ระบบการวัดนี้ประกอบด้วยเทคโนโลยี Confocal การถ่ายภาพในที่สว่างด้วยการซูม 15 เท่า และเลเซอร์โฟกัสอัตโนมัติ ไม่ว่าจะต้องการการวัดในรูปทรงเรขาคณิตแบบใด ไม่ว่าจะเป็น 2 มิติ หรือ 3 มิติ การตรวจสอบและการประเมินจะทำได้อย่างรวดเร็วและแม่นยำเป็นพิเศษ
เลนส์ Confocal ช่วยให้แสดงผลได้ชัดเจนและอำนวยความสะดวกในการตรวจจับขอบที่มีคอนทราสต์สูงได้อย่างแม่นยำ
การผสมผสานระหว่างการวัดแบบ 2 มิติ กับภาพสว่างที่ซูม 15 เท่าและการวัดความสูงแบบ 3 มิติ ในมุมมองเดียวกันทำให้สามารถวัดค่าได้หลากหลาย
สามารถเขียนโปรแกรมจากข้อมูลตำแหน่งได้ในคลิกเดียว พิกัด XYZ และโพรบสัมผัสบนระนาบของ Probe Cards สามารถวัดได้โดยอัตโนมัติด้วยเครื่องมือประมวลผลภาพที่ไม่เหมือนใคร
เทคโนโลยีการถ่ายภาพแบบ confocal อันเป็นเอกลักษณ์ของ Nikon ทำให้สามารถสแกนพื้นผิวทั้งที่มีการสะท้อนแสงสูงและสะท้อนแสงต่ำได้อย่างแม่นยำ
| เลนส์ใกล้วัตถุ |
|||||
| หัวมาตรฐาน | หัวกำลังขยายสูง | ||||
| กำลังขยาย | 1.5x | 3x | 7.5x | 15x | 30x |
| W.D. | 24 มม. | 24 มม. | 5 มม. | 20 มม. | 5 มม. |
| Confocal Optics (การวัดความสูงของพื้นที่) |
|||||
| หัวมาตรฐาน | หัวกำลังขยายสูง | ||||
| Field of View | 8 x 6 มม. | 4 x 3 มม. | 1.6 x 1.2 มม. | 0.8 x 0.6 มม. | 0.4 x 0.3 มม. |
| Height Measurement Repeatability (2σ) | 0.6 ไมโครเมตร | 0.35 ไมโครเมตร | 0.25 ไมโครเมตร | 0.20 ไมโครเมตร |
|
| Height Measurement Resolution | 0.01 ไมโครเมตร | ||||
| เลนส์ Brightfield (การวัดแบบ 2D) |
|||||
| หัวมาตรฐาน | หัวกำลังขยายสูง | ||||
| วิธีในการซูม | Motorized 5-step zoom |
||||
| Field of View | 8 x 6 มม. ถึง 0.53 x 0.4 มม. | 4 x 3 มม. ถึง 0.27 x 0.2 มม. | 1.6 x 1.2 มม. ถึง 0.11 x 0.08 มม. | 1.26 x 0.95 มม. ถึง 0.1 x 0.074 มม. | 0.63 x 0.47 มม. ถึง 0.05 x 0.04 มม. |
| การส่องสว่าง | ไฟ LED สีขาวแบบ diascopic และ episcopic สำหรับทุกประเภท ไฟวงแหวน LED สีขาว สำหรับรุ่น 1.5x, 3x และ 7.5x |
||||
| แหล่งกำเนิดแสง | White LED | ||||
| โฟกัวอัตโนมัติ | Vision AF และ TTL laser AF (มีโหมดการสแกน) | ||||
| ตัวเครื่องหลัก |
||
| VMZ-K3040 | VMZ-K6555 | |
| สโตรก (X, Y, Z) | 300 x 400 x 150 มม. |
|
| รับประกันความจุในการโหลด | 20 กก. | 30 กก. |
| Maximum Permissible Error | EUX,MPE EUY, MPE 1.5 + 4L/1000µm | |
| EUXY, MPE 2.5 + 4L/1000µm | ||
| EUZ, MPE 1 + L/1000µm | ||
| แหล่งพลังงาน / การใช้พลังงาน | AC 100 to 240 V ± 10% 50/60 Hz / 13A to 6.5A | |
| พื้นที่ในการติดตั้ง | 2500 x 1600 มม. | 2500 x 1900 มม. |
หากคุณต้องการรายละเอียดเพิ่มเติมเกี่ยวกับผลิตภัณฑ์นี้หรือคำอธิบายเชิงลึก ทีมผู้เชี่ยวชาญของเราจะให้ข้อมูลเพิ่มเติมแก่คุณ และหากจำเป็นจะขอทำการนัดหมายเพื่อเข้าพบ
พูดคุยกับเราในรายละเอียดเกี่ยวกับโครงการของคุณ แล้วผู้เชี่ยวชาญของเราจะแนะนำระบบการตรวจสอบที่ดีที่สุดเพื่อตอบสนองความต้องการของคุณ
กรุณากรอกแบบฟอร์มด้านข้างนี้ แล้วเราจะติดต่อกลับโดยเร็ว
