工業用顕微鏡
ECLIPSE LV150NA / LV150N

多彩な反射照明観察に対応した正立顕微鏡シリーズ。電子部品や材料の検査をはじめ、幅広い分野でお使いいただける工業用顕微鏡です。

電子デバイスの検査に最適な反射照明専用正立顕微鏡

ニコンCFI60-2の優れた光学系により、目視観察とデジタルイメージングのどちらにおいても優れた画像を提供。

さまざまな産業分野向けの工業顕微鏡の用途に合わせ、観察方法/目的に応じたスタンド部や照明部の選択を可能にし、多彩な観察方法に対応します。

ECLIPSE LV150NA / LV150N

電子部品、素材・材料、精密金型などさまざまな用途でお使いいただける、反射照明専用工業顕微鏡です。

CFI60-2対物レンズ

ニコンの革新的な設計により、高NAと長作動距離を両立。クリアな明視野、暗視野、簡易偏光、微分干渉観察を高い操作性で行えます。

顕微鏡デジタルカメラ Digital Sightシリーズ

高精細な顕微鏡画像を撮影。対物レンズ、倍率切替え設定情報をNIS-ELEMENTSで取得し、適切なキャリブレーションデータを自動変更することで画像計測や解析機能を効率的にお使いいただけます。
*LV150Nの場合は状態検出レボルバー、または電動レボルバ―/レボルバーコントローラーとの組合せ時。

LV150NとウェハローダNWL200の組み合わせ

NWL200シリーズは、最新のウェハ検査ニーズにお応えします。

主な特長

多彩な観察方法

反射照明:明視野、暗視野、簡易偏光、微分干渉、落射蛍光、二光束干渉

豊富なアクセサリー

さまざまな産業分野向けの工業顕微鏡の用途に合わせ、観察方法/目的に応じたスタンド部や照明部の選択を可能にし、多彩な観察方法に対応します。

デジタルイメージング

顕微鏡デジタルカメラと画像処理ソフトウェアにより、高画質な画像取得と多彩な計測、解析が可能となります。

エルゴノミック設計

傾角鏡筒や楽な姿勢で操作できるステージにより、長時間の観察でも疲労を最小限に抑えることができます。

特長・機能

工業用顕微鏡 ECLIPSE LV-N

顕微鏡デジタルカメラ Digital Sightシリーズ

LSI検査顕微鏡用ウェハローダ NWL200シリーズ

装置組込用顕微鏡ユニット

LV150NLV150NA
鏡基ベースレスタイプ(アーム・スタンド間にコラムライザー1個追加可能)
試料最大高さ38mm(LVNU5 U5レボ、LV-S32 3×2ステージ・LV-S64 6×4ステージ使用時)※コラムライザー1個使用時は73mm
12V50W調光用電源内蔵、一軸粗微動ハンドル 左:粗微動/右:微動 ストローク40mm
粗動14mm/1回転(トルク調節・再焦準機構付き) 微動0.1mm/1回転(1μm/目盛り) ステージ取付穴間隔:70×94(4-M4ビス固定)
レボルバー6孔レボルバー C-N6 ESD
5孔ユニバーサルレボルバー LV-NU5 U5 ESD
5孔BDレボルバー LV-NBD5 ESD
状態検出5孔ユニバーサルレボルバー LV-NU5I ESD
電動5孔ユニバーサルレボルバー LV-NU5A ESD
電動芯出し5孔ユニバーサルレボルバー LV-NU5AC ESD
反射照明装置 LV-UEPI-N
プリセンターランプハウス 12V50W LV-LH50PC/LV-LL LEDランプハウス
明暗視野の切り換えと連動の開口絞り・視野絞り(心出し可) 、φ25mmフィルター(NCB11、ND16、ND4)挿入可
ポラライザー/アナライザー挿入可、ノイズターミネーター搭載
LV-UEPI2
プリセンターランプハウス 12V50W LV-LH50PC/LV-LL LEDランプハウス
HGプリセンタファイバー光源:C-HGF(I 調光機能付き)※オプション
明暗視野の切り替えと連動の開口絞り(心出し可)・視野絞り(心出し可) 明視野・暗視野・落斜蛍光の切り替えに応じた自動光学素子切り替え機能
φ25mmフィルター(NCB11、ND16、ND4)挿入可 ポラライザー/アナライザー/λプレート挿入可、励起光バランサー挿入可
ノイズターミネーター搭載
鏡 筒三眼鏡筒 LV-TI3 ESD(正立像 視野数:22/25)、三眼チルト鏡筒 LV-TT2(正立像 視野数:22/25)、双眼鏡筒 C-TB(倒立像 視野数:22)
偏光用双眼鏡筒 P-TB2(倒立像 視野数:22)、偏光用三眼鏡筒 P-TT3(倒立像 視野数:22)
ステージLV-S32 3×2ステージ(ストローク:75×50mm ガラスプレート付き) ESD対応
LV-S64 6×4ステージ(ストローク:150×100mm ガラスプレート付き) ESD対応
LV-S6 6×6ステージ(ストローク:150×150mm) ESD対応
接眼レンズCFI接眼レンズシリーズ
対物レンズCFI60-工業用顕微鏡 CFI60-2/CFI60 対物レンズシリーズ(組み合わせは観察方法による)
ESD性能1000~10V、0.2秒以内(一部アクセサリー除く)
質量約8.6kg約8.7kg
LV150N, LV150NA

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