ニコンは、測定スループットが大幅に向上した高性能画像測定システムであるNEXIV VMF-Kシリーズを発表しました。
株式会社ニコン（ニコン）は、NEXIV VMF-Kシリーズを発表しました。同製品は、半導体や電子部品の検査需要増大に対応するために設計された次世代画像測定システムです。
NEXIV VMF-KシリーズはVMZ-Kシリーズの成功をもとに作られたものであり、半導体製造の他にも、先端パッケージング、回路基板製造、ウェハ検査、プローブカード検査といった幅広い分野に多大なメリットをもたらします。
半導体の微細化と高集積化が進むにつれて、品質を維持するために検査プロセスの重要性がますます高まっています。NEXIV VMF-Kシリーズはこの課題を解決するため、スループットを大幅に向上させつつミクロンレベルの寸法を安定して測定することが可能となっており、半導体機器製造における厳格な品質管理の実現に貢献します。
新しいNEXIV VMF-Kシリーズは、VMZ-K3040の後継となるVMF-K3040、およびVMZ-K6555の後継となるVMF-K6555で構成されています。
NEXIV VMF-Kシリーズの主な特長
- 測定スループットの向上：VMF-Kシリーズは旧モデルのVMZ-Kと比較して測定スループットが1.5倍に向上（ニコンの標準測定条件において）しており、測定時間が大幅に短縮され、生産性が向上します。
- 光学系の進化：VMF-Kシリーズではコンフォーカル光学系を採用しています。視野内で2Dと高さを同時に測定することができ、明視野画像のみを使用して高さを測定する場合と比較するとスループットが大幅に向上します。
- 光源の改良：コンフォーカル光源がキセノンランプからLEDに替わり、寿命が3,000時間から30,000時間へと延びました。この改良により、運用効率の向上とランプ交換頻度削減を実現しています。
- モデルラインナップの拡充：新たに標準の45倍モデルが含まれ、最先端の半導体測定におけるさらに高精度な測定への需要を支えます。
- SEMI S2/S8準拠：SEMI S2/S8ガイドラインに従って適切に設置された場合、半導体製造設備の業界安全基準に準拠します。
- ソフトウェアの新機能：測定中に残り時間が表示されるようになっています。
- 新デザインの採用：ブラックとシルバーの洗練された工業デザインが特徴となっています。
ニコンの広報担当者は「NEXIV VMF-Kシリーズを発表できることを光栄に思います。本製品は、半導体や電子部品の製造において高速かつ高精度な測定へのニーズが高まる中、この問題に対応する業界最先端のソリューションとなっています」と述べています。
「この新しいシステムでは測定スループットが大幅に向上するとともに高い精度が維持されるため、半導体機器の小型化と統合化が進んでいる現在、お客様の品質管理プロセスの改善と製品開発の迅速化に貢献します」
【本件に関するお問合せ先】
株式会社ニコンソリューションズ
産業機器営業本部
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