iNEXIV VMAシリーズ

広視野と長作動距離で、高さや段差のあるサンプルの測定に適したエントリーモデルです。
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広視野による多彩な測定用途

広視野測定が可能な3つのステージサイズをラインアップ。タッチプローブの装着も可能で、さまざまな検査や品質管理に威力を発揮します。

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主な特長

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長作動距離と長Z軸ストローク

全倍率範囲で73.5mmの長作動距離と200mmのZ軸ストロークを実現。大きな段差や高さのある被検物測定に適しています。

測定用途に応じたオプション

レーザーAFやタッチプローブなど、測定用途に応じたオプションを組み合わせてお使いいただけます。

特長・機能

NEXIV VMAシリーズ

遠隔制御用ソフトウエアソリューションリモート制御SDK

VMA-2520VMA-4540VMA-6555
ストローク(X,Y,Z)250 x 200 x 200 mm450 x 400 x 200 mm650 x 550 x 200 mm
タッチプローブ(TP)
装着時の測定範囲
200 x 200 x 166 mm (TP20)
200 x 200 x 170 mm (TP200)
400 x 400 x 166 mm (TP20)
400 x 400 x 170 mm (TP200)
600 x 550 x 166 mm (TP20)
600 x 550 x 170 mm (TP200)
TP+モジュールラック
装着時の測定範囲
175 x 200 x 166 mm (TP20)
175 x 200 x 170 mm (TP200)
325 x 400 x 166 mm (TP20)
325 x 400 x 170 mm (TP200)
525 x 550 x 166 mm (TP20)
525 x 550 x 170 mm (TP200)
最小表示単位0.1 µm
被検物最大質量15 kg (精度保証値:5 kg)40 kg (精度保証値:20 kg)50 kg (精度保証値:30 kg)
測定精度
(※L は測定長さ(mm))
EUX,MPE EUY,MPE: 2+8L/1000 µm
EUXY,MPE: 3+8L/1000μm
EUZ,MPE: 3+L/50μm
EUX,MPE EUY,MPE: 2+6L/1000 µm
EUXY,MPE: 3+6L/1000μm
EUZ,MPE: 3+L/100μm *3
カメラ白黒1/3" 型CCD、カラー1/3" 型CCD
作動距離(レンズから焦点面)73.5 mm(レーザーAF装着時63 mm)
倍率0.35 - 3.5x
視野13.3 x 10 mm - 1.33 x 1 mm
オートフォーカス イメージAF、レーザーAF(オプション)
照明垂直落射、透過、8分割リング照明(※全系統白色LED光源/1角度)
タッチプローブ(オプション)レニショー TP200/TP20
供給電源100 V - 240 V, 50/60 Hz
消費電流5 A -2.5 A
本体部寸法(W×D×H)/質量650 x 700 x 1557 mm / 110 kg1000 x 1340 x 1553 mm / 500 kg1200 x 1640 x 1553 mm / 665 kg
コントローラー部寸法(W×D×H)/質量145 x 400 x 390 mm / 14 kg145 x 400 x 390 mm / 14 kg145 x 400 x 390 mm / 14 kg
VMA-2520
VMA-4540
VMA-6555

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