Nikon memperkenalkan sistem pemeriksaan kode ID wafer yang cepat dan otomatis

Untuk membantu kendali mutu di perusahaan yang memproduksi wafer silikon, Unit Bisnis Metrologi Industri Nikon Corporation (https://industry.nikon.com) menawarkan solusi pemeriksaan kode ID wafer yang sangat akurat, cepat, dan komprehensif setelah kode ID dipasang pada permukaan wafer menggunakan laser. Sistem ini didasarkan pada penggunaan sistem pengukuran video confocal NEXIV VMZ-K3040 dengan optik 2D dan 3D ganda untuk mengukur deretan karakter yang mengidentifikasi setiap wafer.

NEXIV terhubung dengan wafer loader otomatis yang memindahkan wafer semikonduktor dari FOUP (front opening unified pod) ke sistem pengukuran video dan mengembalikan wafer semikonduktor setelahnya, tanpa perlu penanganan manual.

Kemampuan untuk membaca kode identifikasi (ID) wafer secara andal dalam ratusan langkah di FAB sangatlah penting bagi kesuksesan keseluruhan operasi serta menghindari kesalahan dan pemborosan yang mahal. Pembaca OCR (optical character recognition atau pengenalan karakter optis) SEMI (Semiconductor Equipment and Materials International atau Asosiasi Industri Semikonduktor Internasional) di setiap stasiun harus dapat mendeteksi karakter unik pada kode seri dengan tepat untuk memastikan, bahwa wafer tersebut adalah wafer yang benar. Namun demikian, tanda laser perlahan menjadi aus seiring proses serta secara bertahap semakin tidak jelas dan sulit dibedakan oleh pembaca OCR. Solusi Nikon memastikan bahwa tanda laser pada wafer polos senantiasa memiliki kedalaman dan dimensi yang optimal, sehingga nomor seri (karakter OCR dan data matriks SEMI T7) selalu dapat dibaca, bahkan setelah pemrosesan dan pengiriman.

Evaluasi kualitas tanda ID laser dilakukan setelah wafer diberi deretan identifikasi. Rutinitas pemeriksaan video otomatis yang dilakukan oleh NEXIV confocal sangat ekstensif dan akurat berkat kemampuan sistem pengukuran video untuk menangkap posisi sebenarnya dari setiap fitur. Pada saat yang sama, hasil prosedur otomatis yang tinggi, sejalan dengan integrasi yang mulus di lantai pabrik. Operasi berkecepatan tinggi memungkinkan informasi waktu nyata tentang keausan kualitas tanda dibagikan dengan segera, sehingga pemeliharaan alat penanda laser dapat dilaksanakan secara tepat waktu.

Urutan pemeriksaan dan pelaporan Nikon untuk karakter OCR dimulai dengan penggunaan kaliper bundar dengan optik 2D medan terang untuk mengukur tanda laser dan menghitung diameter serta koordinat pusatnya. Kemudian tinggi, lebar, jarak, dan panjang garis total karakter diukur. Menggunakan optik 3D confocal, kedalaman tanda laser ditentukan. Untuk data Matriks SEMI T7, prosedur serupa diikuti. Keuntungan sistem pengukuran video confocal NEXIV VMZ-K3040 adalah kemampuannya untuk beralih antara mode bidang terang dan confocal dalam satu program pemeriksaan, tidak seperti sistem lain di pasar yang menggunakan dua mesin terpisah untuk masing-masing mode. Manfaat dari hal ini meliputi keakuratan yang unggul, kecepatan lebih tinggi, dan proses pemeriksaan yang lancar.

Goh Wei Chen, Manajer Solusi Integrasi di pusat Nikon di Singapura berkomentar, “Solusi kendali mutu yang dikembangkan untuk industri produksi semikonduktor telah terbukti keberhasilannya di berbagai pabrik di seluruh dunia. Akurasi tinggi dan hasil yang dicapai terbukti sebagai proposisi penjualan yang menarik bagi fungsi kendali mutu penting ini.” Penggunaan pengukuran Kode ID Wafer adalah salah satu tujuan Nikon untuk meningkatkan prevalensi pemeriksaan waktu nyata di industri produksi, dengan umpan balik otomatis pada kendali mutu agar fungsi metrologi dapat mendorong proses produksi. Pendekatan yang dikenal sebagai Quality 4.0 ini memastikan semua kualitas produk akhir dalam keadaan baik, alih-alih menggunakan pengukuran sebagai penentu, apakah suatu suku cadang telah lulus atau gagal dan perlu dimusnahkan. Perincian selengkapnya tersedia di sini.