웨이퍼 자동 측정
캐리어에 보관된 6인치 또는 8인치 웨이퍼를 완전 자동으로 안전하게 검사합니다.
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NEXIV VMZ-NWL200
VMZ-NWL200은 화상 측정 시스템 "NEXIV"와 웨이퍼 로더 "NWL200"을 통합한 자동 웨이퍼 측정 시스템입니다. 첨단 이미지 처리 기술을 보유한 NEXIV는 캐리어의 6인치 또는 8인치 웨이퍼에 대한 고속 고정밀 측정 기능을 자동으로 수행합니다.
높은 안정성, 효율성 및 운용성
글로벌 반도체 산업에서 광범위하게 사용되는 NEXIV 화상 측정 시스템이 니콘의 검증된 NWL200 자동 웨이퍼 로딩 시스템과 통합되었습니다.
그 결과로 나온 것이 안정성과 효율성이 뛰어난 혁신적인 측정 셀인 VMZ-NWL200입니다. 또한 특별히 개발된 소프트웨어는 프로세스 제어에 필요한 복잡한 작업을 단순화합니다. 고품질 데이터가 생산 라인에 더 빠르게 피드백되어 수율이 극대화됩니다.
제품 하이라이트
높은 안정성
VMZ-NWL200은 자동으로 일관되게 측정하기 때문에 작업자의 판독값 해석 차이로 인한 결과의 변동성을 제거합니다. 또한 니콘은 광학 장비 제조업체로서의 강점을 활용하여 선명한 이미지를 제공하여 검사 대상의 가장자리를 정확하게 감지합니다.
높은 효율성
VMZ-NWL200을 사용한 검사는 클릭 한 번으로 시작할 수 있습니다. 또한 측정 생산성은 측정 현미경 생산성의 3배에 달합니다. 화상 측정 시스템의 높은 효율성은 소유 비용(COO)을 낮춥니다.
높은 조작성
웨이퍼 그래픽이 GUI에 표시되기 때문에, 작업자가 마우스로 포인트를 클릭하기만 하면 측정할 칩을 지정할 수 있습니다.
핵심 기능
높은 안정성
매우 견고한 검사 프로그램을 쉽게 생성, 실행 및 저장할 수 있으며 완전한 추적이 가능합니다.
수율 향상
반도체 산업의 Quality 4.0의 요구 사항을 충족합니다.
| 장치 | 화상 측정 시스템: NEXIVVMZ-S3020 Type2, Type3, TypeTZ) |
| 로더: NWL200 | |
| 웨이퍼 *1 | 크기：6,8인치(SEMI/JEIDA 표준） |
| 호환 가능 캐리어 | 6인치：PA182-60MB-06XX (Entegris) |
| 8인치：PA192-80M-06XX (Entegris) | |
| 처리량 *2 | 6분 45초 |
| 최소 L/S | 500line/mm |
| 작동 환경 온도 | 19～26℃ |
| 작동 환경 습도 | 70%RH 미만 |
| 치수 | 4125 x 3040mm |
| 전원 전압 | AC100-120V/200-240V |
| 전원 주파수 | 50Hz/60Hz |
| 전력 소비 | 7.5A/3.7A |
| 진공 | -80kPa |
*1 판매 전 웨이퍼 이송 평가 요구
*2 측정 시간을 제외한 25개의 웨이퍼 이송 시간
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