NEXIV VMZ-Sシリーズ

さまざまなサンプルをカバーする汎用モデルです。μm台の公差管理を高速/高精度/使いやすく行えます。

さまざまなサンプルをカバーする汎用モデル

専用光学系とTTLレーザーAFを標準搭載。サンプルサイズに応じてストロークの異なる3モデルをラインアップしています。多様な測定ニーズに対して高速·高精度な測定を実現します。

主な特長

VMZStype2head

6種類の高NA光学ズームヘッド

専用設計された6種類の高NA光学ズームヘッドから目的に応じてお選びいただけます。

TTL_laser

TTL (Through The Lens) レーザーAF

多用途に対応する画像AFに加え、高精度・高速高さ測定も可能なTTL レーザーAFを標準搭載しています。

多彩な照明方法

サンプルに合わせた照明条件の設定が可能。難しい形状でも正確にエッジを検出します。

サーチ機能

サンプルの置き方や部品の位置ズレを自動補正。スムーズな連続自動測定を実現します。

特長・機能

NEXIV VMZ-Sシリーズ

遠隔制御用ソフトウエアソリューションリモート制御SDK

Some text
モデルVMZ-S3020VMZ-S4540VMZ-S6555
ストロークXYZ 300×200×200 mm *
タイプTZ低倍対物使用時: 250×200×200 mm
450x400x200 mm *
タイプTZ低倍対物使用時:400x400x200mm
650x550x200 mm *
タイプTZ低倍対物使用時: 600x550x200mm
最小表示単位0.01 μm
被検物最大質量20 kg (精度保証値: 5 kg)40 kg (精度保証値: 20 kg)50 kg (精度保証値: 30 kg)
測定精度
(Lは測定長さ (mm)
EUX, MPE EUY, MPE 1.2 + 4L / 1000 µm
EUXY, MPE 2.0 + 4L / 1000 µm
EUZ, MPE1.2 + 5L / 1000 µm
最大許容プロービング誤差 1),2): MPE PF2D 0.8 µm
最大プローブプロービング誤差 1),2): MPE PFV2D 0.3 µm
カメラ白黒/カラー 1/3型CMOS
作動距離 Type 1 ~ 3: 50mm
Type 4: 30mm
Type TZ:(高倍) 11 mm / (低倍) 32 mm
Type A: 73.5 mm (レーザーAF部:63 mm)
レーザーAF
繰り返し精度 1),3)
2σ ≦ 0.5 µm
照明Type 1 ~ 4 : 垂直落射、透過、8分割リング照明(全系統白色LED光源/タイプ1,2,3は3角度、タイプ4は1角度)
タイプTZ:垂直落射、透過(VMZ-S3020の低倍側を除く)、暗視野照明
タイプA:垂直落射、透過、8分割リング照明(全系統白色LED光源/1角度)
供給電源、
消費電力
AC100 V-240 V, 50/60 Hz / 4 A − 2 A
寸法(W×D×H)/質量本体部:700×730×1793 mm / 約265 kg
コントローラー:190×450×450 mm / 約12 kg
本体部: 1000×1340×1818 mm / 約510 kg
コントローラー:190×450×450 mm / 約12 kg
本体部:1200×1640×1818 mm / 約 740 kg
コントローラー: 190×450×450 mm / 約 12 kg
設置寸法 (W×D) 4)2700×2400 mm
3000×3000 mm
3200×3300 mm

1)自社が定めた評価方法による。 2)タイプ2ヘッド、15倍時 3)サンプル:キャリブレーションプレートのクロム面。タイプAヘッドを除く。
4)メンテナンススペースを含む。

VMZ-S3020
VMZ-S3020
VMZ-S4540
VMZ-S4540
VMZ-S6555
VMZ-S6555

関連製品

NEXIV AutoMeasure

測定プログラム作成サポート機能がさらに充実し、豊富な機能と分かりやすいGUIで高精度/スピーディー/簡単に寸法測定を行えます。
詳細

この製品に関するお問合せ

この製品の詳細については、右側のフォームよりお問合せください。

(必須)​」は必須フィールドを示します

E-mailアドレス(必須)​

お客様にご入力いただきました個人情報は、当該お問い合わせ、ご意見・ご感想への回答以外の目的で使用する事はございません。 また、当社はお客様の個人情報を適切に取扱います。詳細については「個人情報保護について」をご覧ください。 このフォームについてのお問い合わせ先:株式会社ニコンソリューションズ

[注意事項]
あなたがこちらのメールフォームまたは他の手段でこのホームページに送付するいかなるアイデア、コンセプト、示唆またはコメント(以下“アイデア等”と言います)について、株式会社ニコンソリューションズ(以下“ニコンソリューションズ”と言います)は、保護する義務を負いません。 また、ニコンソリューションズは、あなたがアイデア等をニコンソリューションズに送付した時点で、あなたが当該アイデア等に関する一切の権利を放棄したものとみなします。 ニコンソリューションズは当該アイデア等について守秘義務を負わず、当該アイデア等から生じるいかなる問題についても一切責任を負いません。
(必須)​
このフィールドは入力チェック用です。変更しないでください。