NEXIV VMZ-NWL200

VMZ-NWL200 เป็นระบบการวัดเวเฟอร์อัตโนมัติที่รวมระบบการวัดขนาด 3 มิติ "NEXIV" และตัวโหลดเวเฟอร์ "NWL200" NEXIV ซึ่งมีเทคโนโลยีการประมวลผลภาพขั้นสูง จะทำการวัดเวเฟอร์ขนาด 6 นิ้ว หรือ 8 นิ้ว ที่อยู่ในแท่นจับยึดด้วยความเร็วสูงและมีความแม่นยำสูงโดยอัตโนมัติ

ความน่าเชื่อถือ ประสิทธิภาพ และความสามารถในการทำงานสูง

ระบบการวัดด้วยเครื่องวัดขนาด 3 มิติ NEXIV  ซึ่งใช้กันอย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ทั่วโลก ได้รับการบูรณาการเข้ากับระบบการโหลดเวเฟอร์อัตโนมัติ NWL200 ที่ได้รับการพิสูจน์แล้วจาก Nikon

ผลลัพธ์ที่ได้คือ VMZ-NWL200 ซึ่งเป็นการตรวจวัดที่เป็นนวัตกรรมใหม่ซึ่งมีความน่าเชื่อถือและประสิทธิภาพเป็นเลิศ นอกจากนี้ ซอฟต์แวร์ที่พัฒนาขึ้นเป็นพิเศษยังช่วยลดความยุ่งยากในการดำเนินการที่ซับซ้อนซึ่งจำเป็นสำหรับการควบคุมกระบวนการ ข้อมูลคุณภาพสูงจะถูกป้อนกลับเข้าสู่สายการผลิตได้เร็วขึ้น ส่งผลให้ได้ผลผลิตสูงสุด

จุดเด่นของผลิตภัณฑ์

ความน่าเชื่อถือสูง

เนื่องจากการวัดค่าโดยอัตโนมัติและสม่ำเสมอ VMZ-NWL200 จึงขจัดความแปรปรวนของผลลัพธ์ เนื่องจากการอ่านที่แตกต่างกันของผู้ปฏิบัติงาน นอกจากนี้ Nikon ยังใช้ประโยชน์จากจุดแข็งในฐานะผู้ผลิตอุปกรณ์ด้านออปติคอลเพื่อมอบภาพที่คมชัดสำหรับการตรวจจับขอบของวัตถุที่ตรวจสอบได้อย่างแม่นยำ

ประสิทธิภาพสูง

การตรวจสอบด้วย VMZ-NWL200 สามารถเริ่มต้นได้ในคลิกเดียว นอกจากนี้ ประสิทธิภาพในการวัดยังสูงกว่ากล้องจุลทรรศน์ในการวัดถึงสามเท่า ระบบการวัดขนาด 3 มิติ ประสิทธิภาพสูงทำให้ COO (Cost of Ownership) ต่ำ

ความสามารถในการทำงานสูง

เนื่องจากกราฟิกเวเฟอร์แสดงบน GUI ผู้ปฏิบัติงานจึงสามารถระบุชิปที่จะวัดได้เพียงแค่คลิกตำแหน่งด้วยเม้าส์

คุณสมบัติหลัก

รวมรุ่น VMZ-S

Wafer Loader สำหรับการตวจสอบ IC NWL200

อุปกรณ์Video Measuring System:NEXIV(VMZ-S3020 ประเภท 2,ประเภท 3, ประเภท TZ)
Loader:NWL200
Wafer *1ขนาด:6, 8 นิ้ว(SEMI/JEIDA Standard)
Carrier ที่เข้ากันได้6 นิ้ว:PA182-60MB-06XX(Entegris)
8 นิ้ว:PA192-80M-06XX(Entegris)
ปริมาณงาน *26 นาที 45 วินาที
L/S ต่ำที่สุด500 เส้น/มม.
อุณหภูมิของสภาพแวดล้อมในการทำงาน19~26℃
ความชื้นในสภาพแวดล้อมการทำงานน้อยกว่า 70%RH
ขนาด4125 x 3040 มม.
แรงดันไฟฟ้าของแหล่งพลังงานAC100-120V/200-240V
ความถี่ของแหล่งพลังงาน50Hz/60Hz
การใช้พลังงานในปัจจุบัน7.5A/3.7A
ความเป็นสุญญากาศ-80kPa

*1 ต้องมีการประเมินการเคลื่อนย้ายเวเฟอร์ก่อนการขาย
*2 เวลาในการเคลื่อนย้ายสำหรับ 25 เวเฟอร์ ไม่รวมเวลาในการวัด

ผลิตภัณฑ์ที่เกี่ยวข้อง

รุ่น NEXIV VMZ-S

ระบบการวัดขนาด 3 มิติ โดยกลุ่ม NEXIV VMZ-S ของ Nikon มอบความแม่นยำ ความเร็ว และความสามารถในการใช้งานสูงสำหรับแอปพลิเคชั่นการตรวจสอบจนถึงการวัดระดับไมโครเมตร
ข้อมูลผลิตภัณฑ์
NWL_L200N

ซีรีส์ NWL200 Wafer Loader

NWL200 wafer loaders ที่เป็นนวัตกรรมใหม่ของ Nikon รองรับการตรวจสอบเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ขนาดเส้นผ่านศูนย์กลาง 6 นิ้ว (150 มม.) และ 8 นิ้ว (200 มม.) ด้วยกล้องจุลทรรศน์แบบออปติคอลหรือระบบการวัดขนาดสามมิติ เช่น Nikon NEXIV
ข้อมูลผลิตภัณฑ์

พูดคุยกับเราเกี่ยวกับผลิตภัณฑ์นี้

หากคุณต้องการรายละเอียดเพิ่มเติมเกี่ยวกับผลิตภัณฑ์นี้หรือคำอธิบายเชิงลึก ทีมผู้เชี่ยวชาญของเราจะให้ข้อมูลเพิ่มเติมแก่คุณ และหากจำเป็นจะขอทำการนัดหมายเพื่อเข้าพบ

พูดคุยกับเราในรายละเอียดเกี่ยวกับโครงการของคุณ แล้วผู้เชี่ยวชาญของเราจะแนะนำระบบการตรวจสอบที่ดีที่สุดเพื่อตอบสนองความต้องการของคุณ

กรุณากรอกแบบฟอร์มด้านข้างนี้ แล้วเราจะติดต่อกลับโดยเร็ว