니콘 코퍼레이션의 산업용 계측 사업부는 프론트엔드 공정 제어에 비해 전통적으로 수동 수행 작업이 더 많은 반도체 백엔드 공정의 웨이퍼 계측 문제를 해결하기 위해 자동 웨이퍼 측정 시스템인 NEXIV VMZ-NWL 200을 공개했습니다. 따라서 NEXIV VMZ-NWL 200의 주요 대상 시장은 백엔드의 반도체 제조 공정에 집중되어 있습니다.
NEXIV VMZ-NWL 200은 수동 측정을 위한 숙련된 기술자 부족 현상을 완화합니다. 반도체 분야는 소형화와 궤를 같이하여 발전했기 때문에 측정에 필요한 기술 수준은 높아졌고 활용 가능한 엔지니어의 수는 감소했습니다. 반면, 반도체 시장은 지속적으로 성장하고 있기 때문에 늘어나고 있는 계측 기회가 과거보다 적은 수의 사람들에게만 주어지고 있습니다. 그 결과, 기존 광학 현미경을 사용한 수동 측정은 그 한계에 이르게 되었습니다.
NEXIV VMZ-NWL 200은 측정 프로그램에 따라 캐리어에 담겨 있는 6인치 또는 8인치 웨이퍼를 자동으로 측정하는 시스템입니다. NEXIV의 신뢰성과 NWL을 사용한 안정적인 웨이퍼 로딩을 통해 높은 수준의 측정 반복성이 보장됩니다. 이 시스템을 사용하면 전용 소프트웨어를 통해 측정할 칩을 직관적으로 선택할 수 있습니다. 따라서 누구라도 높은 수준의 신뢰도로 필요로 되는 칩 측정 결과를 달성할 수 있습니다. 그에 더해, 측정 작업이 언제 수행되었는지, 어떤 프로그램에 의해 수행되었는지 추적할 수 있어서 추적 가능성을 개선하는 데 도움이 됩니다.
이 시스템은 안전을 염두에 두고 설계되었으며 보호 커버가 제공되어 작업자의 실수로 인한 손상 가능성을 방지합니다. 작동은 SEMI 국제 표준 S2, S8 및 F47을 충족합니다.
니콘 메트롤로지 소개
니콘은 100년이 넘는 회사의 역사에 걸쳐 축적된 첨단 광전자 공학 및 정밀 분야의 기술력을 바탕으로 전 세계에 다양한 제품, 서비스 및 솔루션을 제공하고 있습니다. 또한 삶의 질 향상과 제조업 전반의 발전에 다양한 형태로 기여하는 새로운 가치를 지속적으로 창출해나가고 있습니다. 니콘의 산업용 계측 사업부(Industrial Metrology Business Unit, IMBU)는 맞춤화되고 비용 효율적일 뿐만 아니라 설치하는 순간부터 완벽하게 작동하는 통합되고 최적화된 초정밀 솔루션을 제공합니다. 디지털 솔루션 사업부(Digital Solutions Business Unit, DSBU)와 IMBU 간의 긴밀한 협력은 니콘이 최근에 이룩한 디지털 제조 혁신 성과로서, 양 사업부는 광범위한 재료에 대한 광학 기반의 적층 및 절삭 가공을 서브 미크론 표면 마감에 이르기까지 수행할 수 있는 다양한 제조 솔루션을 출시했습니다. www.industry.nikon.com
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