니콘의 NEXIV VMZ-NWL200 비디오 측정 시스템이 어떻게 반도체 생산에서 중요한 ‘미크론 단위’ 측정에 자동화와 정밀도를 제공하고 자동화하여 비용을 절감하고 공정 제어 기능을 혁신하는 방법을 알아보세요.
반도체 생산 라인 측정은 그 어느 때보다 중요하고 까다로운 작업입니다.
그러나 기존 도구는 여전히 반도체 생산에서 가장 중요한 일부 영역에서 핵심 단계를 수작업으로 수행해야 하고 비효율적이며 부정확합니다.
반도체 웨이퍼는 생산이 진행됨에 따라 그 가치가 증가하므로 레이어를 더 추가하기 전에 문제를 파악하면 비용을 절감할 수 있습니다. 아주 작은 편차도 디바이스 성능과 신뢰성에 부정적인 영향을 미칠 수 있으므로 정확하고 효율적인 임계 치수(CD) 측정은 필수적인 피드백을 제공합니다.
니콘의 심기민 차장(화상 측정 어플리케이션 엔지니어)이 실제 사례를 포함하여 다른 측정기를 사용하는 고객들이 직면한 문제에 대한 해결책을 소개합니다.
