Tilted CT：高解像度ラミノグラフィー検査

「コンピュータラミノグラフィー（CL）」ともいうラミノグラフィーは、X線断層撮影法の一種で、サンプルの回転軸がX線ビーム (線源から検出器までの軸) に対して斜めの角度で傾いています。CTと同様に、ラミノグラフィースキャンも、サンプルを360度回転させながら取得した数千枚のX線画像を使用して3Dボリュームを再構築します。CTデータで行った解析と同じ解析を、ラミノグラフィーのデータでも再現できます。

ラジオグラフィーもラミノグラフィーも、サンプルをX線源の非常に近くに配置できるため、非常に高解像度の画像を提供します。ただし、2D技法であるラジオグラフィーでは、画像に奥行きがなく、複雑な試料ではサンプルが重なり合って画像にするのが難しい場合があります。断層撮影法であるラミノグラフィーでは、サンプル全体を数百から数千の平面を通して奥行きをマッピングします。

どちらもX線断層撮影の一種ですが、違いは撮像中にサンプルが回転する軸の角度にあります。CTでは、X線ビーム（線源から検出器までの軸）に直交する軸を中心にサンプルが回転しますが、ラミノグラフィーでは、X線ビームに対して斜めの軸を中心にサンプルが回転します。

理論的には、あらゆるサイズの部品でもTilted CTで検査できますが、部品のサイズとコンポーネント上の検査領域は、使用するX線装置の筐体のサイズと、実際に斜めの角度で試料を固定できるかによって制限されます。たとえば、0.5 mを超える平面サンプルの場合、撮像中に斜めで静止させ続けることが困難になる可能性があります。

Tilted CTではあらゆるタイプのサンプルを検査できますが、この技術は通常、板状の部品に最も適しています。従来のCTでは、板状の部品のアスペクトが大きいため、物体平面に沿ったX線透過長が長くなり、また、部品の大きさによっては、衝突を避けるために サンプルの回転軸をX線源から遠ざける必要があるためです。Tilted CTは両方の現象を克服しているため、板状の部品に対してよく用いられます。

Tilted CTもX線顕微鏡も、大きなサンプルに対し高解像度の3Dボリュームを生成できます。X線顕微鏡ではTilted CTよりも高倍率の撮影が可能ですが、データ収集時間はTilted CTスキャンよりも数時間長くなります。X線顕微鏡は特化型装置であるため、コストが大幅に高く、ニコンのX線CT装置のように、ラジオグラフィーとCT撮影法で検査室の他の用途にもソリューションを提供できる柔軟性がありません。