NEXIV VMZ-H3030

精密なステージ動作と高性能光学系によりNEXIVシリーズ最高精度での測定を実現します。
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厳密な品質が要求される測定用途に対応

NEXIVシリーズ最高の測定精度を実現。半導体部品や精密金型など、より厳しい品質管理を要求される場面で威力を発揮します。

VMZ-H3030

主な特長

VMZ-H_ringA

5種類の高NA光学ズームヘッド

専用設計された5種類の高NA光学ズームヘッドから目的に応じてお選びいただけます。

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TTL (Through The Lens) レーザーAF

多用途に対応する画像AFに加え、高精度・高速高さ測定も可能なTTL レーザーAFを標準搭載しています。

多彩な照明方法

サンプルに合わせた照明条件の設定が可能。難しい形状でも正確にエッジを検出します。

サーチ機能

サーチ機能により、サンプルの置き方や部品位置ズレの自動補正が可能。スムーズな連続自動測定を実現します。

特長・機能

NEXIV VMZ-H3030

遠隔制御用ソフトウエアソリューションリモート制御SDK

ストローク(X,Y,Z)300x300x150 mm
最小表示単位0.01 μm
被検物最大質量30 kg (精度保証値: 10 kg)
測定精度EUX,MPE EUY,MPE: 0.6+2L /1000 μm
EUXY,MPE: 0.9+3L /1000 μm
EUZ,MPE: 0.9+L /150 μm
精度保証環境20 °C ± 0.5 K
駆動最高速度(XY, Z)100 mm/s , 50 mm/s
駆動最低速度(XY, Z)0.01 mm/s , 0.001 mm/s
カメラ白黒1/3" 型CCD、カラー1/3" 型CCD ※カラーカメラはタイプ1, 2, 3のみ対応
作動距離タイプ1, 2, 3: 50 mm(75度のLED照明使用時は10 mm) / タイプ4: 30 mm / タイプTZ: 31 mm(低倍)、11 mm(高倍)
オートフォーカスイメージAF、レーザーAF
供給電源AC 100 - 240 V ± 10% 50/60 Hz
消費電流5A - 2.5 A
寸法(W×D×H)/質量本体+測定台: 1000 x 1125 x 1750 mm / 約 500 kg
コントローラ: 190 x 450 x 440 mm / 約15 kg
設置寸法(W×D)3000×2800 mm
照明
タイプ1,2,3,4垂直落射、透過、8分割リング(全系統白色LED光源/タイプ1, 2, 3は3角度/タイプ4は1角度)
タイプTZ垂直落射、透過、暗視野
供給電源AC 100 - 240 V ± 10% 50/60 Hz
消費電流5 A - 2.5 A
光学ヘッド光学倍率視野主な測定対象
タイプ 1 0.5X - 7.5X9.33×7.01~0.622×0.467 mm金型、機械部品、(家電、自動車)、PCB、電子部品、セラミック部品
タイプ 2 1X - 15X
4.67×3.5~0.311×0.233 mm
タイプ 3 2X - 30X2.33×1.75~0.155×0.117 mm各種電子部品
タイプ 4 4X - 60X1.165×0.875~0.078×0.058 mm微細パッケージ基板(ライン幅、高さ)
タイプ TZ 1X - 120X4.67×3.5~0.039×0.029 mm ウェハパターン(WLP、バンプ高さ、再配線用マスク、MEMSマスク)

測定用途に応じた5タイプをご用意
低ディストーション/高NAに定評のある標準ズームヘッド3タイプと、高倍率までカバー可能なタイプ4/タイプTZをご用意しています。
サンプルの測定寸法と必要倍率に応じて、各5段階のズームヘッドを持つ5タイプからお選びいただけます。

VMZ-H3030

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