ECLIPSE LV150NA und LV150N

Eine Serie von flexiblen, modularen, aufrechten Mikroskopen für verschiedene episkopische optische Kontrastverfahren (BF-DF-DIC-POL-Fluoreszenz-Interferometrie). Zusammen mit dem digitalen Bildverarbeitungszubehör und den großen X-Y-Verfahrwegen sind die Geräte ideal für die Halbleiter- und Materialprüfung geeignet.

Modulare, motorisierte und manuell aufrechte Mikroskope

Die hervorragenden Optiken der Nikon CFI60-2 Serie liefern exzellente Bilder für beide Okulare und für die digitalen Nikon-Kameras mit Analyse-Software. Dank des modularen Aufbaus ermöglicht das Universalmikroskop ergänzende optische Kontrastverfahren auf einem Mikroskopstativ.

Nikon ECLIPSE LV150NA und LV150N

Diese Mikroskope mit episkopischer Beleuchtung finden Ihren Einsatz für die Prüfung von Halbleitern, industriellen Materialien und Komponenten. Sie eignen sich auch für Anwendungen in Forschung und Entwicklung.

Nikon CFI60-2 Objektiv-Serie

Nikons innovatives Design ermöglicht kristallklare Abbildungen mit unterschiedlichen Kontrastverfahren, einschließlich kontrastreiche Hellfeld-, Dunkelfeld-, Polarisations- (POL), Interferenzkontrast- (DIC) und Zweistrahl-Interferometrie-Verfahren.

Nikon Digital Sight Kameras

Die gesamte Palette der Digital-Sight-Kameras von Nikon kann Bilder einer Probe aufnehmen und an die Bildverarbeitungs-Software der NIS-Elements-Suite übermitteln. Bei Verwendung des LV-ECON E-Controllers können auch Daten zu den verwendeten Objektiven, den eingestellten Vergrößerungen und Beleuchtungseinstellungen automatisch an die Software übermittelt und von ihr gesteuert werden.

Integration von LV150N und Wafer-Loader NWL200

Nikons Wafer-Loader sind in der gesamten Halbleiterindustrie anerkannt und bewährt, und viele Installationen sind heute im Einsatz.

Produkthighlights

Universelle optische Kontrastverfahren

Reflektiertes Licht: Hellfeld, Dunkelfeld, Polarisation (POL), differenzieller Interferenzkontrast (DIC), Epi-Fluoreszenz und Zweistrahl-Interferometrie.

Modulares Komponentenzubehör

Vom Lampenhaus bis zum Okular werden die Komponenten so ausgewählt, dass sie der Anwendung des Benutzers entsprechen. Dazu gehören Stative, Tische, Objektive, Objektivrevolver, Einblicktuben, Okulare, Digitalkameras, Filter und Zubehör für Kontrastverfahren.

Intelligente digitale Kommunikation

Mit Hilfe eines LV-ECON E-Controllers können die Mikroskope LV150NA und LV150N die Objektive, die Lichtintensität, die Blende und den Epi-Kontrast über die Nikon-Software NIS-Elements erkennen und steuern. Das LV150N erkennt und meldet die Objektivlinse mit Hilfe des LV-NU5I und LV-INAD.

Ergonomisches Design

Die optimale Positionierung der Bedienelemente und der variable Winkel des Einblicktubus ermöglichen ein ermüdungsfreies Arbeiten. Seitenrichtige aufrechte Bilder ermöglichen die korrekte Beobachtung von Rohstoffen, Halbleitern und industriellen Komponenten.

Wesentliche Eigenschaften

Inspektionen von Materialien und Halbleitersubstraten

Zu den Anwendungsbeispielen gehören die Inspektion von Halbleitersubstraten und -gehäusen, Flachbildschirmen (FPD), elektronischen Bauteilen und innovativen Materialien mit speziellen episkopischen Kontrastverfahren.

Aufrechte Mikroskope LV-N Serie

Digital Sight Serie

NIS Elements

NWL200 Wafer Loader Serie

LV150NLV150NA
Grundeinheit:Maximale Objekthöhe: 38 mm (bei Verwendung mit Objektivrevolver LVNU5A U5A und Objekttisch LV-S32 3x2 / LV-S64 6x4)
*73 mm bei Verwendung mit einer Stativerhöhung
12V50W interne Stromquelle für Dimmer, Grob- und Feineinstellknöpfe
Links: Grob- und Feineinstellung / Rechts: Feineinstellung, 40 mm Hub
Grobeinstellung: 14 mm/Umdrehung (mit Drehmomenteinstellung, Nachfokussierungsmechanismus) Feineinstellung: 0,1 mm/Umdrehung (1 u03bcm/Abstufung)
Abstand der Befestigungslöcher für den Tisch: 70 x 94 (mit 4-M4-Schraube befestigt)
Objektivrevolver:C-N6 ESD Sextuple Objektivrevolver ESD
LV-NU5 Universal fünffach Objektivrevolver ESD
LV-NBD5 BD fünffach Objektivrevolver ESD
LV-NU5I Intelligenter Universal fünffachObjektivrevolver ESD
LV-NU5A Motorisierter Universal fünffach Objektivrevolver ESD
LV-NU5A Motorisierter Universal fünffach Objektivrevolver ESD
Episkopisches Beleuchtungsmodul:LV-UEPI-N
LV-LH50PC 12V50W Vorzentriertes Lampenhaus, LV-LL LED-Lampenhaus
Hell-/Dunkelfeldumschalter und verbundene Aperturblende (zentrierbar), Leuchtfeldblende (zentrierbar)
Geeignet für u00f8 25-mm-Filter (NCB11, ND16, ND4), Polarisator/Analysator, u03bb Lambdaplatte, Anregungslichtbalancer; ausgestattet mit Rauschunterdrücker

LV-UEPI2
LV-LH50PC 12V50W Vorzentriertes Lampenhaus, LV-LL LED-Lampenhaus
HG vorzentrierte Faser-Beleuchtung: C-HGFIE (mit Lichteinstellung) *Option
Fluoreszenz-LED-Lichtquelle D-LEDI (mit Lichteinstellung (PC-steuerbar) *nur LV150N)
Hell-/Dunkelfeldumschalter und verbundene Aperturblende (zentrierbar), Leuchtfeldblende (zentrierbar),
Automatischer Wechsel der optischen Elemente für Hellfeld, Dunkelfeld und Epi-Fluoreszenz
Geeignet für u00f8 25-mm-Filter (NCB11, ND16, ND4), Polarisator/Analysator, u03bb Lambdaplatte, Anregungslichtbalancer; ausgestattet mit Rauschunterdrücker
Okulartuben:LV-TI3 trinokularer Okulartubus ESD (aufrechtes Bild, FOV: 22/25)
LV-TT2 TT2 schwenkbarer trinokularer Okulartubus (aufrechtes Bild, FOV: 22/25)
C-TB Binokulartubus (Inverses Bild, FOV: 22)
P-TB Binokulartubus (Inverses Bild, FOV: 22)
P-TT2 Trinokulartubus (Inverses Bild, FOV: 22)
Objekttische:LV-S32 3x2 Tisch (Hub: 75 x 50 mm mit Glasplatte) ESD-kompatibel
LV-S64 6x4 Tisch (Hub: 150 x 100 mm mit Glasplatte) ESD-kompatibel
LV-S6 6x6 Tisch (Hub: 150 x 150 mm) ESD-kompatibel
Okulare:CFI Okular Serie
Objektive:CFI60-2/CFI60 Objektivserie für Industriemikroskope: Kombinationen in Übereinstimmung mit der Beobachtungsmethode
ESD Performance:1000 bis 10V, innerhalb von 0,2 Sek. (ohne bestimmtes Zubehör)
Stromverbrauch:
1,2 A/75 W
Gewicht:Ca. 8,6 kgCa. 8,7 kg
LV150N, LV150NA

Zugehörige Produkte

Mikroskop-Komponenten

Die Mikroskop-Komponenten von Nikon werden für die Integration der Mikroskope in Fertigungsanlagen oder Überwachungssysteme verwendet, die eine außergewöhnlich hohe Präzision erfordern.
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NWL_L200N

NWL200 Wafer Loader Serie

Nikons innovative, voll ausgestattete NWL200 Waferloader unterstützen die umfassende Inspektion von Halbleiterwafern mit einem Durchmesser von 6" (150 mm) und 8" (200 mm) mit Hilfe eines optischen Mikroskops oder eines Videomesssystems, z. B. Nikon NEXIV.
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Software

Die NIS-Elements Software verwaltet Nikon Digital Sight Kameras zusammen mit Nikon Mikroskopen, um die besten Bilder für die Verarbeitung zu erfassen. Sie organisiert die aufgenommenen Bilder und verarbeitet sie logisch in einem reibungslosen Arbeitsablauf.
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