株式会社ニコンの産業機器事業部は、ウエハ計測の課題を解決するため、自動ウエハ計測システムであるNEXIV VMZ-NWL 200を発売しました。NEXIV VMZ-NWL 200の主要なターゲット市場は、半導体後工程における計測プロセスです。
NEXIV VMZ-NWL 200は、マニュアル計測に必要な技術者不足を解消します。半導体ウェハパターンの微細化に伴い計測に必要な技術レベルが高くなっていることを背景に、対応可能なエンジニアの確保が困難になってきています。一方で、半導体市場は拡大し続けており、計測の機会はますます増えています。そのため、従来の光学顕微鏡を使用した手動計測は限界に達しています。
NEXIV VMZ-NWL 200は、計測プログラムに従ってキャリアに格納された6インチまたは8インチのウエハを自動的に計測するシステムです。NEXIVの信頼性とNWLを使用した安定したウエハの搬送により、計測の高い再現性が確保されます。また、専用ソフトウェアを使用して、計測対象のチップを直感的に選択することができます。そのため、誰でも高い信頼性で必要なチップの計測結果を得ることができます。また、計測がいつ、どのプログラムで実行されたかを追跡することができるため、トレーサビリティの向上に役立ちます。
このシステムは安全性を考慮して設計されており、オペレーターの誤操作による可能性のある損傷を防ぐための保護カバーが提供されています。操作はSEMI国際標準S2、S8、F47に準拠しています。
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産業機器営業本部 第一営業戦略部
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