NEXIV VMZ-K 시리즈

NEXIV-K 시리즈는 고속, 고해상도, 3D 검사가 가능합니다.
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획기적인 다기능 공초점 비디오 측정 시스템

이 측정 시스템에는 공초점 기술, 15x 줌을 사용한 명시야 이미징 및 레이저 자동 초점이 통합됩니다. 2D 또는 3D에 관계없이 어떤 기하학적 측정이 필요하든 검사 및 평가는 매우 빠르고 정확하게 수행됩니다.

공초점 광학을 통해 디스플레이의 선명도가 탁월하고 고대비 가장자리의 정확한 감지가 용이합니다.

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제품 하이라이트

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미세 범프 및 기판 패턴

15x 줌 명시야 이미지를 사용한 2D 측정과 동일한 시야각에서의 3D 높이 측정을 결합하면 다양한 방식의 측정이 가능합니다.

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프로브 카드

클릭 한 번으로 위치 데이터에서 프로그래밍할 수 있습니다. 고유한 이미지 처리 도구를 사용하여 프로브 카드의 XYZ 좌표 및 평탄도(coplanarity) 컨택트 프로브 핀을 자동으로 측정할 수 있습니다.

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정밀 PCB 패턴

니콘의 고유한 공초점 이미징 기술을 사용하면 반사율이 높은 표면과 낮은 표면 모두를 정확하게 스캔할 수 있습니다.

핵심 기능

VMZ-K 시리즈

대물렌즈
표준 헤드고배율 헤드
배율1.5x3x7.5x15x30x
W.D.24mm24mm5mm20mm5mm
공초점 광학(영역 높이 측정)
표준 헤드고배율 헤드
시야각8 x 6mm
4 x 3mm1.6 x 1.2mm0.8 x 0.6mm0.4 x 0.3mm
높이 측정 반복성(2σ)0.6µm
0.35µm0.25µm0.20µm
높이 측정 해상도0.01µm
명시야 광학(2D 측정)
표준 헤드고배율 헤드
줌 사용 방법전동 5단계 줌
시야각8 x 6mm ~
0.53 x 0.4mm
4 x 3mm ~
0.27 x 0.2mm
1.6 x 1.2mm ~
0.11 x 0.08mm
1.26 x 0.95mm ~
0.1 x 0.074mm
0.63 x 0.47mm ~
0.05 x 0.04mm
조명모든 타입을 위한 백색 LED 디아스코픽 및 에피스코픽 조명,
타입 1.5x, 3x 및 7.5x용 백색 LED 링 조명
광원
백색 LED
자동 초점비전 AF 및 TTL 레이저 AF(스캔 모드 사용 가능)
본체
VMZ-K3040VMZ-K6555
스트로크(X, Y, Z)300 x 400 x 150mm
보장된 로드 용량20kg30kg
최대 허용 오차EUX,MPE EUY, MPE 1.5 + 4L/1000µm
EUXY, MPE 2.5 + 4L/1000µm
EUZ, MPE 1 + L/1000µm
전원/소비전력AC 100~240V ± 10% 50/60Hz / 13A~6.5A
설치면적2500 x 1600mm2500 x 1900mm
VMZ-K3040 치수 단위는 mm
VMZ-K6555 치수 단위는 mm

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