택하여 다양한 시야각 및 해상도 요구사항을 처리할 수 있습니다.

VMZ-H3030 치수 단위는 mm

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