株式会社ニコンソリューションズは、インライン及び、自動寸法測定に有用なCNC画像測定システム「NEXIV VMZ-S4540」「NEXIV VMZ-S6555」の2機種を発売します。CNC画像測定システム「NEXIV」は、ニコン独自の光学技術と画像処理技術を用いて、部品などの寸法を自動で測定する装置です。取得した画像を解析し、エッジを高速で正確に検出することにより、複雑な形状の被検物も素早く測定することができます。
現在、部品の小型化、高性能化へのニーズや、自動車への搭載増加を背景に、画像測定システムには、自動化された製造ラインの中で、大量の部品寸法を、より高速に測定することが求められています。 これに対し、「NEXIV VMZ-S」シリーズは、従来機種の精度を維持しながら、更なる高スループット化を実現しました。「NEXIV VMZ-S4540」「NEXIV VMZ-S6555」は、2020年11月にニコンが発売した「NEXIV VMZ-S3020」の「NEXIV VMZ-S」シリーズのラインナップであり、より大型のステージサイズを有します。
今回、ステージサイズの異なる3機種が揃うことにより、非検物の大きさ、現場運用、設置環境に応じて最適な機種を選ぶことが可能になりました。また、遠隔制御用ソフトウエアソリューション「リモート制御SDK」（別売）を併用し、自動搬送システムと組み合わせることで、現場およびリモートでの自動搬送・自動測定を実現します。
発売概要
| 商品名 | CNC画像測定システム「NEXIV VMZ-S4540」 |
| 価格（税別） | 1,150万円～（価格は仕様により異なります） |
| 受注開始時期 | * 2021年6月2日 |
| 商品名 | CNC画像測定システム「NEXIV VMZ-S6555」 |
| 価格（税別） | 1,500万円～（価格は仕様により異なります） |
| 受注開始時期 | * 2021年6月2日 |
主な特長
1. 高いスループット
「NEXIV VMZ-S」シリーズは、高精度リニアエンコーダと精密動作ステージによる高い測定精度を発揮しながら、ステージ移動と画像処理の高速化により、従来機種「NEXIV VMZ-R」シリーズと比べて更なる高スループット化を実現。お客様から定評があった精度や再現性を損なわずに、測定タクトタイムの短縮を可能にしました。
2. 高品質画像、高精度測定
歪みがない高品質画像により、視野内の中心付近でなくても信頼性の高い測定結果が得られます。また、被検物の形状に応じて垂直落射照明、透過照明、8分割リング照明の選択や、光量・照射方向を最適化することにより、検出の難しいエッジもシャープに捉えることができます。さらに、1000点/秒の高速レーザースキャンにより、被検物の断面形状を取得、高さ方向の形状評価にも対応します。多種多様な部品の測定ニーズに応えます。
3. 優れたユーザビリティ
シリーズ共通の寸法測定ソフトウエア「AutoMeasure」により、快適かつ効率的に寸法測定を行えます。また、単純形状を対象に、測定プログラムの作成工程の一部を自動化する機能を追加しました。さらに、ステージや測定ヘッドの移動を操作するジョイスティックユニットは、「NEXIV」をご使用のお客様の要望に応え、より使いやすいデザインに一新しました。
4. 「リモート制御SDK」を使用することで、リモート操作が可能
遠隔御用ソフトウエアソリューション「リモート制御SDK」（別売）を使用することで、ネットワーク経由で、最大10台までの「NEXIV」を遠隔制御することができます。生産工場から離れたコントロールルームやオフィスなどから「NEXIV」の制御や、測定プログラムの管理ができるため、作業者の業務負荷の軽減や生産性の向上が図れます。
5. 自動搬送システムとの組み合わせにより、自動搬送・自動測定を実現
特に半導体分野では、生産工場における自動化、無人化への取り組みが進み、寸法測定にも自動化ソリューションが求められるようになってきています。「NEXIV VMZ-S」シリーズは、自社製・他社製の自動ウェハ搬送システムと組み合わせることで、半導体ウェハの搬送から計測までの自動化に対応します。
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