CFI60-2, 위상 프레넬 렌즈 요소
색수차 보정: 위상 프레넬 방식과 기존 디자인의 두 가지 렌즈 유형의 조합을 사용하여 각 요소의 색수차를 보정하므로 색상 왜곡이 크게 감소하고 우수한 품질의 이미지를 얻을 수 있습니다.
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ECLIPSE L300ND, L300N 및 L200ND, L200N
니콘의 ECLIPSE L300ND, L300N 및 L200ND, L200NA는 반도체 현미경 제품군으로 집적 회로(IC), 평판 디스플레이(FPD), 대규모집적회로(LSI) 전자 장치, 기타 응용 분야의 검사에 적합합니다.
최신 제작품 검사를 위한 고급 반도체 현미경
탁월한 니콘 CFI60-2 광학 장치는 분석 소프트웨어를 이용하여 접안렌즈와 니콘의 디지털 이미징 카메라 모두에 우수한 이미지를 전달합니다. 이러한 우수한 광학 장치를 탁월한 조명 시스템과 결합하면 대비와 해상도가 뛰어난 이미지를 얻을 수 있습니다.
제품 하이라이트
범용 광학 대비 방법
반사광: 명시야, 암시야, 편광(POL), 차등 간섭 대비(DIC), 에피 형광 및 이중 빔 간섭계. 투과광: 명시야, 암시야, 편광, 차등 간섭 대비 및 위상차.
인체공학적 설계 컨셉
사용자 제어장치의 최적 위치 설정과 가변각 아이 튜브를 이용하여 피로감 없는 작업이 가능합니다. 항상 정면의 정방향 이미지를 제공하므로 원료, 반도체 및 산업용 부품을 정확하게 관찰할 수 있습니다.
Digital Sight 시리즈
현미경용 Digital Sight와 함께 사용하면 고화질 이미지를 효율적으로 캡처할 수 있습니다. 이미지는 NIS-Elements 소프트웨어로 처리하여 측정하고 분석할 수 있습니다.
지능형 디지털 커뮤니케이션
이 현미경은 USB를 통해 니콘의 NIS-Elements 소프트웨어에 연결하면 사용 중인 대물렌즈, 광도, 에피스코픽 조명, 조리개를 감지하고 제어합니다.
니콘 CFI60-2 광학 시리즈
니콘의 혁신적인 설계로 고대비, 명시야, 암시야, 편광(POL), 차등 간섭 대비(DIC), 이중 빔 간섭측정 광학 대비를 포함한 선명한 영상 기법을 이용할 수 있습니다.
L200N과 웨이퍼 로더 NWL200의 통합
니콘의 웨이퍼 로더는 반도체 산업에서 인정과 신뢰를 받고 있으며 오늘날 많은 현장에서 사용되고 있습니다.
핵심 기능
CFI60-2, 위상 프레넬, 긴 작동 거리 표준
긴 작동거리: 위상 프레넬 렌즈 요소와 기존 렌즈 요소 간의 거리가 매우 짧기 때문에 기존 디자인에 비해 훨씬 긴 작동 거리가 확보됩니다.
현미경 전면에 배치된 컨트롤
용이한 접근을 위해 기능 제어 버튼이 현미경 전면에 배치되어 빠르고 편리하게 작업할 수 있습니다. 컨트롤이 현미경 베이스에 위치하므로, 손 동작이 최소화되어 검사에만 집중할 수 있습니다.
간편하고 정확한 초점 조정을 위한 광학 목표물
조명 경로에 있는 광학 목표물을 사용하면 베어 웨이퍼(bare wafer) 등의 저대비 샘플에 빠르고 정확하게 초점을 맞출 수 있습니다. 이는 사용자에게 샘플이 정확한 초점 위치에 있다는 확신을 주므로 상당한 시간을 절약할 수 있습니다.
재료 오염 방지
L-시리즈는 관찰되는 재료에 대한 작업자 오염을 최소화하도록 설계되었습니다. 주요 특징에는 본체, 스테이지, 접안 경통 및 기타 액세서리에 적용된 정전기 방지 코팅이 포함됩니다. 노즈피스 디자인은 사용 중에 생성되는 재료 파편도 잡아냅니다.
인체공학적 XY 정밀 스테이지 이동 제어
정밀 XY 이동을 위한 스테이지 하강 조절은 현미경의 정밀 초점조절 나사와 연동되어 고정된 상태로 유지됩니다. 이를 통해 작업자는 손을 움직이지 않고도 이미지에 초점을 맞추고 스테이지 위치를 조정할 수 있습니다.
| L300N | L200N | L300ND | L200ND | ||
| Illumination type | Episcopic | Episcopic/Diascopic | |||
| Main body | Power sources for motorized control built-in Motorized control for nosepiece, Light intensity control, Aperture diaphragm control, Episcopic/Diascopic change-over (L300ND/L200ND only) |
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| Nosepiece | General | Motorized universal sextuple nosepiece | |||
| Centering Function | Yes | - | Yes | - | |
| EPI/DIA changeover | - | - | Yes | Yes | |
| Focusing mechanism | Cross travel | 29 mm | |||
| Coarse | 12.7 mm per rotation (torque adjustable, refocusing mechanism provided) | ||||
| Fine | 0.1 mm per rotation (in 1 μm increments) | ||||
| Episcopic illuminator | 12V-50W halogen lamp light source built in, LV-LL LED Lamphouse Observation methods: Brightfield, Darkfield, Simple polarizing, DIC, Epi-fluorescence (L300N/L300ND/L200ND only) |
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| Diascopic illuminator | - | 12V-50W halogen lamp light source built-in LV-LL LED Lamphouse |
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| Interface | USB x 1, RS232C (for Intensilight) x 1 | ||||
| Eyepiece tubes | L2-TTA tilting trinocular tube (tilt angle: 0-30 °) L2-TT4A tilting trinocular tube (tilt angle: 0-30 °) with centering and focus adjustment mechanism LV-TI3 trinocular tube (erected image) |
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| Stages | L3-S12 14 x 12 stage | L2-S8A 8 x 8 stage | L3-S12 14 x 12 stage | L2-S8A 8 x 8 stage | |
| LV-SHA stage handle adapter attachable to all stages | |||||
| Eyepieces | CFI eyepiece lens series | ||||
| Objective lenses | CFI60-2 / CFI60 objective lens series | ||||
| Antistatic mechanism | 1000-10 V, within 0.2 sec | ||||
| Power consumption | 1.2 A / 90 W | ||||
| Weight (approx.) | Body Only | 38 kg | 31 kg | 40 kg | 31 kg |
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