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ECLIPSE L300ND / L300N / L200ND / L200N

17型FPD、200㎜/300㎜ウェハなどの検査に最適な顕微鏡です。

電子デバイスの検査に最適な大型正立顕微鏡

ニコンCFI60-2の優れた光学系により、目視観察とデジタルイメージングのどちらにおいても優れた画像を提供。卓越した照明系と組み合わせることで、高コントラスト‧高解像度の画像が得られます。

主な特長

多彩な観察方法

反射照明：明視野、暗視野、簡易偏光、微分干渉、落射蛍光
透過照明：明視野、簡易偏光
※透過照明はL300ND/L200NDのみ
※透過簡易偏光はL300NDのみ

エルゴノミック設計

傾角鏡筒や楽な姿勢で操作できるステージに加え、本体前面部に集中した顕微鏡操作部で、長時間の観察でも疲労を最小限に抑えることができます。

Digital Sightシリーズ

高精細な顕微鏡画像を撮影。対物レンズ、倍率切替え設定情報を取得し適切なキャリブレーションに自動変更が可能です。

デジタルイメージング

顕微鏡デジタルカメラと画像処理ソフトウェアにより、高画質な画像取得と多彩な計測、解析が可能となります。

CFI60-2対物レンズ

観察方法に合わせて対物レンズを選択できます。ニコンの革新的な設計により、高NAと長作動距離を両立し、色収差を補正しています。

L200Nとウェハローダの組み合わせ

ニコン独自の高い技術力で、薄型ウェハの安定搬送を実現します。

特長・機能

ECLIPSE L300N / L300ND / L200N / L200ND

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顕微鏡デジタルカメラ Digital Sightシリーズ

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装置組込用顕微鏡ユニット

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L300NL200NL300NDL200ND
照明タイプ反射反射/透過
本体部制御部：レボルバー回転、ランプ調光、開口絞り開閉、反射/透過切替（L300ND/L200NDのみ）
レボルバー標準6ヶ孔電動ユニバーサル
芯出し機構あり-あり-
反射/透過切替--ありあり
焦準機構ストローク29 mm
粗動12.7 mm/1 回転（トルク調節・再焦準機構付き）
微動0.1 mm/1 回転（1 μm /1目盛り)
反射照明部12V50W高輝度ハロゲンランプ照明装置、LEDランプハウスLV-LL

観察方法：
明視野、暗視野、簡易偏光、微分干渉、落射蛍光（L300N/L300ND/L200NDのみ）
透過照明部-12V-50W高輝度ハロゲンランプ照明装置、
LEDランプハウスLV-LL
インターフェイスUSBx1、RS232C（Intensilight用）x1
鏡筒L2-TTA 傾角三眼鏡筒（俯角0°〜30°）
L2-TT4A 傾角三眼鏡筒（俯角0°〜30°）、直筒部の心出し調整とピント調整機構付
LV-TI3 三眼鏡筒（正立像）
ステージL3-S12 14 x 12ステージL2-S8A 8 x 8ステージL3-S12　14 x 12ステージL2-S8A 8 x 8ステージ
LV-SHA ステージハンドルアダプター取付可
接眼レンズCFI接眼レンズ
対物レンズCFI60-2/CFI60 対物レンズシリーズ
帯電防止機能1000－10 Vへの減衰時間0.2秒以下
消費電力1.2 A / 90 W
質量顕微鏡単体38 kg31 kg40 kg31 kg

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