MM-400N 및 MM-800N 시리즈용 액세서리

X/Y 수동 측정 스테이지

12”x8”(300mm x 200mm)에서 2”x2”(50mm x 50mm)까지의 MM-800N용 스테이지. 6″x4″(150mm x 100mm)에서 2”x2”(50mm x 50mm)까지의 MM-400N용 스테이지.

X/Y 수동 측정 스테이지용 회전 테이블

테이블은 스테이지의 XY 축과의 정렬을 유지하면서 샘플을 회전합니다.

카운터 원격 스위치

카운터 원격 스위치를 사용하면 카운터의 RESET(재설정) 및 SEND(전송)를 원격으로 제어할 수 있습니다.

풋 스위치

풋 스위치는 DP-E1A에 로드 명령을 보내는 데 사용됩니다. 양손이 자유롭게 되어 측정 효율이 높아집니다.

XY 재설정 및 스위치

본체에 XY 재설정 및 스위치를 부착하여 스테이지 사용 중 쉽게 값을 재설정할 수 있습니다.

보정 스케일 300mm

10mm 간격 및 보정 패턴이 제공됩니다. 정확도: 보정값에 대해 1μm 이내.