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NEXIV VMF-K 시리즈 – 공초점 화상 측정 시스템
니콘의 NEXIV VMF-K 시리즈는 고속 2D 및 3D 기능과 독보적인 정밀도를 바탕으로 광학 측정을 혁신합니다. 니콘의 최첨단 공초점 시스템은 다양한 샘플의 높은 처리량으로 반도체 및 정밀 엔지니어링 산업의 소형화를 지원합니다.
차세대 처리량
니콘의 NEXIV VMF-K 시리즈는 첨단 공초점 광학 시스템을 적용해 기존 측정 시스템을 개선했습니다. 측정 속도가 개선된 VMF-K 시리즈는 사용자가 다양한 재료와 구성 요소를 전례 없는 효율성과 정밀도로 분석할 수 있도록 설계되었습니다.
NEXIV VMF-K 시리즈는 높은 대비의 표면과 투명한 소재 등 복잡한 샘플 형상으로 인해 발생하는 문제를 해결하여 이전에는 어려웠던 상세한 측정 결과를 얻을 수 있습니다. 이 시스템에 통합된 2D 및 3D 측정 기능은 기존 방식에 비해 검사 시간을 획기적으로 단축하여 훨씬 빠르고 포괄적인 품질 관리 프로세스를 가능하게 합니다.
향상된 광학 측정 기능
NEXIV VMF-K 시리즈는 광학 측정 기능을 획기적으로 개선하여 다양한 샘플의 정밀한 2D 및 3D 검사를 실현합니다. 니콘의 공초점 시스템은 높은 대비와 투명한 소재를 정확하게 측정하여 표면 및 높이 분석을 개선합니다. 이 시스템을 사용하면 복잡한 형상과 미세한 구조를 안정적으로 검사할 수 있어 반도체 및 소형 부품 제조에 특히 유용합니다.
제품 하이라이트
고속 측정
NEXIV VMF-K 시리즈는 2D와 높이 측정을 하나의 기기에 결합하여 이전 모델보다 1.5배 높은 처리량을 달성합니다. 공초점 광학 시스템을 통해 시야 범위 내에서 2D 및 높이 측정을 동시에 수행할 수 있어 정밀도의 저하 없이 측정 시간을 크게 단축할 수 있습니다.
여러 애플리케이션에 걸친 다양한 활용성
니콘의 NEXIV VMF-K 시리즈는 프로브 카드와 본딩 와이어를 포함한 다양한 반도체 부품 측정에 탁월한 성능을 발휘합니다. 이런 활용성 덕분에 다양한 측정 작업을 하나의 효율적인 시스템으로 통합하여 운영을 간소화하고 종합적인 반도체 검사 및 품질 보증을 위한 필수 도구로 활용할 수 있습니다.
반도체를 위한 향상된 지원
니콘의 NEXIV VMF-K 시리즈 표준 라인업에는 웨이퍼 레벨 패키징(WLP) 측정을 지원하는 45배 대물렌즈가 포함되어 있습니다. 이 고배율 성능을 통해 초미세 구조를 정밀하게 검사할 수 있으며, 이는 반도체 부품의 소형화에 따라 품질 관리를 유지하는 데 매우 중요합니다.
긴 치수 측정 기능
니콘의 NEXIV VMF-K 시리즈는 정밀도를 유지하면서 시야 범위를 초과하는 긴 치수를 정확하게 측정합니다. 이 기능은 긴 치수의 위치 정밀도와 좌표계 측정이 필요한 반도체 소자 측정에 필수적인 기능입니다.
높은 대비의 샘플도 안정적으로 측정
첨단 공초점 광학 시스템을 사용하는 니콘의 NEXIV VMF-K 시리즈는 높은 대비의 샘플을 안정적으로 측정할 수 있습니다. 이를 통해 밝기나 반사율의 변화가 큰 샘플에서도 선명하고 정확한 이미지를 얻을 수 있습니다.
매우 투명하고 얇은 샘플의 측정
니콘의 NEXIV VMF-K 시리즈는 매우 투명하고 얇은 샘플을 정확하게 측정하여 광학 측정 시스템에서 흔히 발생하는 문제를 해결합니다. 이 기능은 금속 표면 필름 및 반도체 레지스트와 같은 투명하고 얇은 샘플 측정으로 적용 범위를 확장하여 다양한 측정에서 활용도를 높입니다.
NEXIV VMF-K 시리즈 모델
NEXIV VMF-K 시리즈는 2D 및 3D 광학 측정과 더불어 프로브 카드의 처리량을 1.5배 높인 제품입니다. 45배 대물렌즈와 LED 공초점 광원(30,000시간 수명)을 탑재하고 있으며 웨이퍼 레벨 패키징과 긴 치수 측정을 지원합니다. SEMI S2/S8을 준수하는 이 제품은 반도체 및 정밀 엔지니어링 애플리케이션에서 탁월한 성능을 발휘합니다.
NEXIV VMF-K3040
범위 (XYZ): 300x400x150 mm
사양
| VMF-K3040 / VMF-K6555 | |||||||
| 측정 헤드 | 표준 헤드 (Type-S) | 고배율 헤드 (Type-H) | 45× 고배율 헤드 | ||||
| 광학 배율 | 배율 | 1.5× | 3.0× | 7.5× | 15× | 30× | 45× |
| 작동 거리 | 24 mm | 24 mm | 5 mm | 20 mm | 5 mm | 5 mm | |
| 공초점 광학계 (높이 측정) | 최대 스캔 높이 | 1 mm | |||||
| 시야 범위 | 7.80×5.82 mm | 3.90×2.91 mm | 1.56×1.17 mm | 0.78×0.58 mm | 0.39×0.29 mm | 0.26×0.19 mm |
|
| 높이 측정 반복 정밀도 (2σ) | 0.6 μm | 0.35 μm | 0.25 μm | 0.25 μm | 0.2 μm | 0.2 μm | |
| 높이 분해능 | 0.025 μm | 0.01 μm | |||||
| 광원 | 녹색 LED | ||||||
| 명시야 광학계 (2차원 측정) | 배율 변경 방식 | 전동 5단계 줌 | |||||
| 시야 범위 | 7.80×5.85~ 0.52×0.39 mm | 3.90×2.92~ 0.26×0.19 mm | 1.56×1.17~ 0.10×0.078 mm | 1.26×0.95~ 0.099×0.074 mm | 0.63×0.47~ 0.052×0.039 mm | 0.63×0.47~ 0.052×0.039 mm |
|
| 조명 | 투과, 동축 낙사, 링 | 투과, 동축 낙사 | |||||
| 광원 | 백색 LED | ||||||
| 오토포커스 | TTL 레이저 AF, 화상 AF | ||||||
| 본체 | 공급 전원 | AC 100V-240V ±10%, 50/60 Hz | |||||
| 소비 전류 | 13A-10A | ||||||
| 안전 규격 | SEMI S2/S8 준수 *1 | ||||||
| 모델 | VMF-K3040 | VMF-K6555 | |||||
| 본체 | XYZ 스트로크 | 300×400×150 mm | 650×550×150 mm | ||||
| 정밀도 보증 샘플 중량 | 20 kg | 30 kg | |||||
| 최대 허용 오차 (L은 mm 단위의 측정 길이입니다.) | Eux, MPE Euy, MPE ± (1.2 + 4L/1000) μm | ||||||
| Euxy, MPE ± (2.0 + 4L/1000) μm | |||||||
| Euz, MPE ± (1 + L/1000) μm | |||||||
| 최소 표시 단위 | 0.01 μm | ||||||
| 크기(WxDxH) 및 중량 | 본체 및 테이블 | 1146×1247×1973 mm / 약 800 kg | 1198×1640×1973 mm / 약 800 kg | ||||
| 컨트롤러 | 190×450×440 mm / 약 14 kg | ||||||
| 권장 설치 크기 (WxD) *2 | 3150×3000 mm | 3200×3300 mm | |||||
| 최소 설치 크기 (WxD) | 2500×1600 mm | 2500×1900 mm | |||||
*1: SEMI 가이드라인에 따라 설치한 경우.
*2: 당사에서 권장하는 유지보수 공간 포함.
NEXIV VMF-K6555
범위 (XYZ): 650x550x150 mm
사양
| VMF-K3040 / VMF-K6555 | |||||||
| 측정 헤드 | 표준 헤드 (Type-S) | 고배율 헤드 (Type-H) | 45× 고배율 헤드 | ||||
| 광학 배율 | 배율 | 1.5× | 3.0× | 7.5× | 15× | 30× | 45× |
| 작동 거리 | 24 mm | 24 mm | 5 mm | 20 mm | 5 mm | 5 mm | |
| 공초점 광학계 (높이 측정) | 최대 스캔 높이 | 1 mm | |||||
| 시야 범위 | 7.80×5.82 mm | 3.90×2.91 mm | 1.56×1.17 mm | 0.78×0.58 mm | 0.39×0.29 mm | 0.26×0.19 mm |
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| 높이 측정 반복 정밀도 (2σ) | 0.6 μm | 0.35 μm | 0.25 μm | 0.25 μm | 0.2 μm | 0.2 μm | |
| 높이 분해능 | 0.025 μm | 0.01 μm | |||||
| 광원 | 녹색 LED | ||||||
| 명시야 광학계 (2차원 측정) | 배율 변경 방식 | 전동 5단계 줌 | |||||
| 시야 범위 | 7.80×5.85~ 0.52×0.39 mm | 3.90×2.92~ 0.26×0.19 mm | 1.56×1.17~ 0.10×0.078 mm | 1.26×0.95~ 0.099×0.074 mm | 0.63×0.47~ 0.052×0.039 mm | 0.63×0.47~ 0.052×0.039 mm |
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| 조명 | 투과, 동축 낙사, 링 | 투과, 동축 낙사 | |||||
| 광원 | 백색 LED | ||||||
| 오토포커스 | TTL 레이저 AF, 화상 AF | ||||||
| 본체 | 공급 전원 | AC 100V-240V ±10%, 50/60 Hz | |||||
| 소비 전류 | 13A-10A | ||||||
| 안전 규격 | SEMI S2/S8 준수 *1 | ||||||
| 모델 | VMF-K3040 | VMF-K6555 | |||||
| 본체 | XYZ 스트로크 | 300×400×150 mm | 650×550×150 mm | ||||
| 정밀도 보증 샘플 중량 | 20 kg | 30 kg | |||||
| 최대 허용 오차 (L은 mm 단위의 측정 길이입니다.) | Eux, MPE Euy, MPE ± (1.2 + 4L/1000) μm | ||||||
| Euxy, MPE ± (2.0 + 4L/1000) μm | |||||||
| Euz, MPE ± (1 + L/1000) μm | |||||||
| 최소 표시 단위 | 0.01 μm | ||||||
| 크기(WxDxH) 및 중량 | 본체 및 테이블 | 1146×1247×1973 mm / 약 800 kg | 1198×1640×1973 mm / 약 800 kg | ||||
| 컨트롤러 | 190×450×440 mm / 약 14 kg | ||||||
| 권장 설치 크기 (WxD) *2 | 3150×3000 mm | 3200×3300 mm | |||||
| 최소 설치 크기 (WxD) | 2500×1600 mm | 2500×1900 mm | |||||
*1: SEMI 가이드라인에 따라 설치한 경우.
*2: 당사에서 권장하는 유지보수 공간 포함.
다양한 환경에서의 혁신과 품질
NEXIV VMF-K 시리즈는 다양한 산업 분야를 위한 첨단 광학 측정 기능을 제공합니다. 이 시리즈의 공초점 시스템은 다양한 구성품에 대한 정밀한 2D 및 3D 측정을 통해 고대비 및 투명 샘플을 처리합니다. 향상된 처리량과 고배율로 특히 반도체 및 전자 산업을 비롯한 현대 제조업의 소형화 및 복잡한 형상을 지원합니다.
산업 애플리케이션
반도체/전자 부품 첨단 패키징
NEXIV VMF-K 시리즈는 단일 시야각 내에서 2D 및 높이 분석을 동시에 수행할 수 있어서 첨단 패키징 프로세스에 이상적입니다. 새롭게 표준화된 45배 대물렌즈를 사용하면 2μm 이하의 피처를 정밀하게 측정할 수 있어서 점점 더 복잡해지는 반도체 소자 아키텍처로 인한 문제를 직접적으로 해결할 수 있습니다.
반도체/전자 부품 프로브 카드 검사
NEXIV VMF-K 시리즈는 이전 모델에 비해 프로브 카드 측정 처리량이 1.5배 향상되었습니다. 이러한 속도 향상은 시야 범위 밖에서도 안정적인 측정을 유지하는 시스템의 기능과 결합하여 검사 프로세스를 간소화하는 동시에 포괄적인 프로브 카드 평가 정확도를 보장합니다.
반도체/전자 부품 웨이퍼 검사
NEXIV VMF-K 시리즈는 첨단 공초점 광학 기술을 활용하여 다양한 반사율을 가진 표면을 정밀하게 검사할 수 있어서 반도체 웨이퍼 분석에 이상적입니다. 표준화된 45배 대물렌즈로 웨이퍼의 미세한 특징을 포착하고 2D 및 높이 측정 기능을 동시에 지원하여 각 시야 범위 내에서 검사 효율성을 극대화합니다.
반도체/전자 부품 기판 생산
기판 검사 워크플로에 최적화된 NEXIV VMF-K 시리즈는 높은 대비 및 투명한 샘플을 포함한 까다로운 재료에 대해 안정적인 측정을 제공합니다. 검증된 공초점 기술을 기반으로 한 이 시스템은 최신 기판 생산 표준에 필요한 정밀도를 유지하면서 이전 세대보다 1.5배 빠른 스캔 속도를 제공합니다.
FAQ
니콘의 NEXIV VMF-K 시리즈는 특히 반도체 산업에서 프로브 카드 측정 및 첨단 반도체 측정 요구 사항을 지원하는 실용적인 제품입니다. 또한 고휘도 대비와 빛 반사가 불안정한 투명한 시료를 측정하는 데 적합합니다. 이 시스템은 웨이퍼 레벨 패키징(WLP) 측정을 지원하며 시야 범위를 벗어난 긴 치수를 측정할 수 있습니다.
니콘의 VMF-K 시리즈는 높이 측정 시 스캔 속도가 개선되어 다른 모델에 비해 처리량이 약 1.5배 향상되었습니다. 또한 더 세밀한 치수를 측정해야 하는 요구를 반영해 고배율 45배 대물렌즈도 라인업에 추가되었습니다.
주요 특징으로는 향상된 측정 처리량과 공초점 광원을 제논에서 LED로 변경하여 수명을 연장(3,000시간에서 30,000시간)하고, 첨단 반도체 측정을 위한 표준화된 45x 모델 라인업, SEMI S2/S8 표준 준수, 향상된 유지보수성 및 새로운 외관 디자인이 대표적입니다. 이 시스템은 명시야 이미지를 사용한 2D 측정과 공초점 광학 시스템을 사용한 동시 높이 측정을 결합했습니다.
니콘의 NEXIV VMF-K 시리즈는 공초점 광학 시스템을 사용하여 고휘도 대비가 높은 샘플과 빛 반사가 불안정한 투명한 샘플을 안정적으로 측정할 수 있습니다. 시야 범위를 벗어난 긴 치수도 정밀하고 안정적으로 측정할 수 있습니다. 이 시스템은 VMZ-K 시리즈의 기본 성능을 유지하면서 이 같은 개선 사항을 제공합니다.
니콘의 NEXIV VMF-K 시리즈는 몇 가지 측면에서 사용 편의성이 개선되었습니다. VMF-K 시리즈는 한 사람이 헤드커버를 제거할 수 있지만, VMZ-K 시리즈는 두 사람이 필요합니다. 측정 헤드 전면에 LED가 장착되어 있어 장비의 상태를 표시합니다. 또한 이 시스템은 설치 안정성을 위해 VMZ-S 시리즈의 바닥 앵커와도 호환됩니다. 또한 VMZ-K로 생성된 티칭 파일의 캘리퍼 크기를 VMF-K의 카메라 픽셀 수와 일치하도록 변환하는 기능이 포함되어 있어서 상위 호환성을 보장합니다.
| VMF-K3040 / VMF-K6555 | |||||||
| 측정 헤드 | 표준 헤드 (Type-S) | 고배율 헤드 (Type-H) | 45× 고배율 헤드 | ||||
| 광학 배율 | 배율 | 1.5× | 3.0× | 7.5× | 15× | 30× | 45× |
| 작동 거리 | 24 mm | 24 mm | 5 mm | 20 mm | 5 mm | 5 mm | |
| 공초점 광학계 (높이 측정) | 최대 스캔 높이 | 1 mm | |||||
| 시야 범위 | 7.80×5.82 mm | 3.90×2.91 mm | 1.56×1.17 mm | 0.78×0.58 mm | 0.39×0.29 mm | 0.26×0.19 mm |
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| 높이 측정 반복 정밀도 (2σ) | 0.6 μm | 0.35 μm | 0.25 μm | 0.25 μm | 0.2 μm | 0.2 μm | |
| 높이 분해능 | 0.025 μm | 0.01 μm | |||||
| 광원 | 녹색 LED | ||||||
| 명시야 광학계 (2차원 측정) | 배율 변경 방식 | 전동 5단계 줌 | |||||
| 시야 범위 | 7.80×5.85~ 0.52×0.39 mm | 3.90×2.92~ 0.26×0.19 mm | 1.56×1.17~ 0.10×0.078 mm | 1.26×0.95~ 0.099×0.074 mm | 0.63×0.47~ 0.052×0.039 mm | 0.63×0.47~ 0.052×0.039 mm |
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| 조명 | 투과, 동축 낙사, 링 | 투과, 동축 낙사 | |||||
| 광원 | 백색 LED | ||||||
| 오토포커스 | TTL 레이저 AF, 화상 AF | ||||||
| 본체 | 공급 전원 | AC 100V-240V ±10%, 50/60 Hz | |||||
| 소비 전류 | 13A-10A | ||||||
| 안전 규격 | SEMI S2/S8 준수 *1 | ||||||
| 모델 | VMF-K3040 | VMF-K6555 | |||||
| 본체 | XYZ 스트로크 | 300×400×150 mm | 650×550×150 mm | ||||
| 정밀도 보증 샘플 중량 | 20 kg | 30 kg | |||||
| 최대 허용 오차 (L은 mm 단위의 측정 길이입니다.) | Eux, MPE Euy, MPE ± (1.2 + 4L/1000) μm | ||||||
| Euxy, MPE ± (2.0 + 4L/1000) μm | |||||||
| Euz, MPE ± (1 + L/1000) μm | |||||||
| 최소 표시 단위 | 0.01 μm | ||||||
| 크기(WxDxH) 및 중량 | 본체 및 테이블 | 1146×1247×1973 mm / 약 800 kg | 1198×1640×1973 mm / 약 800 kg | ||||
| 컨트롤러 | 190×450×440 mm / 약 14 kg | ||||||
| 권장 설치 크기 (WxD) *2 | 3150×3000 mm | 3200×3300 mm | |||||
| 최소 설치 크기 (WxD) | 2500×1600 mm | 2500×1900 mm | |||||
*1: SEMI 가이드라인에 따라 설치한 경우.
*2: 당사에서 권장하는 유지보수 공간 포함.
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