Nikon hat die NEXIV VMF-K-Serie, ein leistungsstarkes Videomesssystem eingeführt, das den Messdurchsatz wesentlich verbessert.
TOKYO – Die Nikon Corporation (Nikon) hat die NEXIV VMF-K-Serie auf den Markt gebracht, ein Videomesssystem der nächsten Generation, das den steigenden Anforderungen bei der Inspektion von Halbleitern und elektronischen Komponenten gerecht wird.
Aufbauend auf dem Erfolg der VMZ-K-Serie eröffnet die NEXIV VMF-K-Serie neben der Halbleiterfertigung zahlreichen weiteren Branchen erhebliche Vorteile, darunter Advanced Packaging, Substratherstellung, Wafer-Inspektion und Probecard-Inspektion.
Da Halbleiter immer kleiner werden bzw. immer mehr Funktionen integriert werden, sind Prüfverfahren für die Qualitätssicherung immer wichtiger. Die NEXIV VMF-K-Serie stellt sich dieser Herausforderung, indem sie stabile Messungen von Dimensionen im Mikron-Bereich ermöglicht und gleichzeitig den Durchsatz erheblich verbessert, wodurch eine strenge Qualitätskontrolle bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen unterstützt wird.
Die neue NEXIV VMF-K-Serie besteht aus dem VMF-K3040, welches das VMZ-K3040 ersetzt, und dem VMF-K6555, welches das VMZ-K6555 ersetzt.
Zu den wichtigsten Vorteilen der NEXIV VMF-K-Serie gehören:
- Verbesserter Messdurchsatz: Die VMF-K-Serie erreicht im Vergleich zum Vorgängermodell VMZ-K einen 1,5-mal höheren Messdurchsatz (gemäß den Standard-Messbedingungen von Nikon), wodurch sich die Messzeit erheblich verkürzt und die Produktivität gesteigert wird.
- Fortschrittliche Optik: Die VMF-K-Serie ist mit einem konfokalen optischen System ausgestattet und ermöglicht die gleichzeitige 2D- und Höhenmessung innerhalb des Sichtfelds, wodurch ein deutlich höherer Durchsatz im Vergleich zur Höhenmessung nur mit Hellfeld-Bildern erzielt wird.
- Verbesserte Lichtquelle: Anstelle einer Xenonlampe wird nun eine LED als konfokale Lichtquelle verwendet, wodurch sich die Lebensdauer von 3.000 auf 30.000 Stunden erhöht. Diese Verbesserung steigert die betriebliche Effizienz und reduziert den Bedarf für den Austausch von Lampen.
- Erweiterte Modellpalette: Die Serie umfasst nun ein standardisiertes 45x-Objektivmodell, das die Anforderungen fortschrittlicher Halbleitermessungen für noch genauere Messungen unterstützt.
- SEMI S2/S8-Konformität: Die VMF-K-Serie erfüllt die Sicherheitsstandards für Halbleiterfertigungsanlagen, sofern sie in Übereinstimmung mit den SEMI S2/S8-Richtlinien installiert wird.
- Neue Softwarefunktion: Die Serie ermöglicht die Anzeige der verbleibenden Zeit während der Messung.
- Neues Außendesign: Die Serie zeichnet sich durch ein modernes Factory Design in Schwarz- und Silbertönen aus.
„Wir freuen uns, die NEXIV VMF-K-Serie vorstellen zu können, eine branchenführende Lösung, die den wachsenden Bedarf an schnellen und präziseren Messungen in der Halbleiter- und Komponentenfertigung abdeckt“, so ein Sprecher von Nikon.
„Durch die deutliche Verbesserung des Messdurchsatzes und die Beibehaltung der hohen Genauigkeit ermöglicht unser neues System den Herstellern, ihre Qualitätskontrollprozesse zu verbessern und die Produktentwicklung angesichts der zunehmenden Miniaturisierung und Integration von Halbleiterbauelementen zu beschleunigen.“
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