材料のコンタミネーションを防止
ボディ、ステージ、鏡筒などに帯電防止コーティングを採用。静電気によるサンプルの損傷防止、歩留り向上に貢献します。
ニコンCFI60-2の優れた光学系により、目視観察とデジタルイメージングのどちらにおいても優れた画像を提供。卓越した照明系と組み合わせることで、高コントラスト‧高解像度の画像が得られます。
17型FPD、200㎜/300㎜ウェハなどの顕微鏡検査が可能です。
ニコンの革新的な設計により、高NAと長作動距離を両立。クリアな明視野、暗視野、簡易偏光、微分干渉観察を高い操作性で行えます。
高精細な顕微鏡画像を撮影。対物レンズ、倍率切替え設定情報を取得し適切なキャリブレーションに自動変更が可能です。
ニコン独自の高い技術力で、薄型ウェハの安定搬送を実現します。
ニコンの革新的な設計により、高NAと長作動距離を両立。クリアな観察像を高い操作性で取得できます。
反射照明:明視野、暗視野、簡易偏光、微分干渉、落射蛍光
透過照明:明視野、簡易偏光
※透過照明はL300ND/L200NDのみ
※透過簡易偏光はL300NDのみ
顕微鏡デジタルカメラと画像処理ソフトウェアにより、高画質な画像取得と多彩な計測、解析が可能となります。
傾角鏡筒や楽な姿勢で操作できるステージに加え、本体前面部に集中した顕微鏡操作部で、長時間の観察でも疲労を最小限に抑えることができます。
L300N | L200N | L300ND | L200ND | ||
照明タイプ | 反射 | 反射/透過 | |||
本体部 | 制御部:レボルバー回転、ランプ調光、開口絞り開閉、反射/透過切替(L300ND/L200NDのみ) | ||||
レボルバー | 標準 | 6ヶ孔電動ユニバーサル | |||
芯出し機構 | あり | - | あり | - | |
反射/透過切替 | - | あり | |||
焦準機構 | ストローク | 29 mm | |||
粗動 | 12.7 mm/1 回転(トルク調節・再焦準機構付き) | ||||
微動 | 0.1 mm/1 回転(1 μm /1目盛り) | ||||
反射照明部 | 12V50W高輝度ハロゲンランプ照明装置、LEDランプハウスLV-LL 開口絞り(電動・芯出し可能)、 視野絞り(固定・フォーカスターゲット付き)、 ピンホールスライダー(オプション)挿入可能、φ25 mmファイルター(NCB、ND2、ND4)挿入可能、 ポラライザー/アナライザー挿入可能 観察方法:明視野、暗視野、簡易偏光、微分干渉、落射蛍光(L300N/L300ND/L200NDのみ) |
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透過照明部 | - | 12V-50W高輝度ハロゲンランプ照明装置、 LEDランプハウスLV-LL 開口絞り内蔵、LWDコンデンサー内蔵 |
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インターフェイス | USB×1、RS232C(Intensilight用)×1 | ||||
接眼レンズ | CFI接眼レンズ | ||||
対物レンズ | FI60-2/CFI60システム対物レンズ | ||||
ステージ | 型式 | 14×12ステージ | L2-S8A 8×8ステージ | 14×12ステージ | L2-S8A 8×8ステージ |
ストローク | 354×302 mm | 205×205 mm | 354×302 mm | 205×205 mm | |
透過観察範囲 | 354×268 mm | 150×150 mm | 354×268 mm | 150×150 mm | |
ハンドル | 粗/微動切替機構付き、微動ハンドル位置固定 | ||||
帯電防止機能 | 1000-10 Vへの減衰時間0.2秒以下 | ||||
消費電力 | 1.2 A/90 W | ||||
質量 | 顕微鏡単体 | 40 kg | 30 kg | 40 kg | 30 kg |
L2-S8A 8×8ステージ・ L2-TTA 鏡筒含む | 45 kg |
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