Pengukur Wafer Otomatis
Pemeriksaan wafer 6 inci atau 8 inci yang tersimpan di dalam carrier secara otomatis dan aman.
Products and promotions may differ based on your selected region.
NEXIV VMZ-NWL200
Keandalan, Efisiensi, dan Operabilitas Tinggi
Sistem pengukur video NEXIV, yang digunakan secara luas dalam industri semikonduktor global, telah diintegrasikan dengan sistem pemuat wafer otomatis NWL200 Nikon yang telah teruji.
Hasilnya adalah VMZ-NWL200, sel pengukur inovatif dengan keandalan dan efisiensi yang unggul. Selain itu, perangkat lunak yang dikembangkan secara khusus menyederhanakan operasi kompleks yang diperlukan untuk pengendalian proses. Data berkualitas tinggi diumpankan kembali dengan lebih cepat ke lini produksi, sehingga memaksimalkan hasil.
Sorotan Produk
Keandalan Tinggi
Berkat kemampuannya mengukur secara otomatis dan konsisten, VMZ-NWL200 meniadakan variabilitas hasil karena interpretasi pembacaan berbeda menurut operator. Selain itu, Nikon memanfaatkan kemampuannya sebagai produsen peralatan optik untuk memberikan gambar jernih guna mendeteksi tepian objek pemeriksaan secara akurat.
Efisiensi Tinggi
Proses pemeriksaan dengan VMZ-NWL200 dimulai cukup dengan sekali klik. Selain itu, produktivitas pengukurannya adalah tiga kali lipat dari pengukuran dengan mikroskop. Efisiensi tinggi dari sistem pengukur video berdampak pada rendahnya Cost of Ownership/Biaya Kepemilikan.
Operabilitas Tinggi
Berkat grafik wafer yang ditampilkan pada GUI, operator dapat menentukan chip yang ingin diukur, hanya dengan mengeklik mouse pada titik tersebut.
Fitur Utama
Keandalan Tinggi
Program pemeriksaan yang tangguh dapat dengan mudah dibuat, dijalankan, dan disimpan, dengan kemampuan penelusuran menyeluruh.
Peningkatan Hasil
Memenuhi kebutuhan Kualitas 4.0 dalam industri semikonduktor.
| Device | Sistem Pengukur Video: NEXIV（VMZ-S3020 Tipe2、Tipe3、TipeTZ) |
| Pemuat: NWL200 | |
| Wafer *1 | Ukuran: 6,8inch（SEMI/JEIDA Standard） |
| Compatible carrier | 6inci: PA182-60MB-06XX（Entegris） |
| 8inci: PA192-80M-06XX（Entegris） | |
| Throughput *2 | 6 mnt 45 dtk |
| L/S Minimum | 500 line/mm |
| Suhu Lingkungan Pengoperasian | 19~26℃ |
| Kelembaban Lingkungan Pengoperasian | Kurang dari 70%RH |
| Dimensi | 4125 x 3040 mm |
| Tegangan sumber daya | AC100-120V/200-240V |
| Frekuensi sumber daya | 50Hz/60Hz |
| Penggunaan daya | 7.5A/3.7A |
| Vakum | -80kPa |
*1 Memerlukan evaluasi transfer wafer sebelum penjualan
*2 Waktu transfer untuk 25 wafer tidak termasuk waktu pengukuran
Produk Terkait
Seri NEXIV VMZ-S
Seri NEXIV VMZ-S dari Nikon adalah sistem pengukur video yang menawarkan akurasi tinggi, kecepatan, dan kemudahan penggunaan untuk penerapan pemeriksaan hingga tingkat mikro.
Temukan Produk
Wafer Loader Seri NWL200
Wafer Loader NWL200 Nikon yang canggih dan inovatif dapat membantu pemeriksaan menyeluruh terhadap wafer semikonduktor berdiameter 6 "(150mm) dan 8 "(200mm) dengan menggunakan mikroskop optik atau sistem pengukur video, misalnya Nikon NEXIV.
Temukan ProdukHubungi Kami Tentang Produk Ini
Untuk detail lebih lanjut mengenai produk ini, tim ahli kami akan memberikan informasi tambahan, dan akan mengatur kunjungan ke lokasi Anda bila diperlukan.
Konsultasikan detail proyek Anda kepada kami dan tim ahli kami akan memberikan saran mengenai sistem pemeriksaan terbaik sesuai kebutuhan Anda.
Silakan isi formulir berikut dan kami akan segera menghubungi Anda.
"Kolom ini wajib diisi." indicates required fields