色収差の向上
光の屈折現象を利用する従来のレンズと光の回折現象を利用する位相フレネルレンズを組み合わせることにより、長作動距離を保ちつつ色収差を補正しています。
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FPD / LSI検査顕微鏡
ECLIPSE L300ND / L300N / L200ND / L200N
17型FPD、200㎜/300㎜ウェハなどの検査に最適な顕微鏡です。
電子デバイスの検査に最適な大型正立顕微鏡
ニコンCFI60-2の優れた光学系により、目視観察とデジタルイメージングのどちらにおいても優れた画像を提供。卓越した照明系と組み合わせることで、高コントラスト‧高解像度の画像が得られます。
ECLIPSE L300ND, L300N , L200ND, L200N
17型FPD、200㎜/300㎜ウェハなどの顕微鏡検査が可能です。
CFI60-2対物レンズ
ニコンの革新的な設計により、高NAと長作動距離を両立。クリアな明視野、暗視野、簡易偏光、微分干渉観察を高い操作性で行えます。
顕微鏡デジタルカメラ Digital Sightシリーズ
高精細な顕微鏡画像を撮影。対物レンズ、倍率切替え設定情報を取得し適切なキャリブレーションに自動変更が可能です。
L200NとウェハローダNWL200の組み合わせ
ニコン独自の高い技術力で、薄型ウェハの安定搬送を実現します。
主な特長
CFI60-2対物レンズ
ニコンの革新的な設計により、高NAと長作動距離を両立。クリアな観察像を高い操作性で取得できます。
多彩な観察方法
反射照明：明視野、暗視野、簡易偏光、微分干渉、落射蛍光
透過照明：明視野、簡易偏光
※透過照明はL300ND/L200NDのみ
※透過簡易偏光はL300NDのみ
デジタルイメージング
顕微鏡デジタルカメラと画像処理ソフトウェアにより、高画質な画像取得と多彩な計測、解析が可能となります。
エルゴノミック設計
傾角鏡筒や楽な姿勢で操作できるステージに加え、本体前面部に集中した顕微鏡操作部で、長時間の観察でも疲労を最小限に抑えることができます。
特長・機能
作動距離の向上
光の屈折現象を利用する従来のレンズと光の回折現象を利用する位相フレネルレンズを組み合わせることにより、従来よりも長い作動距離の確保が可能となります。
エルゴノミックなステージ微動ハンドル
XY微動のステージ移動ハンドルは、顕微鏡の微動ピント合わせノブに固定。同じ場所に手を置いたまま、ピント合わせやステージ移動が行えます。
材料のコンタミネーションを防止
ボディ、ステージ、鏡筒などに帯電防止コーティングを採用。静電気によるサンプルの損傷防止、歩留り向上に貢献します。
顕微鏡前面の操作部
手が届きやすい顕微鏡前面にコントロールボタンを配置。手の動きが最小になり、すばやく簡単に操作が行えます。
ピント合わせが楽なフォーカシングターゲット
ターゲットを光路に挿入することで、ベアウェハなどのパターンのないサンプルでも、正確なピント合わせが楽に行えます。
| L300N | L200N | L300ND | L200ND | ||
| 照明タイプ | 反射 | 反射/透過 | |||
| 本体部 | 制御部：レボルバー回転、ランプ調光、開口絞り開閉、反射/透過切替（L300ND/L200NDのみ） | ||||
| レボルバー | 標準 | 6ヶ孔電動ユニバーサル | |||
| 芯出し機構 | あり | - | あり | - | |
| 反射/透過切替 | - | あり | |||
| 焦準機構 | ストローク | 29 mm | |||
| 粗動 | 12.7 mm/1 回転（トルク調節・再焦準機構付き） | ||||
| 微動 | 0.1 mm/1 回転（1 μm /1目盛り) | ||||
| 反射照明部 | 12V50W高輝度ハロゲンランプ照明装置、LEDランプハウスLV-LL 開口絞り(電動・芯出し可能)、 視野絞り（固定・フォーカスターゲット付き）、 ピンホールスライダー（オプション）挿入可能、φ25 mmファイルター（NCB、ND2、ND4）挿入可能、 ポラライザー/アナライザー挿入可能 観察方法：明視野、暗視野、簡易偏光、微分干渉、落射蛍光（L300N/L300ND/L200NDのみ） |
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| 透過照明部 | - | 12V-50W高輝度ハロゲンランプ照明装置、 LEDランプハウスLV-LL 開口絞り内蔵、LWDコンデンサー内蔵 |
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| インターフェイス | USB×1、RS232C（Intensilight用）×1 | ||||
| 接眼レンズ | CFI接眼レンズ | ||||
| 対物レンズ | FI60-2/CFI60システム対物レンズ | ||||
| ステージ | 型式 | 14×12ステージ | L2-S8A 8×8ステージ | 14×12ステージ | L2-S8A 8×8ステージ |
| ストローク | 354×302 mm | 205×205 mm | 354×302 mm | 205×205 mm | |
| 透過観察範囲 | 354×268 mm | 150×150 mm | 354×268 mm | 150×150 mm | |
| ハンドル | 粗/微動切替機構付き、微動ハンドル位置固定 | ||||
| 帯電防止機能 | 1000－10 Vへの減衰時間0.2秒以下 | ||||
| 消費電力 | 1.2 A/90 W | ||||
| 質量 | 顕微鏡単体 | 40 kg | 30 kg | 40 kg | 30 kg |
| L2-S8A 8×8ステージ・ L2-TTA 鏡筒含む | 45 kg | ||||
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