高速/高精度な高さ測定
ウェハレベルCSPなど、最先端パッケージのさまざまなバンプ高さを高速かつ正確に測定。MEMSやプローブカードの複雑な構造の検査にも使用できます。
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NEXIV VMZ-Kシリーズ
二次元測定と高さ測定が可能な1台2役の高機能システム
明視野画像による二次元測定に加えて、コンフォーカル光学系による視野内一括高さ測定を実現。明視野測定では検出が難しいサンプルも、コンフォーカル光学系なら高速/高精度な測定が可能です。
主な特長
微細配線パターンの測定
明視野では難しい輝度差の激しいサンプルでも、形状と高さを正確に捉えて検出できます。
プローブカードの測定
プローブカードの微細なコンタクト部分のXYZ座標を、視野内一括測定します。
高精度プリント基板パターンの測定
測定視野内の高反射面と低反射面のエッジが正確に検出できます。
特長・機能
| 対物レンズ |
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| 標準ヘッド | 高倍ヘッド | ||||
| 倍率 | 1.5x | 3x | 7.5x | 15x | 30x |
| 作動距離(WD mm) | 24mm | 24mm | 5mm | 20mm | 5mm |
| 共焦点光学系（エリア高さ測定） |
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| 標準ヘッド (1.5x, 3x, 7.5x) | 高倍ヘッド(15x, 30x) |
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| 視野範囲 | 8 x 6mm | 4 x 3mm | 1.6 x 1.2mm | 0.8 x 0.6mm | 0.4 x 0.3mm |
| 繰り返し精度（2σ） | 0.6µm | 0.35µm | 0.25µm | 0.20µm |
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| 高さ分解能 | 0.01µm | ||||
| 明視野光学系（二次元測定） |
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| 標準ヘッド (1.5x, 3x, 7.5x) | 高倍ヘッド(15x, 30x) |
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| 変倍方式 | 電動5段階ズーム | ||||
| 視野範囲 | 8 x 6mm - 0.53 x 0.4mm | 4 x 3mm - 0.27 x 0.2mm | 1.6 x 1.2mm - 0.11 x 0.08mm | 1.26 x 0.95mm - 0.1 x 0.074mm | 0.63 x 0.47mm - 0.05 x 0.04mm |
| 照明 | 透過、同軸落射、斜光 | 透過、同軸落射 | |||
| 照明光源 | 白色LED | ||||
| オートフォーカス | TTLレーザーAF/イメージAF | ||||
| 本体 |
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| VMZ-K3040 | VMZ-K6555 | |
| ストローク（X,Y,Z） | 300 x 400 x 150mm |
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| 精度保証質量 | 20kg | 30kg |
| 測定精度 | EUX,MPE EUY, MPE 1.5 + 4L/1000µm | EUX,MPE EUY, MPE 1.5 + 2.5L/1000µm |
| EUXY, MPE 2.5 + 4L/1000µm | EUXY, MPE 2.5 + 2.5L/1000µm | |
| EUZ, MPE 1 + L/1000µm | EUZ, MPE 1 + L/1000µm | |
| 供給電源 / 消費電流 | AC 100 - 240 V ± 10% 50/60 Hz / 5A - 10A | |
| 設置寸法（W×D） | 2500 x 1600mm | 2500 x 1900mm |
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