เทคนิคเอกซเรย์ computed laminography (CL) รุ่นบุกเบิกได้รับการแนะนำโดยหน่วยธุรกิจมาตรวิทยาอุตสาหกรรมของ Nikon Corporation (https://industry.nikon.com) สำหรับการตรวจสอบชิ้นงานที่ท้าทายโดยไม่ต้องทำลายโดยใช้ระบบเอกซเรย์คอมพิวเตอร์ (CT) วิธีการใหม่นี้เรียกว่า Tilted CT ซึ่งมีวางจำหน่ายแล้ว โดยจะปรับปรุงความละเอียดของว็อกเซลได้อย่างมาก เมื่อตรวจสอบชิ้นงานที่มีอัตราส่วนกว้างยาวสูง นอกจากนี้ยังปรับปรุงการควบคุมคุณภาพด้วยการสร้างภาพตัวอย่างรูปร่างต่างๆ ที่ชัดเจนยิ่งขึ้น ซึ่งพื้นที่หนาแน่นสามารถปกปิดชิ้นงานที่มีความหนาแน่นน้อยกว่าได้
เมื่อสแกนสชิ้นงานลักษณะแบน ซึ่งอาจมีพื้นที่ที่สนใจบริเวณตรงกลางเพียงเล็กน้อยที่ต้องตรวจสอบ 3D CT ทั่วไปจะมีข้อจำกัดในแง่ของความละเอียด เนื่องจากแกนการหมุนของวัตถุที่อยู่ระหว่างการตรวจสอบอยู่ที่ 90 องศากับลำแสงเอกซเรย์ ดังนั้นจึงเป็นไปไม่ได้ที่จะวางตำแหน่งชิ้นงานให้ใกล้กับแหล่งกำเนิดเอกซเรย์มากขึ้นเพื่อเพิ่มการขยายของพื้นที่ที่สนใจและปรับปรุงความละเอียด เนื่องจากตัวอย่างในขณะที่หมุนอยู่จะชนกับแหล่งกำเนิดเอกซเรย์
การรับข้อมูล CL ที่เป็นนวัตกรรมใหม่โดยใช้ Tilted CT จะช่วยหลีกเลี่ยงปัญหาโดยการปรับแกนการหมุนได้สูงสุดถึง 30 องศา ซึ่งหมายความว่าชิ้นงานสามารถหมุนได้เต็มที่ใต้แหล่งกำเนิดเอกซเรย์ กำลังขยายที่สูงขึ้นและความชัดเจนของภาพที่ได้รับการปรับปรุงสามารถทำได้ในระยะเวลาการสแกนที่เร็วขึ้น เมื่อทำการตรวจสอบ เช่น ส่วนประกอบแผงวงจรหรือการ์ดโพรบที่ใช้ในการทดสอบเวเฟอร์อัตโนมัติ ในการทดสอบเปรียบเทียบครั้งหนึ่ง การสแกนที่ใช้เวลานานกว่าเจ็ดชั่วโมงโดยใช้กล้องจุลทรรศน์เอกซเรย์ กลับเสร็จสิ้นภายในเวลาไม่ถึงหนึ่งชั่วโมงด้วย Tilted CT บนระบบ XT H 225 ST 2x ที่รองรับ SEMI S2/S8
ข้อได้เปรียบหลักอีกประการหนึ่งของเทคนิคนี้คือความสามารถในการกำจัดอาติแฟคที่เกิดจากคุณสมบัติความหนาแน่นสูงในพื้นที่ที่บดบังชิ้นงานซึ่งมีการลดทอนเอกซเรย์ต่ำกว่า ด้วยการเอียงแกนหมุน พื้นที่ที่มีการลดทอนสูงสามารถวางตำแหน่งเพื่อให้หมุนไปข้างใต้หรือเหนือพื้นที่ที่สนใจที่มีความหนาแน่นต่ำกว่า แทนที่จะอยู่ด้านหน้า
สิ่งนี้สามารถพิสูจน์ให้เห็นคุณค่า เช่น เมื่อตรวจสอบชิ้นส่วนโลหะที่ผลิตแบบเติมแต่งในขณะที่ยังคงติดอยู่กับแผ่นรองรับ สามารถสแกนส่วนประกอบทั้งหมดได้ แม้กระทั่งส่วนล่าง โดยการเอียงโครงสร้างทั้งหมดเพื่อให้ฐานที่มีความหนาแน่นสูงหมุนในมุมเดียวกับลำแสงเอกซเรย์ลักษณะทรงกรวย ซึ่งช่วยขจัดสิ่งกีดขวางได้อย่างมีประสิทธิภาพ
ปัจจุบัน Tilted CT สามารถใช้งานได้กับระบบ X-ray CT ของ Nikon รุ่น XT H 225, XT H 225 ST 2x และระบบเอ็กซเรย์ CT แบบพื้นที่ขนาดใหญ่ M2 บริษัทยังคงมุ่งมั่นที่จะผลักดันขอบเขตของเทคโนโลยีเพื่อมอบความสามารถในการสร้างภาพที่ไม่เคยมีมาก่อน และเปิดประตูสู่ความเป็นไปได้ใหม่ๆ ในการควบคุมคุณภาพ Tilted CT พร้อมด้วยวิธีการเก็บข้อมูลเอ็กซ์เรย์และอัลกอริธึมการสร้างใหม่อื่นๆ ที่เพิ่งเปิดตัวเมื่อเร็วๆ นี้ ถือเป็นข้อพิสูจน์ถึงความตั้งใจดังกล่าว
เกี่ยวกับ Nikon Industrial Metrology
Nikon นำเสนอผลิตภัณฑ์ บริการ และโซลูชั่นที่หลากหลายทั่วโลก โดยใช้เทคโนโลยีออปโตอิเล็กทรอนิกส์และความแม่นยำขั้นสูงที่สั่งสมมาในช่วงประวัติศาสตร์กว่า 100 ปีของบริษัท กลุ่มบริษัทยังคงสร้างคุณค่าใหม่ๆ ที่มีส่วนช่วยในการพัฒนาคุณภาพชีวิตและการผลิตในรูปแบบที่หลากหลาย หน่วยธุรกิจมาตรวิทยาอุตสาหกรรม (IMBU) ของ Nikon นำเสนอโซลูชั่นที่มีความแม่นยำสูงเป็นพิเศษที่ผสานรวม ปรับให้เหมาะสม ซึ่งไม่เพียงแต่ปรับแต่งได้และคุ้มต้นทุนเท่านั้น แต่ยังทำงานได้ดีอย่างยิ่งทันทีที่นำไปใช้งานอีกด้วย การพัฒนาล่าสุดภายใต้แนวคิด Digital Manufacturing ของ Nikon คือความร่วมมือที่ใกล้ชิดยิ่งขึ้นระหว่าง IMBU และหน่วยธุรกิจโซลูชั่นดิจิทัล (DSBU) ของบริษัท ซึ่งได้เปิดตัวชุดโซลูชั่นการผลิตแบบเพิ่มเนื้อวัสดุและแบบหักลบสำหรับการแปรรูปวัสดุที่หลากหลายจนถึงพื้นผิวที่ต่ำกว่าไมครอน www.industry.nikon.com
