NWL ซีรี่ส์คือกลุ่มผลิตภัณฑ์เซมิคอนดักเตอร์เวเฟอร์โหลดเดอร์จาก Nikon ที่สามารถถ่ายโอนเวเฟอร์ขนาดเส้นผ่านศูนย์กลาง 6 นิ้ว (150 มม.) และ 8 นิ้ว (200 มม.) ไปจนถึงความหนา 100 ไมครอน (ตัวเลือก) และส่งไปยังกล้องจุลทรรศน์ Nikon Eclipse L200N และ LV150N หรือระบบการวัดขนาดสามมิติด้วย NEXIV VMZ-S
เทคโนโลยีที่เป็นเอกสิทธิ์เฉพาะของ Nikon ทำให้ NWL200 ซีรีส์เป็นผลิตภัณฑ์ตัวโหลดแผ่นเวเฟอร์รุ่นแรกสำหรับกล้องจุลทรรศน์ในการตรวจสอบที่สามารถนำแผ่นเวเฟอร์บางเพียง 100 ไมครอน ออกมาได้ ให้ปริมาณงานสูงและการตรวจสอบที่เชื่อถือได้สำหรับการใช้งานส่วนใหญ่ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์
เมื่อแหล่งจ่ายไฟขัดข้องโดยไม่คาดคิด หัวจับสูญญากาศของแขนมาโครจะยังคงทำงาน ทำให้สามารถถอดแผ่นเวเฟอร์ออกได้อย่างปลอดภัย
รองรับรูปแบบด้านหน้าของเวเฟอร์ของเซมิคอนดักเตอร์ ขอบด้านหลัง และการตรวจสอบพื้นที่ตรงกลาง ความเร็วในการหมุนเวเฟอร์และมุมเอียงถูกตั้งค่าได้ทั้งแบบโดยอัตโนมัติหรือด้วยตนเอง
การเลื่อนตลับเวเฟอร์ที่รวดเร็วพร้อมกลไกการตั้งศูนย์แบบไม่ต้องสัมผัส ช่วยให้วางแนวเวเฟอร์ได้อย่างรวดเร็วและแม่นยำโดยใช้ระบบ multi-arm สำหรับการโหลดและการเคลื่อนย้ายเวเฟอร์ด้วยความแม่นยำสูงสุด
NWL200 ได้รับการออกแบบตามหลักกายศาสตร์เพื่อให้ใช้งานและควบคุมได้ง่าย
วางตำแหน่งไว้ที่ 35 องศา ทางด้านซ้าย ตำแหน่งในช่องเวเฟอร์และการตลับเวเฟอร์ทั้งตลับนั้นกลายเป็นเรื่องง่าย
การเชื่อมต่อกับ LAN ของลูกค้าผ่านอินเทอร์เฟซวิซาร์ดของเว็บเบราว์เซอร์ ช่วยให้สามารถสร้างและสำรองข้อมูลโปรแกรมการตรวจสอบได้อย่างง่ายดาย
การเขียนโปรแกรมการควบคุมที่ปรับให้เหมาะสมจากระยะไกลทำให้สามารถตรวจสอบคุณสมบัติของเวเฟอร์ในขั้นตอนการทำงานที่ลื่นไหลและไม่สะดุด
เพียงปุ่มเดียวก็สามารถเลือกเวเฟอร์จากช่องคาสเซ็ตได้
หน้าจอ LCD ขนาดใหญ่รองรับการโต้ตอบอย่างรวดเร็วกับการควบคุมระบบและโปรแกรม
เมนูที่มีโครงสร้างช่วยให้ผู้ใช้สามารถโต้ตอบกับระบบได้อย่างง่ายดาย
ฝุ่นจากการเสียดสีในบริเวณแคลมป์สุญญากาศ หรือจากการกระแทกเมื่อวางแผ่นเวเฟอร์ให้อยู่ตรงกลาง หรือจัดแนวราบหรือรอยบาก จะถูกลดให้เหลือน้อยที่สุดโดยใช้การไหลเวียนของอากาศอย่างต่อเนื่อง
ฝาครอบ NWL200 ทำจากสแตนเลส ป้องกันการเกิดไฟฟ้าสถิต
แผ่นเวเฟอร์ที่บางจะมีการบิดอย่างมาก
หากเซ็นเซอร์ไม่ทำงาน แผ่นเวเฟอร์อาจได้รับความเสียหายจากแขนเคลื่อนย้าน
ข้อมูลจำเพาะและการจัดเรียงลำแสงเซ็นเซอร์ของ Nikon จะตรวจจับได้อย่างแม่นยำว่าแผ่นเวเฟอร์บางๆ ในคาสเซ็ตต์บิดเบี้ยว ส่งผลให้คอลเลกชันหายไปหรือไม่
ชิปมีขนาดบางลงเรื่อยๆ จากความก้าวหน้าในการผลิต ซึ่งจำเป็นต้องมีการจัดการกับแผ่นเวเฟอร์ที่บางมาก
ซีรีส์ NWL200 สามารถโหลดเวเฟอร์บางเฉียบที่มีความหนา 300µm และ 200µm ตามมาตรฐาน หรือ 100µm เป็นตัวเลือกเสริม
หากคุณต้องการรายละเอียดเพิ่มเติมเกี่ยวกับผลิตภัณฑ์นี้หรือคำอธิบายเชิงลึก ทีมผู้เชี่ยวชาญของเราจะให้ข้อมูลเพิ่มเติมแก่คุณ และหากจำเป็นจะขอทำการนัดหมายเพื่อเข้าพบ
พูดคุยกับเราในรายละเอียดเกี่ยวกับโครงการของคุณ แล้วผู้เชี่ยวชาญของเราจะแนะนำระบบการตรวจสอบที่ดีที่สุดเพื่อตอบสนองความต้องการของคุณ
กรุณากรอกแบบฟอร์มด้านข้างนี้ แล้วเราจะติดต่อกลับโดยเร็ว
