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NWL200 Wafer Loader Serie
Hochentwickeltes, zuverlässiges Ladegerät für die Handhabung einer Vielzahl von Scheiben
Die NWL-Serie ist eine hervorragende Reihe von Halbleiter-Wafer-Ladegeräten von Nikon, die Wafer mit einem Durchmesser von 6″ (150 mm) und 8″ (200 mm) bis zu einer Dicke von 100 Mikrometern (Option) auf Nikon Eclipse L200N und LV150N Mikroskope oder ein NEXIV VMZ-S Videomesssystem übertragen können.
Integration mit NEXIV – Video-Messtechnik
Der NWL200 Wafer-Loader, der zusammen mit einem Nikon NEXIV Videomesssystem integriert ist, bietet hohe Präzision, Genauigkeit und Geschwindigkeit für die Halbleiterinspektion in einer Produktionsumgebung.
Produkthighlights
Hohe Zuverlässigkeit in der Halbleiterproduktion
Bei einer unerwarteten Unterbrechung der Stromversorgung bleibt die Vakuumspannvorrichtung des Makroarms aktiv und ermöglicht eine sichere Waferentnahme.
Makro-Inspektionsfunktionen
Die Inspektion von Halbleiterwafern auf der Vorderseite, am hinteren Rand und im mittleren Bereich wird unterstützt. Die Rotationsgeschwindigkeit und der Neigungswinkel des Wafers werden automatisch oder manuell eingestellt.
Entwickelt für maximalen Durchsatz
Ein schneller Waferkassettenaufzug mit einem berührungslosen Zentriermechanismus ermöglicht eine schnelle und genaue Ausrichtung der Wafer mit Hilfe eines mehrarmigen Systems zum Be- und Entladen von Wafern mit höchster Präzision.
Ergonomisches Design
Der NWL200 ist ergonomisch gestaltet und lässt sich leicht bedienen und steuern. Durch die Positionierung in einem Winkel von 35 Grad nach links können Sie die Wafer im Slot platzieren und die Kassette problemlos austauschen.
Wesentliche Eigenschaften
Zugehörige Produkte
ECLIPSE LV150NA und LV150N
ECLIPSE L300ND, L300N und L200ND, L200N
NEXIV VMZ-S Serie
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