NEXIV VMZ-K Serie

Die NEXIV-K Serie ist in der Lage, 3D-Inspektionen mit hoher Geschwindigkeit und hoher Auflösung durchzuführen.
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Bahnbrechendes, multifunktionales, konfokales Video-Messsystem

Dieses Messsystem verfügt über konfokale Technologie, Hellfeld-Bildgebung mit einem 15-fachen Zoom und Laser-Autofokus. Ganz gleich, welche geometrischen Messungen erforderlich sind, ob 2D oder 3D, die Inspektion und Auswertung erfolgt außergewöhnlich schnell und genau.

Die konfokale Optik ermöglicht eine klare Darstellung und erleichtert die genaue Erkennung von kontrastreichen Kanten.

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Produkthighlights

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Feine Bump- und Substratmuster

Eine Kombination aus 2D-Messung mit einem 15-fachen Zoom-Hellfeldbild und 3D-Höhenmessung im selben Sichtfeld ermöglicht vielfältige Messungen.

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Probe Cards

Die Programmierung kann mit einem Klick aus den Standortdaten erfolgen. Die XYZ-Koordinaten und die Koplanarität der Kontaktstifte auf den Tasterkarten können mit einzigartigen Tools zur Bildverarbeitung automatisch gemessen werden.

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Präzises PCB-Muster

Die einzigartige konfokale Bildgebungstechnologie von Nikon ermöglicht es, sowohl stark reflektierende als auch schwach reflektierende Oberflächen genau zu scannen.

Wesentliche Eigenschaften

VMZ-K Serie

Objektive
StandardkopfHochvergrößernder Kopf
Vergrößerung 1,5 x3 x7,5 x15 x30 x
Arbeitsabstand 24 mm24 mm5 mm20 mm5 mm
Konfokale Optik (Flächen-Höhen-Messung)
Standardkopf Hochvergrößernder Kopf
Sichtfeld 8 x 6mm
4 x 3mm1,6 x 1,2 mm0,8 x 0,6 mm0,4 x 0,3 mm
Wiederholgenauigkeit der Höhenmessung (2u03c3)0.6u00b5m
0.35u00b5m 0.25u00b5m 0.20u00b5m
Auflösung der Höhenmessung0.01u00b5m
Hellfeld-Optik (2D-Messung)
StandardkopfHochvergrößernder Kopf
Zoom-MethodeMotorisierter 5-stufiger Zoom
Sichtfeld 8 x 6mm bis
0,53 x 0,4 mm
4 x 3mm bis
0,27 x 0,2 mm
1,6 x 1,2 mm bis
0,11 x 0,08 mm
1,26 x 0,95 mm bis
0,1 x 0,074 mm
0,63 x 0,47 mm bis
0,05 x 0,04 mm
BeleuchtungWeiße LED diaskopische und episkopische Beleuchtung für alle Typen,
Weißes LED-Ringlicht für Typ 1.5x, 3x und 7.5x
Lichtquelle
Weiße LED
AutofokusVision AF und TTL-Laser-AF (Scan-Modus verfügbar)
Grundkörper
VMZ-K3040VMZ-K6555
Messwege (X, Y, Z)300 x 400 x 150mm
Garantierte Ladekapazität 20kg30kg
Maximal zulässige Abweichung EUX,MPE EUY, MPE 1.5 + 4L/1000u00b5m
EUXY, MPE 2.5 + 4L/1000u00b5m
EUZ, MPE 1 + L/1000u00b5m
Stromquelle / StromverbrauchAC 100 bis 240 V u00b1 10% 50/60 Hz / 13A bis 6,5A
Stellfläche (Footprint)2500 x 1600mm2500 x 1900mm
VMZ-K3040
VMZ-K6555

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