NEXIV VMZ-Sシリーズ

さまざまなサンプルをカバーする汎用モデルです。μm台の公差管理を高速/高精度/使いやすく行えます。
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さまざまなサンプルをカバーする汎用モデル

専用光学系とTTLレーザーAFを標準搭載。サンプルサイズに応じてストロークの異なる3モデルをラインアップしています。多様な測定ニーズに対して高速·高精度な測定を実現します。

主な特長

VMZStype2head

6種類の高NA光学ズームヘッド

専用設計された6種類の高NA光学ズームヘッドから目的に応じてお選びいただけます。

TTL_laser

TTL (Through The Lens) レーザーAF

多用途に対応する画像AFに加え、高精度・高速高さ測定も可能なTTL レーザーAFを標準搭載しています。

多彩な照明方法

サンプルに合わせた照明条件の設定が可能。難しい形状でも正確にエッジを検出します。

サーチ機能

サンプルの置き方や部品の位置ズレを自動補正。スムーズな連続自動測定を実現します。

特長・機能

NEXIV VMZ-Sシリーズ

遠隔制御用ソフトウエアソリューションリモート制御SDK

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モデルVMZ-S3020VMZ-S4540VMZ-S6555
ストロークXYZ 300×200×200 mm *
タイプTZ低倍対物使用時: 250×200×200 mm
450x400x200 mm *
タイプTZ低倍対物使用時:400x400x200mm
650x550x200 mm *
タイプTZ低倍対物使用時: 600x550x200mm
最小表示単位0.01 μm
被検物最大質量20 kg (精度保証値: 5 kg)40 kg (精度保証値: 20 kg)50 kg (精度保証値: 30 kg)
測定精度
(Lは測定長さ (mm)
EUX, MPE EUY, MPE 1.2 + 4L / 1000 µm
EUXY, MPE 2.0 + 4L / 1000 µm
EUZ, MPE1.2 + 5L / 1000 µm
最大許容プロービング誤差 1),2): MPE PF2D 0.8 µm
最大プローブプロービング誤差 1),2): MPE PFV2D 0.3 µm
カメラ白黒/カラー 1/3型CMOS
作動距離 Type 1 ~ 3: 50mm
Type 4: 30mm
Type TZ:(高倍) 11 mm / (低倍) 32 mm
Type A: 73.5 mm (レーザーAF部:63 mm)
レーザーAF
繰り返し精度 1),3)
2σ ≦ 0.5 µm
照明Type 1 ~ 4 : 垂直落射、透過、8分割リング照明(全系統白色LED光源/タイプ1,2,3は3角度、タイプ4は1角度)
タイプTZ:垂直落射、透過(VMZ-S3020の低倍側を除く)、暗視野照明
タイプA:垂直落射、透過、8分割リング照明(全系統白色LED光源/1角度)
供給電源、
消費電力
AC100 V-240 V, 50/60 Hz / 4 A − 2 A
寸法(W×D×H)/質量本体部:700×730×1793 mm / 約265 kg
コントローラー:190×450×450 mm / 約12 kg
本体部: 1000×1340×1818 mm / 約510 kg
コントローラー:190×450×450 mm / 約12 kg
本体部:1200×1640×1818 mm / 約 740 kg
コントローラー: 190×450×450 mm / 約 12 kg
設置寸法 (W×D) 4)2700×2400 mm
3000×3000 mm
3200×3300 mm

1)自社が定めた評価方法による。 2)タイプ2ヘッド、15倍時 3)サンプル:キャリブレーションプレートのクロム面。タイプAヘッドを除く。
4)メンテナンススペースを含む。

VMZ-S3020
VMZ-S3020
VMZ-S4540
VMZ-S4540
VMZ-S6555
VMZ-S6555

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