รุ่น iNEXIV VMA
ด้วยขอบเขตการมองเห็นที่กว้าง ระยะในการวัดที่สูง และสโตรก XYZ ขนาดใหญ่ รุ่น iNEXIV VMA จึงมอบการใช้งานขั้นสูงสุดสำหรับการวัดชิ้นงาน 3 มิติ โดยอัตโนมัติ
ข้อมูลผลิตภัณฑ์Products and promotions may differ based on your selected region.
ซีรีย์ NEXIV VMF-K – เครื่องวัดขนาด 3 มิติ ด้วยระบบคอนโฟคอล
ซีรีส์ NEXIV VMF-K ของ Nikon เปลี่ยนแปลงการวัดแบบออปติคอล โดยผสมผสานความสามารถด้าน 2D และ 3D ความเร็วสูงเข้ากับความแม่นยำที่เหนือชั้น ระบบคอนโฟคอลขั้นสูงของผลิตภัณฑ์ชุดนี้ช่วยเพิ่มปริมาณงานที่ทำได้ให้กับชิ้นงานที่หลากหลาย เพื่อสนับสนุนให้ภาระงานลดลงในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และวิศวกรรมที่ต้องอาศัยความแม่นยำ
อีกขั้นของปริมาณงาน
ซีรีส์ NEXIV VMF-K ของ Nikon ปรับปรุงระบบการวัดแบบดั้งเดิมด้วยการใช้ระบบออปติคอลคอนโฟคอลขั้นสูง ซีรีส์ VMF-K ได้รับการออกแบบมาเพื่อปรับปรุงความเร็วในการวัด ช่วยให้ผู้ใช้สามารถวิเคราะห์วัสดุและส่วนประกอบต่างๆ ด้วยประสิทธิภาพและความแม่นยำที่ไม่เคยมีมาก่อน
ผลิตภัณฑ์ในชุด NEXIV VMF-K ช่วยจัดการกับความท้าทายจากรูปทรงเรขาคณิตของชิ้นงานที่มีความซับซ้อน รวมถึงพื้นผิวที่มีคอนทราสต์สูงและวัสดุโปร่งใส เพื่อช่วยให้ผู้ใช้งานได้ผลการวัดแบบละเอียดที่ก่อนหน้านี้เป็นเรื่องท้าทายสำหรับพวกเขา การผนวกรวมประสิทธิภาพการวัดแบบ 2D และ 3D เข้าด้วยกันของระบบ ช่วยลดเวลาในการตรวจสอบได้เป็นอย่างมาก เมื่อเทียบกับวิธีการเดิมๆที่ใช้กันมา ซึ่งทำให้กระบวนการควบคุมคุณภาพมีความรวดเร็วขึ้นเป็นอย่างมากและครอบคลุมได้ครบถ้วนมากขึ้น
ความสามารถในการวัดแบบออปติคอลที่มีประสิทธิภาพมากขึ้น
ซีรีส์ NEXIV VMF-K ช่วยยกระดับประสิทธิภาพการวัดแบบออปติคอลได้อย่างมาก เพื่อให้การตรวจสอบชิ้นงานต่างๆ แบบ 2D และ 3D ได้อย่างแม่นยำ ระบบคอนโฟคอลช่วยให้แน่ใจถึงความแม่นยำในการวัดวัสดุที่มีคอนทราสต์สูงและโปร่งใส ซึ่งจะทำให้การวิเคราะห์พื้นผิวและความสูงมีประสิทธิภาพมากขึ้น ระบบนี้ทำให้การตรวจสอบรูปทรงเรขาคณิตที่ซับซ้อนและโครงสร้างที่ละเอียดมีความน่าเชื่อถือ ซึ่งจะเป็นประโยชน์อย่างยิ่งต่อการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และส่วนประกอบที่มีขนาดเล็กลง
จุดเด่นของผลิตภัณฑ์
การวัดด้วยความเร็วสูง
ซีรีส์ NEXIV VMF-K ผสานการวัดแบบ 2D และความสูงไว้ในอุปกรณ์เดียว ทำให้ได้ปริมาณงานสูงกว่ารุ่นก่อนหน้าถึง 1.5 เท่า ระบบการตรวจสอบแบบออปติคอลทำให้การวัดแบบ 2D และการวัดความสูงสามารถดำเนินไปได้พร้อมกันภายในขอบเขตการมองเห็น ส่งผลให้สามารถลดเวลาในการวัดลงได้อย่างมากโดยไม่กระทบต่อความแม่นยำ
ความหลากหลายจากการใช้งานได้อย่างอเนกประสงค์
ซีรีส์ NEXIV VMF-K ของ Nikon มีความโดดเด่นในการวัดส่วนประกอบเซมิคอนดักเตอร์ต่างๆ รวมถึงโพรบการ์ดและลวดเชื่อม ความอเนกประสงค์นี้เป็นเครื่องมือสำคัญสำหรับการตรวจสอบที่ครอบคลุมสำหรับเซมิคอนดักเตอร์และการรับประกันคุณภาพ โดยเสริมสร้างประสิทธิภาพให้การปฏิบัติงานด้วยการรวมเอาการวัดที่หลากหลาย เข้ามาอยู่ในระบบที่มีประสิทธิภาพเพียงระบบเดียว
การสนับสนุนขั้นสูงสำหรับเซมิคอนดักเตอร์
กลุ่มผลิตภัณฑ์มาตรฐานซีรีส์ NEXIV VMF-K ของ Nikon ได้แก่ เลนส์ใกล้วัตถุ 45x เพื่อรองรับการวัดบรรจุภัณฑ์ระดับเวเฟอร์ (wafer-level packaging หรือ WLP) ความสามารถด้านกำลังขยายสูงนี้ช่วยให้เกิดความแม่นยำในการตรวจสอบโครงสร้างที่มีความละเอียดมากเป็นพิเศษ ซึ่งมีความสำคัญต่อการรักษาระดับการควบคุมคุณภาพเอาไว้ในขณะที่ส่วนประกอบของเซมิคอนดักเตอร์นั้นมีขนาดเล็กลงเรื่อยๆ
ประสิทธิภาพของการวัดขนาดที่มีความยาว
ซีรีส์ NEXIV VMF-K ของ Nikon สามารถวัดขนาดที่มีความยาวที่เกินกว่าขนาดของขอบเขตการมองเห็นได้อย่างถูกต้อง ในขณะที่ยังคงความแม่นยำเอาไว้ คุณลักษณะนี้มีความสำคัญต่อการวัดอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ ซึ่งต้องอาศัยความแม่นยำของตำแหน่งในขนาดที่มีความยาวและการวัดระบบพิกัด
ความเสถียรในการวัดวัตถุที่มีคอนทราสต์สูง
ด้วยระบบคอนโฟคอลขั้นสูง ซีรีส์ NEXIV VMF-K ของ Nikon จึงมอบการวัดชิ้นงานที่มีความคมชัดสูงได้อย่างมีเสถียรภาพ คุณลักษณะนี้จะทำให้ภาพที่ได้มีความชัดเจนและถูกต้อง แม้จะเป็นชิ้นงานที่ระดับแสงสว่างหรือการสะท้อนมีความแตกต่างกันอย่างมาก
การวัดชิ้นงานที่โปร่งแสงและบางมาก
ซีรีส์ NEXIV VMF-K ของ Nikon สามารถวัดชิ้นงานที่โปร่งแสงและบางมากได้อย่างถูกต้อง เพื่อช่วยจัดการกับความท้าทายที่พบได้บ่อยในระบบการวัดแบบออปติคอล ประสิทธิภาพนี้ช่วยขยายขอบเขตการใช้งานให้สามารถวัดชิ้นงานที่โปร่งแสงและบางมาก เช่น ฟิล์มบนพื้นผิวโลหะและสารกึ่งตัวนำของเซมิคอนดักเตอร์ เพื่อเพิ่มความอเนกประสงค์ของการวัดวัตถุหลากหลายชนิด
รุ่นของผลิตภัณฑ์ในซีรีส์ NEXIV VMF-K
ซีรีส์ NEXIV VMF-K ผนวกรวมการวัดออปติคัลแบบ 2D และ 3D ให้ปริมาณงานที่เพิ่มมากขึ้น 1.5 เท่าสำหรับการวัดโพรบการ์ด อุปกรณ์มาพร้อมกับเลนส์ใกล้วัตถุ 45x และแหล่งกำเนิดแสงแบบคอนโฟคอล (อายุใช้งาน 30,000 ชั่วโมง) และรองรับบรรจุภัณฑ์ระดับเวเฟอร์และการวัดขนาดที่มีความยาว สอดคล้องกับ SEMI S2/S8 เหมาะสำหรับการใช้ในงานอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และวิศวกรรมที่ต้องอาศัยความแม่นยำ
NEXIV VMF-K3040
สโตรก (XYZ): 300x400x150 mm
คุณลักษณะจำเพาะ
| VMF-K3040 / VMF-K6555 | |||||||
| Measuring head | Standard head (Type-S) | High-magnification head (Type-H) | 45× High-magnification head | ||||
| Optical magnification | Magnification | 1.5× | 3.0× | 7.5× | 15× | 30× | 45× |
| Working distance | 24 mm | 24 mm | 5 mm | 20 mm | 5 mm | 5 mm | |
| Confocal optics (height measurement) | Maximum scan height | 1 mm | |||||
| Field of view | 7.80×5.82 mm | 3.90×2.91 mm | 1.56×1.17 mm | 0.78×0.58 mm | 0.39×0.29 mm | 0.26×0.19 mm |
|
| Height measurement repeatability (2σ) | 0.6 μm | 0.35 μm | 0.25 μm | 0.25 μm | 0.2 μm | 0.2 μm | |
| Height resolution | 0.025 μm | 0.01 μm | |||||
| Light source | Green LED | ||||||
| Bright Field Optics (two-dimensional measurement) | Magnification method | Motorised 5-step zoom | |||||
| Field of view | 7.80×5.85~ 0.52×0.39 mm | 3.90×2.92~ 0.26×0.19 mm | 1.56×1.17~ 0.10×0.078 mm | 1.26×0.95~ 0.099×0.074 mm | 0.63×0.47~ 0.052×0.039 mm | 0.63×0.47~ 0.052×0.039 mm |
|
| Illumination | Diascopic, coaxial episcopic and ring | Diascopic, coaxial episcopic | |||||
| Light source | White LED | ||||||
| Autofocus | TTL Laser AF, Image AF | ||||||
| Main body | Power source | AC 100V-240V ±10%, 50/60 Hz | |||||
| Power consumption | 13A-10A | ||||||
| Safety standard | SEMI S2/S8 compliance *1 | ||||||
| Model | VMF-K3040 | VMF-K6555 | |||||
| Main Body | XYZ strokes | 300×400×150 mm | 650×550×150 mm | ||||
| Accuracy guaranteed loading capacity | 20 kg | 30 kg | |||||
| Maximum permissible error (L: Length in mm) | Eux, MPE Euy, MPE ± (1.2 + 4L/1000) μm | ||||||
| Euxy, MPE ± (2.0 + 4L/1000) μm | |||||||
| Euz, MPE ± (1 + L/1000) μm | |||||||
| Minimum readout | 0.01 μm | ||||||
| Dimensions (WxDxH) and weight | Main body and table | 1146×1247×1973 mm / approx. 800 kg | 1198×1640×1973 mm / approx. 800 kg | ||||
| Controller | 190×450×440 mm / approx. 14 kg | ||||||
| Recommended installation dimensions (WxD) *2 | 3150×3000 mm | 3200×3300 mm | |||||
| Minimum installation dimensions (WxD) | 2500×1600 mm | 2500×1900 mm | |||||
*1: If installed according to SEMI guidelines, VMF-K will be compliant with SEMI S2/S8.
*2: Includes our recommended maintenance space.
NEXIV VMF-K6555
สโตรก (XYZ): 650x550x150 mm
คุณลักษณะจำเพาะ
| VMF-K3040 / VMF-K6555 | |||||||
| Measuring head | Standard head (Type-S) | High-magnification head (Type-H) | 45× High-magnification head | ||||
| Optical magnification | Magnification | 1.5× | 3.0× | 7.5× | 15× | 30× | 45× |
| Working distance | 24 mm | 24 mm | 5 mm | 20 mm | 5 mm | 5 mm | |
| Confocal optics (height measurement) | Maximum scan height | 1 mm | |||||
| Field of view | 7.80×5.82 mm | 3.90×2.91 mm | 1.56×1.17 mm | 0.78×0.58 mm | 0.39×0.29 mm | 0.26×0.19 mm |
|
| Height measurement repeatability (2σ) | 0.6 μm | 0.35 μm | 0.25 μm | 0.25 μm | 0.2 μm | 0.2 μm | |
| Height resolution | 0.025 μm | 0.01 μm | |||||
| Light source | Green LED | ||||||
| Bright Field Optics (two-dimensional measurement) | Magnification method | Motorised 5-step zoom | |||||
| Field of view | 7.80×5.85~ 0.52×0.39 mm | 3.90×2.92~ 0.26×0.19 mm | 1.56×1.17~ 0.10×0.078 mm | 1.26×0.95~ 0.099×0.074 mm | 0.63×0.47~ 0.052×0.039 mm | 0.63×0.47~ 0.052×0.039 mm |
|
| Illumination | Diascopic, coaxial episcopic and ring | Diascopic, coaxial episcopic | |||||
| Light source | White LED | ||||||
| Autofocus | TTL Laser AF, Image AF | ||||||
| Main body | Power source | AC 100V-240V ±10%, 50/60 Hz | |||||
| Power consumption | 13A-10A | ||||||
| Safety standard | SEMI S2/S8 compliance *1 | ||||||
| Model | VMF-K3040 | VMF-K6555 | |||||
| Main Body | XYZ strokes | 300×400×150 mm | 650×550×150 mm | ||||
| Accuracy guaranteed loading capacity | 20 kg | 30 kg | |||||
| Maximum permissible error (L: Length in mm) | Eux, MPE Euy, MPE ± (1.2 + 4L/1000) μm | ||||||
| Euxy, MPE ± (2.0 + 4L/1000) μm | |||||||
| Euz, MPE ± (1 + L/1000) μm | |||||||
| Minimum readout | 0.01 μm | ||||||
| Dimensions (WxDxH) and weight | Main body and table | 1146×1247×1973 mm / approx. 800 kg | 1198×1640×1973 mm / approx. 800 kg | ||||
| Controller | 190×450×440 mm / approx. 14 kg | ||||||
| Recommended installation dimensions (WxD) *2 | 3150×3000 mm | 3200×3300 mm | |||||
| Minimum installation dimensions (WxD) | 2500×1600 mm | 2500×1900 mm | |||||
*1: If installed according to SEMI guidelines, VMF-K will be compliant with SEMI S2/S8.
*2: Includes our recommended maintenance space.
นวัตกรรมและคุณภาพสำหรับทุกสภาพแวดล้อม
ซีรีส์ NEXIV VMF-K มาพร้อมกับการวัดแบบออปติคอลขั้นสูงสำหรับอุตสาหกรรมที่หลากหลาย ระบบคอนโฟคอลสามารถทำการวัดแบบ 2D และ 3D สำหรับส่วนประกอบหลากหลายชนิด ทั้งยังสามารถรองรับชื้นงานที่มีคอนทราสต์สูงและโปร่งใส ด้วยปริมาณงานที่ทำได้มากขึ้นและกำลังขยายที่สูงขึ้น ระบบจึงรองรับต่อการย่อขนาดและรูปทรงเรขาคณิตที่ซับซ้อนขึ้นในภาคการผลิตยุคใหม่ได้ โดยเฉพาะในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และอิเล็กทรอนิกส์
การประยุกต์ใช้งานในอุตสาหกรรม
เซมิคอนดักเตอร์/อิเล็กทรอนิกส์ บรรจุภัณฑ์ขั้นสูง
ซีรีส์ NEXIV VMF-K ผสมผสานการวิเคราะห์ 2D และการวิเคราะห์ความสูงให้เกิดขึ้นพร้อมกันภายในขอบเขตการมองเห็นเดียว จึงเหมาะอย่างยิ่งสำหรับกระบวนการบรรจุขั้นสูง เลนส์ใกล้วัตถุ 45x มาตรฐานแบบใหม่ช่วยให้การวัดคุณลักษณะที่ต่ำกว่า 2μm มีความแม่นยำ ซึ่งจะช่วยจัดการกับความท้าทายที่เกิดจากสถาปัตยกรรมที่ซับซ้อนมากขึ้นของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ได้โดยตรง
เซมิคอนดักเตอร์/อิเล็กทรอนิกส์ การตรวจสอบโพรบการ์ด
ซีรีส์ NEXIV VMF-K สามารถวัดโพรบการ์ดได้ดียิ่งขึ้น 1.5x เมื่อเทียบกับผลิตภัณฑ์รุ่นก่อนหน้า ความเร็วที่เพิ่มมากขึ้นนี้ เมื่อผสานรวมกับความสามารถของระบบ จะสามารถคงความเสถียรของการวัดที่อยู่ภายนอกขอบเขตการมองเห็น เพิ่มประสิทธิภาพให้กระบวนการตรวจสอบ ทั้งยังช่วยให้แน่ใจได้ถึงความถูกต้องของการประเมินโพรบการ์ดอย่างครอบคลุม
เซมิคอนดักเตอร์/อิเล็กทรอนิกส์ การตรวจสอบเวเฟอร์
ซีรีส์ NEXIV VMF-K ใช้เลนส์ออปติกแบบคอนโฟคอลขั้นสูงเพื่อให้แน่ใจถึงความแม่นยำในการตรวจสอบพื้นผิวที่มีการสะท้อนหลากหลายรูปแบบ จึงทำให้เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการวิเคราะห์เวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ เลนส์ใกล้วัตถุ 45x แบบมาตรฐานช่วยให้สามารถมองเห็นคุณลักษณะเวเฟอร์ที่ละเอียดมากที่สุด อีกทั้งประสิทธิภาพในการวัดแบบ 2D และการวัดความสูงได้พร้อมกันนั้น ช่วยให้ประสิทธิภาพในการตรวจสอบอยู่ในระดับสูงสุดภายในขอบเขตการมองเห็นแต่ละครั้ง
เซมิคอนดักเตอร์/อิเล็กทรอนิกส์ การผลิตซับสเตรต
ซีรีส์ NEXIV VMF-K ได้รับการปรับให้เหมาะกับลำดับงานในการตรวจสอบซับสเตรต เพื่อให้เกิดความเสถียรในการวัดวัสดุที่มีความท้าทายต่างๆ รวมถึงชิ้นงานที่มีคอนทราสต์สูงและโปร่งใส ด้วยการพัฒนาต่อยอดจากเทคโนโลยีคอนโฟคอลที่ผ่านการพิสูจน์มาแล้ว ระบบจึงสามารถสแกนได้เร็วกว่าระบบรุ่นก่อนหน้าถึง 1.5x ทั้งยังสามารถคงความแม่นยำที่จำเป็นสำหรับมาตรฐานการผลิตซับสเตรตในยุคใหม่ได้อีกด้วย
คำถามที่พบบ่อย
ซีรีส์ NEXIV VMF-K ของ Nikon เหมาะเป็นพิเศษกับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ โดยเพาะในการวัดโพรบการ์ดและการสนับสนุนความต้องการในการวัดเซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูง และยังเหมาะสมสำหรับการวัดชิ้นงานที่มีคอนทราสต์แบบมีความสว่างสูงและตัวอย่างที่โปร่งใสโดยมีแสงสะท้อนที่ไม่สม่ำเสมอ ระบบรองรับการวัดบรรจุภัณฑ์ระดับเวเฟอร์ (WLP) และสามารถวัดขนาดที่มีความยาวที่อยู่นอกขอบเขตการมองเห็นได้
ซีรีส์ NEXIV VMF-K ของ Nikon สามารถสแกนเพื่อวัดความสูงได้เร็วมากขึ้น ทำให้สร้างปริมาณงานได้มากกว่ารุ่นอื่นๆ ถึง 1.5 เท่า นอกจากนี้ เลนส์ใกล้วัตถุ 45x ที่มีกำลังขยายสูงยังถูกเพิ่มเข้ามาเพื่อตอบสนองต่อความต้องการในการวัดขนาดที่มีความละเอียดมากขึ้น
คุณลักษณะหลักได้แก่ ปริมาณการวัดที่ทำได้มากขึ้น แหล่งที่มาของแสงสว่างแบบคอนโฟคอลที่เปลี่ยนจากซีนอนเป็น LED เพื่ออายุการใช้งานที่ยาวนานขึ้น (จาก 3,000 ชั่วโมงเป็น 30,000 ชั่วโมง) มาตรฐานกำลังขยาย 45x สำหรับการวัดเซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูง การปฏิบัติตามมาตรฐาน SEMI S2/S8 ความสามารถในการบำรุงรักษาที่ดียิ่งขึ้น และการออกแบบภายนอกโฉมใหม่ ระบบผนวกรวมการวัดแบบ 2D ที่ใช้ภาพในโหมดไบรต์ฟิลด์เข้ากับการวัดความสูงที่ทำได้พร้อมกันโดยใช้ระบบออปติคอลแบบคอนโฟคอล
ซีรีส์ NEXIV VMF-K ของ Nikon ใช้ระบบอปติคอลแบบคอนโฟคอลที่ช่วยให้เกิดความเสถียรในการวัดชิ้นงานที่มีคอนสทราสต์ความสว่างสูงและตัวอย่างที่โปร่งใสที่มีแสงสะท้อนไม่สม่ำเสมอ โดยจะทำให้การวัดมีความแม่นยำและมั่นคงสำหรับขนาดที่มีความยาวที่อยู่นอกขอบเขตการมองเห็น ระบบคงประสิทธิภาพการทำงานหลักของซีรีส์ NEXIV VMF-K พร้อมกับนำเสนอการพัฒนาและการปรับปรุงเหล่านี้
ซีรีส์ NEXIV VMF-K ของ Nikon มีการพัฒนาปรับปรุงความสามารถในการใช้งานหลายด้าน ผู้ใช้เพียงคนเดียวสามารถถอดฝาครอบส่วนหัวออกได้ ในขณะที่ซีรีส์ VMZ-K อื่นๆ ต้องใช้คนถึงสองคน มาพร้อมกับจอ LED ที่ด้านหน้าของตัวเครื่องเพื่อแสดงสถานะของอุปกรณ์ นอกจากนี้ ยังสามารถใช้งานเข้าคู่กับขายึดพื้นจากผลิตภัณฑ์ในซีรีส์ VMZ-S อื่นๆได้ด้วย เพื่อความเสถียรในการติดตั้ง และยังมีฟังก์ชันในการแปลงขนาดคาลิเปอร์ของโปรแกรมที่สร้างด้วย VMZ-K ให้ตรงกับจำนวนพิกเซลของกล้องใน VMF-K เพื่อให้มั่นใจถึงความเข้ากันได้ในรุ่นถัดๆ ไป
| VMF-K3040 / VMF-K6555 | |||||||
| Measuring head | Standard head (Type-S) | High-magnification head (Type-H) | 45× High-magnification head | ||||
| Optical magnification | Magnification | 1.5× | 3.0× | 7.5× | 15× | 30× | 45× |
| Working distance | 24 mm | 24 mm | 5 mm | 20 mm | 5 mm | 5 mm | |
| Confocal optics (height measurement) | Maximum scan height | 1 mm | |||||
| Field of view | 7.80×5.82 mm | 3.90×2.91 mm | 1.56×1.17 mm | 0.78×0.58 mm | 0.39×0.29 mm | 0.26×0.19 mm |
|
| Height measurement repeatability (2σ) | 0.6 μm | 0.35 μm | 0.25 μm | 0.25 μm | 0.2 μm | 0.2 μm | |
| Height resolution | 0.025 μm | 0.01 μm | |||||
| Light source | Green LED | ||||||
| Bright Field Optics (two-dimensional measurement) | Magnification method | Motorised 5-step zoom | |||||
| Field of view | 7.80×5.85~ 0.52×0.39 mm | 3.90×2.92~ 0.26×0.19 mm | 1.56×1.17~ 0.10×0.078 mm | 1.26×0.95~ 0.099×0.074 mm | 0.63×0.47~ 0.052×0.039 mm | 0.63×0.47~ 0.052×0.039 mm |
|
| Illumination | Diascopic, coaxial episcopic and ring | Diascopic, coaxial episcopic | |||||
| Light source | White LED | ||||||
| Autofocus | TTL Laser AF, Image AF | ||||||
| Main body | Power source | AC 100V-240V ±10%, 50/60 Hz | |||||
| Power consumption | 13A-10A | ||||||
| Safety standard | SEMI S2/S8 compliance *1 | ||||||
| Model | VMF-K3040 | VMF-K6555 | |||||
| Main Body | XYZ strokes | 300×400×150 mm | 650×550×150 mm | ||||
| Accuracy guaranteed loading capacity | 20 kg | 30 kg | |||||
| Maximum permissible error (L: Length in mm) | Eux, MPE Euy, MPE ± (1.2 + 4L/1000) μm | ||||||
| Euxy, MPE ± (2.0 + 4L/1000) μm | |||||||
| Euz, MPE ± (1 + L/1000) μm | |||||||
| Minimum readout | 0.01 μm | ||||||
| Dimensions (WxDxH) and weight | Main body and table | 1146×1247×1973 mm / approx. 800 kg | 1198×1640×1973 mm / approx. 800 kg | ||||
| Controller | 190×450×440 mm / approx. 14 kg | ||||||
| Recommended installation dimensions (WxD) *2 | 3150×3000 mm | 3200×3300 mm | |||||
| Minimum installation dimensions (WxD) | 2500×1600 mm | 2500×1900 mm | |||||
*1: If installed according to SEMI guidelines, VMF-K will be compliant with SEMI S2/S8.
*2: Includes our recommended maintenance space.
ผลิตภัณฑ์ที่เกี่ยวข้อง
NEXIV VMZ-H3030
NEXIV VMZ-H3030 มอบความสามารถในการใช้งานและประสิทธิภาพขั้นสูง ให้ความแม่นยำสูงสุดในรุ่น NEXIV ของ Nikon
ข้อมูลผลิตภัณฑ์
รุ่น NEXIV VMZ-S
ระบบการวัดขนาด 3 มิติ โดยกลุ่ม NEXIV VMZ-S ของ Nikon มอบความแม่นยำ ความเร็ว และความสามารถในการใช้งานสูงสำหรับแอปพลิเคชั่นการตรวจสอบจนถึงการวัดระดับไมโครเมตร
ข้อมูลผลิตภัณฑ์สอบถามเราเกี่ยวกับผลิตภัณฑ์นี้
หากคุณต้องการรายละเอียดเพิ่มเติมเกี่ยวกับผลิตภัณฑ์นี้หรือคำอธิบายเชิงลึก ทีมผู้เชี่ยวชาญของเราพร้อมที่จะให้ข้อมูลเพิ่มเติมแก่คุณ หรือสามารถนัดหมายเพื่อให้เราเข้าพบคุณได้
แจ้งให้เราทราบเกี่ยวกับโครงการของคุณโดยละเอียด แล้วผู้เชี่ยวชาญของเราจะแนะนำระบบการตรวจสอบที่ดีที่สุดและตรงกับความต้องการของคุณ
กรุณากรอกแบบฟอร์มด้านข้าง แล้วเราจะติดต่อคุณโดยเร็วที่สุด