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NEXIV VMZ-K Serie
Bahnbrechendes, multifunktionales, konfokales Video-Messsystem
Dieses Messsystem verfügt über konfokale Technologie, Hellfeld-Bildgebung mit einem 15-fachen Zoom und Laser-Autofokus. Ganz gleich, welche geometrischen Messungen erforderlich sind, ob 2D oder 3D, die Inspektion und Auswertung erfolgt außergewöhnlich schnell und genau.
Die konfokale Optik ermöglicht eine klare Darstellung und erleichtert die genaue Erkennung von kontrastreichen Kanten.
Produkthighlights
Feine Bump- und Substratmuster
Eine Kombination aus 2D-Messung mit einem 15-fachen Zoom-Hellfeldbild und 3D-Höhenmessung im selben Sichtfeld ermöglicht vielfältige Messungen.
Probe Cards
Die Programmierung kann mit einem Klick aus den Standortdaten erfolgen. Die XYZ-Koordinaten und die Koplanarität der Kontaktstifte auf den Tasterkarten können mit einzigartigen Tools zur Bildverarbeitung automatisch gemessen werden.
Präzises PCB-Muster
Die einzigartige konfokale Bildgebungstechnologie von Nikon ermöglicht es, sowohl stark reflektierende als auch schwach reflektierende Oberflächen genau zu scannen.
Wesentliche Eigenschaften
Objektive |
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Standardkopf | Hochvergrößernder Kopf | ||||
Vergrößerung | 1,5 x | 3 x | 7,5 x | 15 x | 30 x |
Arbeitsabstand | 24 mm | 24 mm | 5 mm | 20 mm | 5 mm |
Konfokale Optik (Flächen-Höhen-Messung) |
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Standardkopf | Hochvergrößernder Kopf |
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Sichtfeld | 8 x 6mm | 4 x 3mm | 1,6 x 1,2 mm | 0,8 x 0,6 mm | 0,4 x 0,3 mm |
Wiederholgenauigkeit der Höhenmessung (2u03c3) | 0.6u00b5m | 0.35u00b5m | 0.25u00b5m | 0.20u00b5m |
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Auflösung der Höhenmessung | 0.01u00b5m |
Hellfeld-Optik (2D-Messung) |
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Standardkopf | Hochvergrößernder Kopf |
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Zoom-Methode | Motorisierter 5-stufiger Zoom |
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Sichtfeld | 8 x 6mm bis 0,53 x 0,4 mm | 4 x 3mm bis 0,27 x 0,2 mm | 1,6 x 1,2 mm bis 0,11 x 0,08 mm | 1,26 x 0,95 mm bis 0,1 x 0,074 mm | 0,63 x 0,47 mm bis 0,05 x 0,04 mm |
Beleuchtung | Weiße LED diaskopische und episkopische Beleuchtung für alle Typen, Weißes LED-Ringlicht für Typ 1.5x, 3x und 7.5x |
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Lichtquelle | Weiße LED | ||||
Autofokus | Vision AF und TTL-Laser-AF (Scan-Modus verfügbar) |
Grundkörper |
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VMZ-K3040 | VMZ-K6555 | |
Messwege (X, Y, Z) | 300 x 400 x 150mm |
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Garantierte Ladekapazität | 20kg | 30kg |
Maximal zulässige Abweichung | EUX,MPE EUY, MPE 1.5 + 4L/1000u00b5m | |
EUXY, MPE 2.5 + 4L/1000u00b5m | ||
EUZ, MPE 1 + L/1000u00b5m | ||
Stromquelle / Stromverbrauch | AC 100 bis 240 V u00b1 10% 50/60 Hz / 13A bis 6,5A | |
Stellfläche (Footprint) | 2500 x 1600mm | 2500 x 1900mm |
Zugehörige Produkte
NEXIV VMZ-S Serie
iNEXIV VMA Serie
NEXIV VMZ-H3030
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