LED照明装置
低消費電力、長寿命な高精度白色・緑色ＬＥＤ照明装置を全モデルに標準装備（透過照明のみ）。
緑色LEDは従来のフィルター方式を廃止し、スイッチ一つで簡単に切
り替え可能となりました。
色温度が一定で調光反応が早く、高精度な測定が可能です。光量は、測定顕微鏡本体部または*PC上で制御が可能です。*E-MAX使用時
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MM-400N / MM-800Nシリーズ
測定の高精度化やシステムとの連携など、さまざまな機能を強化した測定顕微鏡です。あらゆる産業分野での測定に対応します。
正確な測定を可能にする堅牢構造
ニコンの優れた精密加工/光学技術と高い拡張性により高さ測定やサンプルサイズ、デジタル画像測定などさまざまなニーズに応じた組合せが選択できます。
MM-400N/800Nシリーズ
電子部品、樹脂成型品、金属加工部品、工具など、幅広い業種での部品測定に適した測定顕微鏡です。
ニコンの優れた光学系
テレセントリック光学系と高コントラストで収差の少ない観察像が測定誤差を低減。また、超長作動距離により高い操作性を実現します。
CFI60-2対物レンズ
工業顕微鏡用対物レンズとの組合せも可能。明視野、暗視野、偏光、微分干渉観察において、クリアで高コントラストな観察像を提供します。。
多彩なステージをラインアップ
MM-400N用には測定範囲50mm×50mmから150mm×100mmまで、MM-800N用では最大300mm×200mmまでの堅牢なステージをご用意しています。
主な特長
正確な測定を実現
堅牢な構造で長期間高精度で繰り返し性の高い測定結果が得られます。高い剛性により*300×200mm ストロークのステージが搭載可能です。*MM-800N専用です。
多彩なアクセサリーによる高い拡張性
豊富なアクセサリーをラインアップ。アクセサリーを適切に組み合わせることで、効率的で最適な測定プロセスを実現します。
外部機器との通信を可能にするインターフェース
測定支援システムE-MAXとの通信で、システム制御と測定結果のデータ処理がソフトウェア上で実行可能。画像測定に重要な照明条件が保存でき、人的誤差を低減します。
高さ測定の精度を向上するフォーカスエイド（FA）
鮮明なパターンによりZ 軸の正確なピント合わせが可能、対物レンズの焦点深度による高さ測定誤差を低減できます。サンプルに合わせて明暗2 種類のパターン切替えが可能です。
特長・機能
大型部品に対応する大型ステージが搭載可能
MM-800シリーズは、高い剛性により、300mm×200mmストロークのステージが搭載可能。最大質量20kg、ステージガラス上の最大高さ200mmまでの大型部品の寸法測定に対応します。
データ処理装置DP-E1Aと測定支援システムE-MAXシリーズ
DP-E1Aは高機能と使いやすさを両立したデータ処理装置です。直感的に選択できる操作ボタンにより、初めての方でも簡単に測定できます。
E-MAXシリーズは、NEXIVシリーズと共通の操作画面を採用した使いやすい測定支援システムです。画像測定から二次元データ処理、データ保存まで、高度で豊富な測定・処理機能が簡単にお使いいただけます。
サンプルの傾きを補正する微動送りユニット
測定範囲300mm×200mm、250mm×150mm、200mm×150mmの3種のステージは回転機構の微動送りユニットを搭載。最大20kgの被検物を測定する場合でも、広い測定範囲にわたって高精度なアライメントを容易にします。
| 機種 | MM-800Nシリーズ | MM-400Nシリーズ |
| 上下動機構 | 手動:両軸粗微動ハンドル 電動:最高駆動速度：10mm/sec |
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| 接眼レンズ | CFWN10X（視野数20） | |
| 対物レンズ倍率 （作動距離） | 測定顕微鏡専用対物レンズ 1Ｘ（79mm）、3Ｘ（75mm）、5Ｘ（64mm）、 10Ｘ（48mm）、20Ｘ（20mm）、50Ｘ（15mm）、100Ｘ（4mm） |
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| ステージ＊1 | MHS 12x8C、MHS 10x6B、MHS 8x6B、 MHS 6x4B、MHS 4x4B、MHS 2x2B | MHS 6x4B、MHS 4x4B、MHS 2x2B |
| 被検物最大高さ | 200mm | 150mm |
| 照明装置/光源 | 反射:白色LED 透過:白色LED、緑色 LED（標準）＊2 |
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| 本体寸法/質量＊3 | 380（W）×703（D）×725（H）mm / 約72kg | 300（W）×567（D）×638（H）mm / 約50kg |
＊1：MM-800NにステージMHS 6x4B、MHS 4x4B、MHS 2x2B を取り付ける場合、ステージアダプターが必要です。
＊2：TI-PS 100W電源＋ MM-LH50PC 併用。
＊3：ステージ、観察部は除く。
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