Products and promotions may differ based on your selected region.
NEXIV VMZ-NWL200
ความน่าเชื่อถือ ประสิทธิภาพ และความสามารถในการทำงานสูง
ระบบการวัดด้วยเครื่องวัดขนาด 3 มิติ NEXIV ซึ่งใช้กันอย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ทั่วโลก ได้รับการบูรณาการเข้ากับระบบการโหลดเวเฟอร์อัตโนมัติ NWL200 ที่ได้รับการพิสูจน์แล้วจาก Nikon
ผลลัพธ์ที่ได้คือ VMZ-NWL200 ซึ่งเป็นการตรวจวัดที่เป็นนวัตกรรมใหม่ซึ่งมีความน่าเชื่อถือและประสิทธิภาพเป็นเลิศ นอกจากนี้ ซอฟต์แวร์ที่พัฒนาขึ้นเป็นพิเศษยังช่วยลดความยุ่งยากในการดำเนินการที่ซับซ้อนซึ่งจำเป็นสำหรับการควบคุมกระบวนการ ข้อมูลคุณภาพสูงจะถูกป้อนกลับเข้าสู่สายการผลิตได้เร็วขึ้น ส่งผลให้ได้ผลผลิตสูงสุด
จุดเด่นของผลิตภัณฑ์
ความน่าเชื่อถือสูง
เนื่องจากการวัดค่าโดยอัตโนมัติและสม่ำเสมอ VMZ-NWL200 จึงขจัดความแปรปรวนของผลลัพธ์ เนื่องจากการอ่านที่แตกต่างกันของผู้ปฏิบัติงาน นอกจากนี้ Nikon ยังใช้ประโยชน์จากจุดแข็งในฐานะผู้ผลิตอุปกรณ์ด้านออปติคอลเพื่อมอบภาพที่คมชัดสำหรับการตรวจจับขอบของวัตถุที่ตรวจสอบได้อย่างแม่นยำ
ประสิทธิภาพสูง
การตรวจสอบด้วย VMZ-NWL200 สามารถเริ่มต้นได้ในคลิกเดียว นอกจากนี้ ประสิทธิภาพในการวัดยังสูงกว่ากล้องจุลทรรศน์ในการวัดถึงสามเท่า ระบบการวัดขนาด 3 มิติ ประสิทธิภาพสูงทำให้ COO (Cost of Ownership) ต่ำ
ความสามารถในการทำงานสูง
เนื่องจากกราฟิกเวเฟอร์แสดงบน GUI ผู้ปฏิบัติงานจึงสามารถระบุชิปที่จะวัดได้เพียงแค่คลิกตำแหน่งด้วยเม้าส์
คุณสมบัติหลัก
อุปกรณ์ | Video Measuring System:NEXIV(VMZ-S3020 ประเภท 2,ประเภท 3, ประเภท TZ) |
Loader:NWL200 | |
Wafer *1 | ขนาด:6, 8 นิ้ว(SEMI/JEIDA Standard) |
Carrier ที่เข้ากันได้ | 6 นิ้ว:PA182-60MB-06XX(Entegris) |
8 นิ้ว:PA192-80M-06XX(Entegris) | |
ปริมาณงาน *2 | 6 นาที 45 วินาที |
L/S ต่ำที่สุด | 500 เส้น/มม. |
อุณหภูมิของสภาพแวดล้อมในการทำงาน | 19~26℃ |
ความชื้นในสภาพแวดล้อมการทำงาน | น้อยกว่า 70%RH |
ขนาด | 4125 x 3040 มม. |
แรงดันไฟฟ้าของแหล่งพลังงาน | AC100-120V/200-240V |
ความถี่ของแหล่งพลังงาน | 50Hz/60Hz |
การใช้พลังงานในปัจจุบัน | 7.5A/3.7A |
ความเป็นสุญญากาศ | -80kPa |
*1 ต้องมีการประเมินการเคลื่อนย้ายเวเฟอร์ก่อนการขาย
*2 เวลาในการเคลื่อนย้ายสำหรับ 25 เวเฟอร์ ไม่รวมเวลาในการวัด
ผลิตภัณฑ์ที่เกี่ยวข้อง
รุ่น NEXIV VMZ-S
ซีรีส์ NWL200 Wafer Loader
พูดคุยกับเราเกี่ยวกับผลิตภัณฑ์นี้
หากคุณต้องการรายละเอียดเพิ่มเติมเกี่ยวกับผลิตภัณฑ์นี้หรือคำอธิบายเชิงลึก ทีมผู้เชี่ยวชาญของเราจะให้ข้อมูลเพิ่มเติมแก่คุณ และหากจำเป็นจะขอทำการนัดหมายเพื่อเข้าพบ
พูดคุยกับเราในรายละเอียดเกี่ยวกับโครงการของคุณ แล้วผู้เชี่ยวชาญของเราจะแนะนำระบบการตรวจสอบที่ดีที่สุดเพื่อตอบสนองความต้องการของคุณ
กรุณากรอกแบบฟอร์มด้านข้างนี้ แล้วเราจะติดต่อกลับโดยเร็ว