100µm 초박형 웨이퍼 척
제조의 발전으로 칩은 점점 얇아지고 있으며, 극도로 얇은 웨이퍼를 취급해야 합니다. NWL200 시리즈는 초박형 웨이퍼를 표준 300µm 및 200µm 두께로 로드하거나 옵션으로 100µm 두께로 로드합니다.
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NWL200 웨이퍼 로더 시리즈
모든 기능을 갖춘 니콘의 혁신적인 NWL200 웨이퍼 로더는 광학 현미경 또는 비디오 측정 시스템(예: 니콘 NEXIV)을 통해 6인치(150mm) 및 8인치(200mm) 직경의 반도체 웨이퍼 종합 검사를 지원합니다.
다양한 웨이퍼 처리를 위한 정교하고 신뢰할 수 있는 로더
NWL 시리즈는 니콘의 탁월한 반도체 웨이퍼 로더 제품군으로 6인치(150mm) 및 8인치(200mm) 직경의 웨이퍼를 두께 100마이크론(선택 사양)으로 전환하여 니콘 Eclipse L200N 및 LV150N 현미경 또는 NEXIV VMZ-S 비디오 측정 시스템으로 보낼 수 있습니다.
NEXIV와 통합 – 비디오 계측
니콘 NEXIV 비디오 측정 시스템과 통합한 NWL200 웨이퍼 로더는 생산 환경에 반도체 검사 시 요구되는 높은 정밀도와 정확도, 속도를 제공합니다.
제품 하이라이트
반도체 생산에서의 높은 안정성
전원 공급이 예기치 않게 중단되어도 매크로 암의 진공 척은 작동 상태를 유지하면서 웨이퍼를 안전하게 분리할 수 있습니다.
매크로 검사 기능
반도체 웨이퍼 전면 패턴, 후면 주변부 및 중앙 영역 검사를 지원합니다. 웨이퍼 회전 속도와 경사각은 자동 또는 수동식으로 설정 가능합니다.
처리량의 극대화를 위한 설계
비접촉식 센터링 메커니즘을 갖춘 고속 웨이퍼 카세트 엘리베이터는 최고의 정밀도로 웨이퍼를 로딩 및 언로딩하기 위한 다중 암 시스템을 사용하여 웨이퍼를 빠르고 정확하게 정렬합니다.
인체공학적 설계
NWL200은 인체공학적으로 설계되어 작동과 제어가 간편합니다. 왼쪽으로 35도 각도가 적용되어 있어 슬롯 내 웨이퍼 배치와 전체 카세트 교환이 용이합니다.
핵심 기능
충돌 회피를 위한 웨이퍼 센싱 기능
얇은 웨이퍼의 경우 상당한 왜곡이 발생합니다. 센서가 효과적이지 않으면 이송 암에 의해 웨이퍼가 손상될 수 있습니다. 니콘의 센서 빔의 사양 및 배열은 카세트의 얇은 웨이퍼가 왜곡되어 수집이 중단되는지 여부를 정확하게 감지합니다.
클린룸 시스템 오염 방지 대책
진공 클램핑 영역의 마찰 또는 웨이퍼의 중심을 맞추거나 방향 플랫 또는 노치를 정렬할 때 발생하는 충격으로 인한 먼지는 중단 없는 공기 흐름을 사용하여 최소화됩니다. NWL200 커버는 스테인리스 스틸로 제작되어 정전기 발생을 방지합니다.
원격 접속 웹 서버 지원 도구
웹 브라우저 마법사 인터페이스를 통해 고객의 LAN에 연결하면 쉽게 상호 작용하여 검사 레시피를 만들고 백업할 수 있습니다. 최적화된 제어 레시피를 원격으로 작성하면 중단 없이 유동적인 워크플로우의 웨이퍼 기능을 확인할 수 있습니다.
효율적인 전면 프론트 패널 사용자 인터페이스
버튼 하나로 카세트 슬롯에서 웨이퍼를 선택할 수 있습니다. 대형 LCD 화면은 시스템 제어 및 레시피와의 빠른 상호 작용을 지원합니다. 구조화된 메뉴를 통해 사용자가 시스템과 쉽게 대화할 수 있습니다.
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이 제품에 대한 자세한 설명이 필요한 경우 당사 전문팀이 추가 정보를 제공하며 필요한 경우 현장 방문도 가능합니다. 귀하의 프로젝트에 대해 자세히 알려주시면 요구사항에 맞는 최상의 검사 시스템에 대해 조언할 것입니다. 맞은편 양식을 작성해 주시면 빠른 시일 내에 연락드리겠습니다.