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ECLIPSE LV150NA LED 및 LV150N LED
다양한 에피스코픽 관찰 용도의 정립형 현미경입니다. 반도체 및 재료 검사에 적합한 현미경입니다.
사용 편의성과 유지보수 성능 향상
모듈형 설계와 고연색성 광원이 특징인 LV150NA LED와 LV150N LED 현미경으로 하나의 현미경 스탠드에서 광학 대비 기술을 보완적으로 활용할 수 있습니다. 응용 분야의 예시로는 전용 에피스코픽 대비 기술을 사용하여 반도체 기판 및 장치 패키징, 평면 패널 디스플레이(FPD), 전자 부품 및 신소재 등을 검사하는 공정을 들 수 있습니다.
LV150NA LED
LV150N LED
제품 하이라이트
다양한 관찰 방식
LV150NA LED와 LV150N LED는 명시야, 암시야, 편광(POL), 미분 간섭 대비(DIC), 에피 형광 및 이중 빔 간섭계를 지원합니다.
지능형 디지털 커뮤니케이션
LV-ECON 컨트롤러와 NIS-Elements 소프트웨어로 대물 렌즈, 광도, 조리개, 에피 대비를 감지할 수 있습니다. LV150N LED는 LV-NU5IN 및 LV-INAD를 이용하여 대물 렌즈를 감지하여 보고합니다.
Digital Sight 시리즈
현미경용 Digital Sight와 함께 사용하면 고화질 이미지를 효율적으로 캡처할 수 있습니다. 이미지는 NIS-Elements 소프트웨어로 처리하여 측정하고 분석할 수 있습니다.
다양한 액세서리
최신 수동 회전형 노스피스의 정지 정밀도*는 이전 모델 대비 50% 높아졌습니다. 관찰 방식과 목적에 따라 현미경 스탠드, LED 램프하우스 같은 다른 액세서리도 선택할 수 있습니다.
CFI60-2 광학 시리즈
니콘에는 현미경 관찰용으로 설계된 다양한 대물 렌즈가 있습니다. 색수차 보정 기술을 통해 색 왜곡을 획기적으로 줄였으며, 더욱 선명하고 뛰어난 화질을 구현합니다.
웨이퍼 로더 NWL200의 통합
NWL200과 통합한 LV150N LED는 미세 결함 검사를 포함한 웨이퍼 검사 요구사항을 충족합니다.
*정지 정밀도: 노스피스를 회전시켜 대물 렌즈를 교체한 후 다시 기존 대물 렌즈로 되돌렸을 때 발생하는 FOV 변화량(예: 10배율에서 다른 배율로 전환했다가 다시 10배율로 복귀했을 때의 FOV 변화값)
| LV150N LED | LV150NA LED | |
| Base unit | Maximum sample height: 38 mm (when used with LVNU5A U5A nosepiece and LV-S32 3x2 stage / LV-S64 6x4 stage) *73 mm when used with one column riser |
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| Nosepieces | C-N6, LV-NU5N, LV-NBD5N, LV-NU5IN | LV-NU5A, LV-NU5AC, LV-NU5AI |
| Episcopic Illuminators | LV-UEPI-N High color-rendering LED Lamphouse C-LL-I: 50,000 hours of life *1 LV-UEPI2 High color-rendering LED Lamphouse C-LL-I: 50,000 hours of life *1 Fluorescence LED light source D-LEDI (with light adjustment (PC controllable)) *option |
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| Eyepiece tubes | C-TB binocular tube (Inverted image, FOV: 22) LV-TI3 trinocular tube (Erected image, FOV: 22/25) LV-TT3 tilting trinocular tube (Erected image, FOV: 22/25 with centering and focus adjustment mechanism) P-TB2 binocular tube (Inverted image, FOV: 22) P-TT3 trinocular tube (Inverted image, FOV: 22) |
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| Stages | LV-S32 3x2 stage (Stroke: 75 x 50 mm with glass plate) LV-S64 6x4 stage (Stroke: 150 x 100 mm with glass plate) LV-S6 6x6 stage (Stroke: 150 x 150 mm) LV-SHA stage handle adapter attachable to all stages |
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| Eyepieces | CFI eyepiece series | |
| Objective lenses | CFI60-2/CFI60 objective lens series: combination depends on observation method | |
| ESD performance | 1000 to 10V, within 0.2 sec. (excluding certain accessories) | |
| Power consumption | 1.2 A / 75 W | |
| Weight | Approx. 9 kg | |
*1: 니콘 자체 기준에 근거한 측정값입니다.
LV150NA LED, LV150N LED(단위: mm)
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