Der Unternehmensbereich Industrial Metrology von Nikon Corporation hat das automatische Wafer-Messsystem NEXIV VMZ-NWL 200 auf den Markt gebracht, um die Probleme der Wafer-Messtechnik im Backend-Prozess für Halbleiter zu lösen, wo traditionell mehr Arbeit von Hand erfolgt als in der Front-End-Prozesskontrolle. Der Zielmarkt für NEXIV VMZ-NWL 200 sind daher vor allem Messungen im Bereich Herstellungsprozesse für Halbleiter im Back-End.
NEXIV VMZ-NWL 200 macht den Mangel an qualifizierten Technikern für manuelle Messungen weniger problematisch. Die Halbleiterindustrie hat sich im Zuge der Miniaturisierung weiterentwickelt. Das hat die Anforderungen an die Qualifikation des Personals im Bereich Messtechnik erhöht und die Zahl der Ingenieure verringert, die dafür infrage kommen. Andererseits expandiert der Halbleitermarkt weiter, so dass die zunehmenden Möglichkeiten der Metrologie immer weniger Menschen zur Verfügung stehen. Messungen von Hand mit herkömmlichen Lichtmikroskopen stoßen daher an ihre Grenzen.
Beim NEXIV VMZ-NWL 200 handelt es sich um ein System, mit dem 6- oder 8-Zoll-Wafer automatisch gemessen werden, die gemäß einem Messprogramm in einem Träger gehalten werden. Die Zuverlässigkeit des NEXIV und die stabile Beladung des Wafers mit Hilfe des NWL gewährleistet eine hohe Wiederholbarkeit der Messung. Das System erlaubt die intuitive Auswahl des zu messenden Chips mit Hilfe einer speziellen Software. So kann jeder mit einem hohen Maß an Zuverlässigkeit die erforderlichen Chip-Messergebnisse erzielen. Außerdem lässt sich zurückverfolgen, wann und mit welchem Programm die Messung erfolgt ist. Das erleichtert die Rückverfolgbarkeit.
Die Anlage wurde unter dem Aspekt der Sicherheit entwickelt. Daher verfügt sie über eine Schutzhaube, um mögliche Schäden durch Bedienungsfehler zu vermeiden. Betrieb trifft auf die internationalen Standards S2, S8 und F47 von SEMI.
Über Nikon Metrology
Nikon bietet weltweit eine Vielzahl von Produkten, Dienstleistungen und Lösungen an, die auf fortschrittlicher Optoelektronik und Präzisionstechnologien basieren, die in der mehr als 100-jährigen Geschichte des Unternehmens entstanden sind. Die Gruppe schafft weiterhin neue Werte, die zur Verbesserung der Lebensqualität und der Produktion in einer Vielzahl von Formen beitragen. Die industrielle Messtechniksparte (IMBU) von Nikon liefert integrierte, optimierte und hochpräzise Lösungen, die nicht nur maßgeschneidert und kosteneffizient sind, sondern auch sofort nach der Implementierung hervorragend funktionieren. Eine neuere Entwicklung im Bereich Digital Manufacturing von Nikon ist die engere Zusammenarbeit zwischen IMBU und der Digital Solutions Business Unit (DSBU) des Unternehmens, die eine Reihe additiver und subtraktiver optischer Fertigungslösungen für die Bearbeitung einer Vielzahl von Werkstoffen mit einer Oberflächengüte im Bereich unter einem Mikrometer auf den Markt gebracht hat. www.industry.nikon.com
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