Automatische Wafermessung
Vollautomatische, sichere Inspektion von 6-Zoll- oder 8-Zoll-Wafern, die in einem Träger festgehalten werden.
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NEXIV VMZ-NWL200
VMZ-NWL200 ist ein automatisches Wafer-Messsystem, in das ein „NEXIV“-Videomesssystem und ein Wafer-Loader „NWL200“ integriert sind. NEXIV, das mit modernster Bildverarbeitungstechnologie ausgestattet ist, führt mit hoher Geschwindigkeit automatisch hoch präzise Messungen von 6- oder 8-Zoll-Wafern durch, die in einem Träger festgehalten werden.
Hohe Zuverlässigkeit, Effizienz und Bedienbarkeit
Das Videomesssystem NEXIV, das in der Halbleiterindustrie weltweit eingesetzt wird, wurde in das bewährte automatische Wafer-Ladesystem NWL200 von Nikon integriert.
Das Ergebnis ist das VMZ-NWL200, eine innovative Messzelle mit hervorragender Zuverlässigkeit und Effizienz. Darüber hinaus vereinfacht eine eigens dafür entwickelte Software die komplexen Vorgänge, die für die Prozesssteuerung erforderlich sind. Qualitativ hochwertige Daten werden schneller an die Produktionsanlage zurückgegeben. Dadurch werden die Ausbeuten maximiert.
Produkt-Highlights
Hohe Zuverlässigkeit
Da das VMZ-NWL200 Messungen automatisch und in gleichbleibender Weise durchführt, wird die Variationsbreite der Ergebnisse aufgrund unterschiedlicher Interpretationen der Messwerte durch die Bediener ausgeschlossen. Darüber hinaus setzt Nikon seine Stärken als Hersteller für optische Geräte dafür ein, ein klares Bild zu liefern und damit die Ränder des Inspektionsobjekts genau zu erkennen.
Hoher Wirkungsgrad
Die Inspektion mit einem VMZ-NWL200 kann mit einem einzigen Klick gestartet werden. Zudem ist die Produktivität bei den Messungen dreimal so hoch wie bei Messmikroskopen. Die hohe Effizienz des Videomesssystems sorgt für niedrige Gesamtbetriebskosten (COO – Cost of Ownership).
Gute Bedienbarkeit
Da die Grafiken zu den Wafern auf der grafischen Benutzeroberfläche angezeigt werden, kann der Bediener den zu messenden Chip festlegen, indem er den Punkt einfach mit der Maus anklickt.
Wesentliche Eigenschaften
Hohe Zuverlässigkeit
Äußerst robuste Inspektionsprogramme lassen sich leicht erstellen, ausführen und speichern, und das mit vollständiger Rückverfolgbarkeit.
Verbesserte Ausbeuten
Entspricht den Anforderungen nach Quality 4.0 in der Halbleiterindustrie.
| Gerät | Videomesssystem：NEXIV（VMZ-S3020 Typ2、Typ3、TypTZ) |
| Loader：NWL200 | |
| Wafer *1 | Größe：6,8 Zoll （SEMI/JEIDA Standard） |
| Kompatibler Träger | 6 Zoll：PA182-60MB-06XX（Entegris） |
| 8 Zoll：PA192-80M-06XX（Entegris） | |
| Durchsatz *2 | 6 Min. 45 Sek. |
| Mindest-L/S | 500 Zeilen/mm |
| Temperatur in der Betriebsumgebung | 19～26℃ |
| Feuchtigkeit in der Betriebsumgebung | Weniger als 70%rel. |
| Abmessungen | 4125 x 3040 mm |
| Spannung der Stromquelle | AC 100-120 V/200-240 V |
| Frequenz der Stromquelle | 50 Hz/60 Hz |
| Stromverbrauch | 7,5 A/3,7 A |
| Vakuum | -80 kPa |
*1 Vor dem Vertrieb ist eine Bewertung des Wafer-Transfers vorgeschrieben
*2 Transferzeit für 25 Wafer ohne die Dauer der Messung
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NEXIV VMZ-S Serie
Die Videomesssysteme der NEXIV VMZ-S-Serie von Nikon bieten hohe Genauigkeit, Geschwindigkeit und Benutzerfreundlichkeit für Inspektionsanwendungen bis hin zur Mikroebene.
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NWL200 Wafer Loader Serie
Nikons innovative, voll ausgestattete NWL200 Waferloader unterstützen die umfassende Inspektion von Halbleiterwafern mit einem Durchmesser von 6" (150 mm) und 8" (200 mm) mit Hilfe eines optischen Mikroskops oder eines Videomesssystems, z. B. Nikon NEXIV.
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