측정 예시
컨포컬 NEXIV는 웨이퍼 레벨 CSP와 같은 첨단 IC 패키지의 다양한 범프(bump) 높이를 빠르고 정확하게 측정하는 용도는 물론 MEMS 및 프로브 카드의 매우 복잡한 구조를 검사하는 데도 사용할 수 있습니다.
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NEXIV VMZ-K 시리즈
획기적인 다기능 공초점 비디오 측정 시스템
이 측정 시스템에는 공초점 기술, 15x 줌을 사용한 명시야 이미징 및 레이저 자동 초점이 통합됩니다. 2D 또는 3D에 관계없이 어떤 기하학적 측정이 필요하든 검사 및 평가는 매우 빠르고 정확하게 수행됩니다.
공초점 광학을 통해 디스플레이의 선명도가 탁월하고 고대비 가장자리의 정확한 감지가 용이합니다.
제품 하이라이트
미세 범프 및 기판 패턴
15x 줌 명시야 이미지를 사용한 2D 측정과 동일한 시야각에서의 3D 높이 측정을 결합하면 다양한 방식의 측정이 가능합니다.
프로브 카드
클릭 한 번으로 위치 데이터에서 프로그래밍할 수 있습니다. 고유한 이미지 처리 도구를 사용하여 프로브 카드의 XYZ 좌표 및 평탄도(coplanarity) 컨택트 프로브 핀을 자동으로 측정할 수 있습니다.
정밀 PCB 패턴
니콘의 고유한 공초점 이미징 기술을 사용하면 반사율이 높은 표면과 낮은 표면 모두를 정확하게 스캔할 수 있습니다.
핵심 기능
| 대물렌즈 |
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| 표준 헤드 | 고배율 헤드 | ||||
| 배율 | 1.5x | 3x | 7.5x | 15x | 30x |
| W.D. | 24mm | 24mm | 5mm | 20mm | 5mm |
| 공초점 광학(영역 높이 측정) |
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| 표준 헤드 | 고배율 헤드 |
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| 시야각 | 8 x 6mm | 4 x 3mm | 1.6 x 1.2mm | 0.8 x 0.6mm | 0.4 x 0.3mm |
| 높이 측정 반복성(2σ) | 0.6µm | 0.35µm | 0.25µm | 0.20µm |
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| 높이 측정 해상도 | 0.01µm | ||||
| 명시야 광학(2D 측정) |
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| 표준 헤드 | 고배율 헤드 |
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| 줌 사용 방법 | 전동 5단계 줌 |
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| 시야각 | 8 x 6mm ~ 0.53 x 0.4mm | 4 x 3mm ~ 0.27 x 0.2mm | 1.6 x 1.2mm ~ 0.11 x 0.08mm | 1.26 x 0.95mm ~ 0.1 x 0.074mm | 0.63 x 0.47mm ~ 0.05 x 0.04mm |
| 조명 | 모든 타입을 위한 백색 LED 디아스코픽 및 에피스코픽 조명, 타입 1.5x, 3x 및 7.5x용 백색 LED 링 조명 |
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| 광원 | 백색 LED | ||||
| 자동 초점 | 비전 AF 및 TTL 레이저 AF(스캔 모드 사용 가능) | ||||
| 본체 |
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| VMZ-K3040 | VMZ-K6555 | |
| 스트로크(X, Y, Z) | 300 x 400 x 150mm |
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| 보장된 로드 용량 | 20kg | 30kg |
| 최대 허용 오차 | EUX,MPE EUY, MPE 1.5 + 4L/1000µm | |
| EUXY, MPE 2.5 + 4L/1000µm | ||
| EUZ, MPE 1 + L/1000µm | ||
| 전원/소비전력 | AC 100~240V ± 10% 50/60Hz / 13A~6.5A | |
| 설치면적 | 2500 x 1600mm | 2500 x 1900mm |
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