หน่วยธุรกิจมาตรวิทยาอุตสาหกรรมของ Nikon Corporation ได้เปิดตัวระบบการวัดเวเฟอร์อัตโนมัติ NEXIV VMZ-NWL 200 เพื่อแก้ปัญหาความท้าทายของมาตรวิทยาเวเฟอร์ในกระบวนการ back-end เซมิคอนดักเตอร์ ซึ่งตามปกติแล้วงานจะดำเนินการด้วยตนเองมากกว่าการควบคุมกระบวนการ front-end ตลาดเป้าหมายหลักของ NEXIV VMZ-NWL 200 จึงมุ่งเน้นไปที่กระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ในส่วน back-end
NEXIV VMZ-NWL 200 ช่วยลดการขาดแคลนช่างเทคนิคผู้มีทักษะในการวัดแบบแมนนวล อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ได้รับการพัฒนาตามเส้นทางของการย่อขนาด ซึ่งเพิ่มระดับทักษะที่จำเป็นสำหรับการวัดและลดจำนวนวิศวกรที่มีอยู่ ในทางกลับกันตลาดเซมิคอนดักเตอร์ยังคงขยายตัวอย่างต่อเนื่อง ดังนั้นจึงมีการเสนอโอกาสด้านมาตรวิทยาที่เพิ่มขึ้นให้กับผู้คนน้อยลง ผลก็คือ การวัดแบบแมนนวลโดยใช้กล้องจุลทรรศน์แบบใช้แสงแบบธรรมดาถึงขีดจำกัดแล้ว
NEXIV VMZ-NWL 200 คือระบบที่จะวัดเวเฟอร์ขนาด 6 นิ้ว หรือ 8 นิ้ว ที่เก็บไว้ในแท่นวางโดยอัตโนมัติตามโปรแกรมการวัด รับประกันความสามารถในการทำซ้ำในระดับสูงด้วยความน่าเชื่อถือของ NEXIV และการโหลดเวเฟอร์ที่เสถียรโดยใช้ NWL ระบบช่วยให้สามารถเลือกชิปได้อย่างง่ายดายเพื่อวัดโดยใช้ซอฟต์แวร์เฉพาะ ดังนั้นใครๆ ก็สามารถบรรลุผลการวัดชิปที่ต้องการได้ด้วยความน่าเชื่อถือในระดับสูง นอกจากนี้ ยังสามารถติดตามเมื่อทำการวัดและโดยใช้โปรแกรมใด ซึ่งช่วยปรับปรุงความสามารถในการตรวจสอบย้อนกลับ
ระบบได้รับการออกแบบโดยคำนึงถึงความปลอดภัยและมีฝาครอบป้องกันเพื่อป้องกันความเสียหายที่อาจเกิดขึ้นเนื่องจากข้อผิดพลาดของผู้ปฏิบัติงาน การดำเนินงานเป็นไปตามมาตรฐานสากล SEMI S2, S8 และ F47
เกี่ยวกับ Nikon Metrology
Nikon นำเสนอผลิตภัณฑ์ บริการ และโซลูชั่นที่หลากหลายทั่วโลก โดยใช้เทคโนโลยีออปโตอิเล็กทรอนิกส์และความแม่นยำขั้นสูงที่สั่งสมมาในช่วงประวัติศาสตร์กว่า 100 ปีของบริษัท กลุ่มบริษัทยังคงสร้างคุณค่าใหม่ๆ ที่มีส่วนช่วยในการพัฒนาคุณภาพชีวิตและการผลิตในรูปแบบที่หลากหลาย หน่วยธุรกิจมาตรวิทยาอุตสาหกรรม (IMBU) ของ Nikon นำเสนอโซลูชั่นที่มีความแม่นยำสูงเป็นพิเศษที่ผสานรวม ปรับให้เหมาะสม ซึ่งไม่เพียงแต่ปรับแต่งได้และคุ้มต้นทุนเท่านั้น แต่ยังทำงานได้ดีอย่างยิ่งทันทีที่นำไปใช้งานอีกด้วย การพัฒนาล่าสุดภายใต้แนวคิดการผลิตแบบดิจิทัลของนิคอนคือความร่วมมือที่ใกล้ชิดยิ่งขึ้นระหว่าง IMBU และหน่วยธุรกิจโซลูชั่นดิจิทัล (DSBU) ของบริษัท ซึ่งได้เปิดตัวชุดโซลูชั่นการผลิตแบบเพิ่มเนื้อวัสดุสำหรับการประมวลผลวัสดุที่หลากหลายจนถึงพื้นผิวที่ต่ำกว่าไมครอน www.industry.nikon.com
