画像測定システム

NEXIVシリーズで高度な寸法測定を実現

ニコンの画像測定システムNEXIVシリーズは、高度な二次元および高さ測定が可能で、多様な業界のニーズに対応します。NEXIVシリーズはニコン独自の光学系、制御技術およびソフトウェアの組み合わせにより、半導体や電子部品、樹脂成型品、機械加工部品まで幅広く対応します。卓越した測定スピード、測定精度により製造業の生産性向上に貢献します。

コンフォーカルタイプ
NEXIV VMF-Kシリーズ

明視野とコンフォーカルの2つの光学系を搭載し、高精度な二次元および高さ測定が可能です。測定スループット向上により、最先端アドバンスドパッケージを始め、様々な産業用途に対応します。

スタンダードタイプ
NEXIV VMZ-Sシリーズ

さまざまなサンプルをカバーする汎用モデルです。μm台の公差管理を高速/高精度/使いやすく行えます。

広視野タイプ
iNEXIV VMA シリーズ

広視野と長作動距離で、高さや段差のあるサンプルの測定に適したエントリーモデルです。

高精度タイプ
NEXIV VMZ-H3030

精密なステージ動作と高性能光学系によりNEXIVシリーズ最高精度での測定を実現します。

NEXIV VMZ-NWL200

VMZ-NWL200は、画像測定システム「NEXIV」とウェハローダ「NWL200」を統合した自動ウェハ測定システムです。高度な画像処理技術を搭載したNEXIVは、キャリアに収納された6インチまたは8インチのウェハの高速かつ高精度の測定を自動で実行します。

ソフトウェア

簡単操作と豊富な機能で、高速・高精度・使いやすさを実現します。

用途に応じた最適なソリューションを選択可能

電子部品、樹脂成型品、金属加工部品など、幅広い業種での製造現場から品質管理部門まで、ニーズに合わせてお選びいただけます。