NWL200 Wafer Loader Serie

Nikons innovative, voll ausgestattete NWL200 Waferloader unterstützen die umfassende Inspektion von Halbleiterwafern mit einem Durchmesser von 6" (150 mm) und 8" (200 mm) mit Hilfe eines optischen Mikroskops oder eines Videomesssystems, z. B. Nikon NEXIV.
NWL_L200N

Hochentwickeltes, zuverlässiges Ladegerät für die Handhabung einer Vielzahl von Scheiben

Die NWL-Serie ist eine hervorragende Reihe von Halbleiter-Wafer-Ladegeräten von Nikon, die Wafer mit einem Durchmesser von 6″ (150 mm) und 8″ (200 mm) bis zu einer Dicke von 100 Mikrometern (Option) auf Nikon Eclipse L200N und LV150N Mikroskope oder ein NEXIV VMZ-S Videomesssystem übertragen können.

Integration mit NEXIV – Video-Messtechnik

Der NWL200 Wafer-Loader, der zusammen mit einem Nikon NEXIV Videomesssystem integriert ist, bietet hohe Präzision, Genauigkeit und Geschwindigkeit für die Halbleiterinspektion in einer Produktionsumgebung.

Produkthighlights

Hohe Zuverlässigkeit in der Halbleiterproduktion

Bei einer unerwarteten Unterbrechung der Stromversorgung bleibt die Vakuumspannvorrichtung des Makroarms aktiv und ermöglicht eine sichere Waferentnahme.

Makro-Inspektionsfunktionen

Die Inspektion von Halbleiterwafern auf der Vorderseite, am hinteren Rand und im mittleren Bereich wird unterstützt. Die Rotationsgeschwindigkeit und der Neigungswinkel des Wafers werden automatisch oder manuell eingestellt.

Entwickelt für maximalen Durchsatz

Ein schneller Waferkassettenaufzug mit einem berührungslosen Zentriermechanismus ermöglicht eine schnelle und genaue Ausrichtung der Wafer mit Hilfe eines mehrarmigen Systems zum Be- und Entladen von Wafern mit höchster Präzision.

Ergonomisches Design

Der NWL200 ist ergonomisch gestaltet und lässt sich leicht bedienen und steuern. Durch die Positionierung in einem Winkel von 35 Grad nach links können Sie die Wafer im Slot platzieren und die Kassette problemlos austauschen.

Wesentliche Eigenschaften

Wafer-Ladegerät für IC-Inspektion NWL200 

Zugehörige Produkte

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ECLIPSE LV150NA und LV150N

Eine Serie von flexiblen, modularen, aufrechten Mikroskopen für verschiedene episkopische optische Kontrastverfahren (BF-DF-DIC-POL-Fluoreszenz-Interferometrie). Zusammen mit dem digitalen Bildverarbeitungszubehör und den großen X-Y-Verfahrwegen sind die Geräte ideal für die Halbleiter- und Materialprüfung geeignet.
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