NEXIV VMZ-S 시리즈

니콘의 NEXIV VMZ-S 시리즈 화상 측정 시스템은 마이크로 수준의 검사 응용 분야를 위한 고정밀성, 속도, 사용성을 제공합니다.

다양한 피검물에 맞는 범용성

VMZ는 3가지 타입의 측정 범위(measurement envelope)를 다양한 고품질 광학 장치와 함께 제공하며, TTL 측광(Through The Lens) 방식의 스캐닝 레이저를 표준으로 구성하고 있습니다.

VMZ-S 시리즈는 갈수록 까다로워지는 검사 응용 분야에 대응하기 위해 고정밀 및 고속으로 측정이 가능하므로 다양한 산업 분야에서 사용되고 있습니다.

제품 하이라이트

VMZStype2head

광학 줌 시스템의 6가지 유형

이 시스템은 고정밀 측정을 제공하기 위해 특별히 고안된 니콘 광학 기술을 사용하여 완전히 새롭게 설계되었습니다.

TTL_laser

고속 높이 측정

초당 1,000 포인트의 초고속 스캔이 가능한 TTL 측광(Through The Lens) 방식의 레이저 자동초점으로 고정밀의 고속 높이 측정이 가능합니다.

까다로운 샘플을 측정할 수 있는 기능

니콘의 고유한 조명 옵션을 사용하여 까다로운 가장자리와 형상을 쉽게 측정할 수 있습니다.

연속 자동 측정

구성품 위치의 변동에도 불구하고 정확한 측정이 가능합니다.

핵심 기능

VMZ-S 시리즈

원격 제어 SDK

모델VMZ-S3020VMZ-S4540VMZ-S6555
XYZ 스트로크300×200×200mm *저배율 렌즈를 사용하는 타입 TZ: 250×200×200mm450x400x200mm *저배율 렌즈를 사용하는 타입 TZ: 400x400x200mm650x550x200mm *저배율 렌즈를 사용하는 타입 TZ: 600x550x200mm
최소 판독값0.01 μm
최대 샘플 중량20kg (정확도 보장: 5kg)40kg (정확도 보장: 20kg)50kg (정확도 보장: 30kg)
최대 허용 오차[L: 길이(mm)]EUX, MPE EUY, MPE 1.2 + 4L / 1000 µm
EUXY, MPE 2.0 + 4L / 1000 µm
EUZ, MPE1.2 + 5L / 1000 µm
프로빙 오차 1),2): MPE PF2D 0.8 µm
이미징 프로브 1),2)의 프로빙 오차 MPE PFV2D 0.3 µm
카메라흑백 / 컬러 1/3 CMOS 카메라
작동 거리타입 1, 2, 3: 50mm
타입 4: 30mm
타입 TZ: (고배율) 11mm / (저배율) 32mm
타입 A: 73.5mm(레이저 AF의 경우 63mm)
레이저 AF 반복성 범위 1),3)2σ ≦ 0.5 µm
조명타입 1, 2, 3, 4: 3개의 각도를 갖는 에피스코픽, 디아스코픽 및 8 세그먼트 링 조명 *전체 백색 LED/타입 4에는 단일 각도 타입 TZ만 있음
타입 TZ: 왼쪽 대물렌즈: 에피스코픽, 암시야fi ; 오른쪽 대물렌즈: 에피스코픽, 디아스코픽, 암시야fi
타입 A: 1개의 각을 갖는 에피스코픽, 디아스코픽 및 8 세그먼트 링 조명 *전체 백색 LED
전원,
소비전력
AC100 V-240 V, 50/60 Hz / 4 A − 2 A
치수 & 중량본체와 테이블(가로×세로×높이): 700×730×1793mm/약 265kg 컨트롤러: 190×450×450mm/약 12kg본체와 테이블(가로×세로×높이): 1000×1340×1818mm/약 510kg 컨트롤러: 190×450×450mm/약 12kg본체와 테이블(가로×세로×높이): 1200×1640×1818mm/약 740kg 컨트롤러: 190×450×450mm/약 12kg
설치면적(가로×세로 4)2700×2400 mm
3000×3000 mm
3200×3300 mm
VMZ-S3020 Dimensions in mm
VMZ-S3020 치수 단위는 mm
VMZ-S4540 Dimensions in mm
VMZ-S4540 치수 단위는 mm
VMZ-S6555 Dimensions in mm
VMZ-S6555 치수 단위는 mm

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