Die Industrial Metrology Business Unit der Nikon Corporation (https://industry.nikon.com) hat ein bahnbrechendes Röntgen-Computerlaminographie-Verfahren (CL) für die zerstörungsfreie Prüfung anspruchsvoller Bauteile mit den von ihr hergestellten Computertomographie-Systemen (CT) eingeführt. Die neue Methode namens Tilted-CT und ist nun verfügbar. Sie verbessert die Voxelauflösung bei der Untersuchung von flachen Bauteilen mit hohem Seitenverhältnis erheblich. Sie verbessert auch die Qualitätskontrolle, indem sie klarere Bilder von Proben jeglicher Form erzeugt, bei denen dichte Bereiche die weniger dichten verdecken können.
Beim Scannen von flachen Bauteilen, die in der Mitte einen kleinen zu prüfenden Bereich aufweisen können, stößt die herkömmliche 3D-CT an ihre Auflösungsgrenzen, da die Drehachse des zu untersuchenden Objekts im 90-Grad-Winkel zum Röntgenstrahl liegt. Es ist daher nicht möglich, das Bauteil näher an der Quelle zu positionieren, um die Vergrößerung des interessierenden Bereichs zu erhöhen und die Auflösung zu verbessern, da die Probe während ihrer Drehung mit der Quelle kollidieren würde.
Die innovative CL-Datenerfassung mit Tilted-CT umgeht dieses Problem, da die Drehachse um bis zu 30 Grad verstellt werden kann, so dass sich die Probe vollständig unter der Röntgenquelle drehen kann. Höhere Vergrößerung und verbesserte Bildschärfe werden durch kürzere Scanzeiten erreicht, wenn z. B. Leiterplattenbaugruppen oder Probe Cards bei der automatisierten Waferprüfung untersucht werden. In einem Vergleichstest wurde ein Scan, der mit einem Röntgenmikroskop mehr als sieben Stunden dauerte, mit Tilted-CT auf einem SEMI S2/S8-konformen XT H 225 ST 2x-System in weniger als einer Stunde abgeschlossen.
Ein weiterer wesentlicher Vorteil des Verfahrens ist die Fähigkeit, Artefakte zu eliminieren, die dadurch entstehen, dass Merkmale mit hoher Dichte in einer Probe Bereiche verdecken, in denen die Röntgenabschwächung geringer ausfällt. Durch Neigen der Rotationsachse können Bereiche mit hoher Dämpfung so positioniert werden, dass sie unter oder über einem Bereich mit geringerer Dichte rotieren, anstatt vor diesem.
Dies kann sich beispielsweise bei der Prüfung von additiv gefertigten Metallteilen als nützlich erweisen, während diese noch auf ihrer Trägerplatte befestigt sind. Es ist möglich, die Komponenten in ihrer Gesamtheit zu scannen, sogar den unteren Teil, indem die gesamte Struktur so geneigt wird, dass die dichte Bauplatte im gleichen Winkel wie der Röntgenstrahl rotiert, wodurch das Hindernis effektiv beseitigt wird.
Tilted-CT-Optionen sind derzeit für Nikons Röntgen-CT-Systeme XT H 225, XT H 225 ST 2x und M2 mit großem Fassungsvermögen erhältlich. Das Unternehmen ist weiterhin bestrebt, die Grenzen der Technologie auszudehnen, um noch nie dagewesene Bildgebungsmöglichkeiten zu schaffen und neue Möglichkeiten für die Qualitätskontrolle zu eröffnen. Die Tilted-CT und eine Reihe anderer kürzlich eingeführter Röntgendatenerfassungsmethoden und Rekonstruktionsalgorithmen zeugen von dieser Absicht.
Über Nikon Metrology
Nikon bietet weltweit eine Vielzahl von Produkten, Dienstleistungen und Lösungen an, die auf fortschrittlicher Optoelektronik und Präzisionstechnologien basieren, die in der mehr als 100-jährigen Geschichte des Unternehmens entstanden sind. Die Gruppe schafft weiterhin neue Werte, die zur Verbesserung der Lebensqualität und der Produktion in einer Vielzahl von Formen beitragen. Die Industrial Metrology Business Unit (IMBU) von Nikon liefert integrierte, optimierte und hochpräzise Lösungen, die nicht nur maßgeschneidert und kosteneffizient sind, sondern auch sofort nach der Implementierung hervorragend funktionieren. Eine neuere Entwicklung im Rahmen von Nikons Digital Manufacturing ist die engere Zusammenarbeit zwischen IMBU und der Digital Solutions Business Unit (DSBU) des Unternehmens, die eine Reihe optischer additiver und subtraktiver Fertigungslösungen für die Bearbeitung einer Vielzahl von Materialien mit einer Oberflächengüte im Submikrometerbereich auf den Markt gebracht hat. www.industry.nikon.com
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