超薄型100µmウェハ搬送
新たに採用した吸着方式などのニコン独自技術により、オプションで最大薄100μmまでの超薄型ウェハを高い安全性と信頼性で搬送します。
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LSI検査顕微鏡用ウェハローダ NWL200シリーズ
光学顕微鏡と組み合わせたミクロ検査、目視によるマクロ検査が可能なウェハローダです。
さまざまなウェハが搬送できる信頼性に優れた高機能ローダ
200mmおよび150mmのウェハサイズに適合しています。オプションの組合せにより、最大薄さ100μmまでのウェハ搬送が可能です。
主な特長
高い信頼性
突然の停電時でも、マクロ検査機構の真空吸着はONを保つように設計されており、装置上のウェハをピンセットなしで収納できます。
マクロ検査機構
表面・裏面周辺/裏面中央のマクロ検査が可能です。自転速度や傾斜角度の操作は、ボリュームつまみでの設定と、ジョイスティックによるマニュアル操作が可能です。
高スループットを実現
スピーディーなエレベータの上下動と、非接触センタリングによる素早く正確なアライメント、ムダのないウェハのロード/アンロード動作で、合理的なウェハ搬送と交換動作を可能にしました。
エルゴノミック設計
操作部を本体前面のオペレータ寄りに集中配置し、各装置類もオペレータの手と視線の動きが最小になる配置を実現。正面パネルには、スロット内に格納された任意のウェハをボタンひとつでセレクトできる、ウェハスロットボタンを新採用。さらに、キャリアを左前方に35°の角度で載置することで、キャリア搭載の作業制を確保し、キャリア内ウェハの目視も可能としました。
特長・機能
効率的なユーザーインターフェース
任意のウェハをボタンひとつで選択できるウェハスロットボタンを採用。液晶パネルによりサンプリング/検査パターンなどの条件設定、動作状況、エラー内容も一目で確認出来ます。また、キャリア、サンプルなどのファイル管理機能も充実しています。
ウェハセンシング機能の向上
ウェハセンサビームの配置を最適化することで、キャリア内で歪みの大きな薄型ウェハでも正確な高さ検出をして、安全な搬送を可能としています。
リモートアクセスツール
Webブラウザでお客様のLANに接続。簡単に検査レシピの作成や装置のバックアップが行えます。レシピ作成支援機能は、画面の指示通りに作業を進めることでウェハの状態を確認しながら、安全に最適なレシピ作成が可能です。
コンタミネーション対策
ウェハとの摩擦や衝撃によるコンタミネーションを防ぐ非接触センタリングを採用。ダウンフローに対応したクリーンエア流路も確保しています。カバーには静電気が帯電せず、ダストが付着しにくいステンレスを使用しています。
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