NEXIV VMZ-Kシリーズ

明視野とコンフォーカルの2系統の光学系を搭載。二次元測定に加えて、高速・高精度な視野内一括高さ測定を実現します。
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二次元測定と高さ測定が可能な1台2役の高機能システム

明視野画像による二次元測定に加えて、コンフォーカル光学系による視野内一括高さ測定を実現。明視野測定では検出が難しいサンプルも、コンフォーカル光学系なら高速/高精度な測定が可能です。

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主な特長

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微細配線パターンの測定

明視野では難しい輝度差の激しいサンプルでも、形状と高さを正確に捉えて検出できます。

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プローブカードの測定

プローブカードの微細なコンタクト部分のXYZ座標を、視野内一括測定します。

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高精度プリント基板パターンの測定

測定視野内の高反射面と低反射面のエッジが正確に検出できます。

特長・機能

NEXIV VMZ-Kシリーズ

対物レンズ
標準ヘッド高倍ヘッド
倍率 1.5x3x7.5x15x30x
作動距離(WD mm) 24mm24mm5mm20mm5mm
共焦点光学系(エリア高さ測定)
標準ヘッド (1.5x, 3x, 7.5x)高倍ヘッド(15x, 30x)
視野範囲8 x 6mm
4 x 3mm1.6 x 1.2mm0.8 x 0.6mm0.4 x 0.3mm
繰り返し精度(2σ)0.6µm
0.35µm 0.25µm 0.20µm
高さ分解能0.01µm
明視野光学系(二次元測定)
標準ヘッド (1.5x, 3x, 7.5x)高倍ヘッド(15x, 30x)
変倍方式電動5段階ズーム
視野範囲 8 x 6mm -
0.53 x 0.4mm
4 x 3mm -
0.27 x 0.2mm
1.6 x 1.2mm -
0.11 x 0.08mm
1.26 x 0.95mm -
0.1 x 0.074mm
0.63 x 0.47mm -
0.05 x 0.04mm
照明透過、同軸落射、斜光透過、同軸落射
照明光源
白色LED
オートフォーカスTTLレーザーAF/イメージAF
本体
VMZ-K3040VMZ-K6555
ストローク(X,Y,Z)300 x 400 x 150mm
精度保証質量 20kg30kg
測定精度EUX,MPE EUY, MPE 1.5 + 4L/1000µmEUX,MPE EUY, MPE 1.5 + 2.5L/1000µm
EUXY, MPE 2.5 + 4L/1000µmEUXY, MPE 2.5 + 2.5L/1000µm
EUZ, MPE 1 + L/1000µmEUZ, MPE 1 + L/1000µm
供給電源 / 消費電流 AC 100 - 240 V ± 10% 50/60 Hz / 5A - 10A
設置寸法(W×D)2500 x 1600mm2500 x 1900mm
VMZ-K3040
VMZ-K6555

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