Nikon Corporation 的工业计量事业部发布了晶圆自动测量系统 NEXIV VMZ-NWL 200，以应对半导体后端工艺中晶圆计量方面的挑战；在传统上，与前端工艺控制相比，后端工艺中的更多工作是由人工完成的。因此，NEXIV VMZ-NWL 200 的主要目标市场是以后端半导体制造工艺为中心的测量相关领域。NEXIV VMZ-NWL 200 可缓解熟练手工测量技术人员的短缺问题。半导体行业在朝着小型化的方向发展，这提高了技术人员需掌握的技能水平，并使合格工程师的数量更少。另一方面，半导体市场规模继续扩大，造成了计量工作日益增多同时技术人员却在减少这一困境。因此，使用传统光学显微镜进行的手工测量已达到其极限。NEXIV VMZ-NWL 200 系统可根据测量程序自动测量载具中夹持的 6 英寸或 8 英寸晶圆。NEXIV 的可靠性高，并且可以使用 NWL 稳定地装载晶圆，因此能够确保测量的高重复性。借助该系统，可使用专用软件直观地选择要测量的芯片。因此，任何人都能够获得所需的高度可靠的芯片测量结果。此外，还可以追踪测量操作是在什么时间、由哪个程序执行的，这有助于提高可追溯性。该系统在设计中充分考虑了安全，并提供保护罩，可防止由于操作员错误而造成的损坏。操作程序符合 SEMI 国际标准 S2、S8 和 F47。
关于 Nikon Metrology
Nikon 基于公司 100 多年历史孕育的先进光电和精密技术，在全球范围内提供各种产品、服务和解决方案。集团不断创造新的价值，以各种形式为提高生活质量和改进制造业做出贡献。Nikon 的工业计量事业部 (IMBU) 提供集成、优化、超高精度的解决方案，这些解决方案不仅可定制，具有成本效益，而且实施后的效果非常好。Nikon 数字制造旗帜下的最新发展是 IMBU 与公司数字解决方案事业部 (DSBU) 之间加强合作，后者推出了一系列光学增材和减材制造解决方案，旨在将各种材料加工到亚微米级表面光洁度。 www.industry.nikon.com
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