ECLIPSE LV150NA et LV150N

Une gamme de microscopes droits flexibles et modulaires pour plusieurs techniques de contraste optique épiscopique (champ clair, sombre, DIC, polarisé, à fluorescence, interférométrique). Associés à des accessoires d’imagerie numérique et à de grandes courses X-Y de la platine, ces instruments sont idéaux pour l’inspection des semi-conducteurs et des matériaux.

Microscopes droits modulaires, motorisés et manuels

Les optiques Nikon CFI60-2 d’excellente qualité produisent des images parfaites aux deux oculaires et aux caméras d’imagerie numérique de Nikon avec un logiciel d’analyse. Grâce à sa conception modulaire, le microscope universel permet d’utiliser des techniques de contraste optique complémentaires sur un seul support de microscope.

Nikon ECLIPSE LV150NA et LV150N

Ces microscopes à éclairage épiscopique sont utilisés pour inspecter les semi-conducteurs, les matériaux et les composants industriels. Ils sont également adaptés aux applications de recherche et de développement.

Série d’optiques Nikon CFI60-2

La conception innovante de Nikon autorise des techniques d’imagerie de contraste optique nettes et très contrastées, en fond clair, fond noir, polarisation (POL), contraste interférentiel différentiel (DIC) et interférométrie à deux ondes.

Appareil photo Nikon Digital Sight

Tous les appareils photo de la gamme Digital Sight de Nikon peuvent capturer les images d’un échantillon et les transmettre au logiciel de traitement d’images de la suite NIS-Elements, accompagnées des données du microscope sur la lentille objectif, le réglage du grossissement et l’intensité lumineuse, en cas d’utilisation du contrôleur LV-ECON E.

Intégration du microscope LV150N et du chargeur de wafers NWL200

De nombreuses entreprises du secteur des semi-conducteurs font confiance aux chargeurs de wafers de Nikon et les utilisent quotidiennement.

Points clefs du produit

Méthodes de contraste optique universelles

Lumière réfléchie : champ clair, fond sombre, polarisé (POL), à contraste interférentiel différentiel (DIC), épifluorescence et interférométrie à double faisceau.

Accessoires pour composants modulaires

Les composants, des projecteurs aux oculaires, sont sélectionnés pour correspondre aux applications des utilisateurs. Ils comprennent des supports, des platines, des objectifs, des porte-objectifs, des têtes optiques, des oculaires, des caméras numériques, des filtres et des accessoires techniques de contraste.

Communication numérique intelligente

Grâce à un contrôleur LV-ECON E, les microscopes LV150NA et LV150N peuvent détecter et commander la lentille objectif, l’intensité lumineuse, l’ouverture et le contraste épiscopique via le logiciel NIS-Elements de Nikon. Le LV150N détecte et envoie des rapports sur la lentille de l’objectif en utilisant le LV-NU5I et le LV-INAD.

Conception ergonomique

L’emplacement optimal des commandes de l’opérateur et un oculaire à angle variable permettent un travail sans fatigue. L’image droite et redressée permet une observation correcte des matières premières, des semi-conducteurs et des composants industriels.

Fonctions clefs

Inspections de matériaux et de substrats de semi-conducteurs

Les exemples d’applications comprennent l’inspection des substrats de semi-conducteurs et des boîtiers de dispositifs, des écrans plats (FPD), des composants électroniques et des matériaux innovants à l’aide de techniques de contraste épiscopique spécialisées.

Série LV-N de microscopes droits

Série Digital Sight

NIS Elements

Série NWL200 de chargeurs de wafers

LV150NLV150NA
Unité de base :Hauteur maximale de l'échantillon : 38 mm (avec tourelle LVNU5A U5A et la platine LV-S32 3x2 / LV-S64 6x4)
*73 mm lorsqu'il est utilisé avec une réhausse de potence
Source d'alimentation interne de 12 V 50 W avec variateur, avec boutons de réglage grossier et fin
A gauche : réglage grossier et fin / A droite : réglage fin, course de 40 mm
Réglage grossier : 14 mm/tour (avec réglage du couple, mécanisme de recentrage) Réglage fin : 0,1 mm/tour (1 u03bcm/graduation)
Intervalle des trous de montage de la scène : 70 x 94 (fixés par une vis 4-M4)
Tourelles :C-N6 ESD Tourelle sextuple
LV-NU5 Tourelle quintuple ESD universelle Fond clair/Fond Noir
LV-NBD5 BD Tourelle quintuple ESD Fond clair/Fond Noir
LV-NU5I Tourelle quintuple ESD universelle intelligente Fond clair/Fond Noir
LV-NU5A Tourelle quintuple ESD universelle motorisée Fond clair/Fond Noir
LV-NU5 Tourelle quintuple ESD universelle motorisée Fond clair/Fond Noir
Éclairage épiscopique :LV-UEPI-N
LV-LH50PC 12V50W Lampe précentrée, Boîtier de lampe LV-LL à LED
Commutateur Fond clair/Fond noir et diaphragme d'ouverture lié (centrable), diaphragme de champ (centrable)
Accepte u00f8 Filtre de 25 mm (NCB11, ND16, ND4), polariseur/analyseur, u03bb lame, équilibreur de lumière d'excitation ; équipé d'un réducteur de bruit

LV-UEPI2
LV-LH50PC 12V50W Lampe précentrée, Boîtier de lampe LV-LL à LED
Éclairage à fibre précentrée HG : C-HGFIE (avec réglage de la lumière) *option
Source de lumière LED à fluorescence D-LEDI (avec réglage de la lumière (contrôlable par PC) *LV150N uniquement)
Commutateur Fond clair/Fond noir et diaphragme d'ouverture lié (centrable), diaphragme de champ (centrable),
fonction de commutation automatisée des éléments optiques adaptée au Fond clair, au Fond noir et à l'épifluorescence
Accepte u00f8 Filtre de 25 mm (NCB11, ND16, ND4), polariseur/analyseur, u03bb lame, équilibreur de lumière d'excitation ; équipé d'un réducteur de bruit
Tubes d’oculaire (Tête·optique) :LV-TI3 tube trinoculaire ESD (image droite, champ visuel : 22/25)
LV-TT2 TT2 Tête trinoculaire inclinable ESD (image droite, champ visuel : 22/25)
C-TB Tube binoculaire (Image inversée, champ visuel : 22)
P-TB Tube binoculaire (Image inversée, champ visuel : 22)
P-TT2 Tube trinoculaire (Image inversée, champ visuel : 22)
Platines :LV-S32 Platine 3x2 (Course : 75 x 50 mm avec plaque de verre) compatible ESD
LV-S64 Platine 6x4 (Course : 150 x 100 mm avec plaque de verre) compatible ESD
LV-S6 Platine 6x6 (Course : 150 x 150 mm avec plaque de verre) compatible ESD
Oculaires :Séries d’oculaires CFI
Objectifs :Série de lentilles d'objectif pour microscope industriel système optique CFI60-2/CFI60 Combinaisons possibles en fonction de la méthode d'observation
Performance ESD :1000 à 10V, sous 0,2 sec. (hors accessoires)
Consommation de courant
1,2 A/75 W
Poids :Environ 8,6 kgEnviron 8,7 kg
LV150N, LV150NA

Produits associés

NWL_L200N

Séries de chargeurs de wafers NWL200

Les chargeurs de wafers NWL200 de Nikon, à la fois innovants et riches en fonctionnalités, permettent une inspection complète des wafers de semi-conducteurs de 6" (150 mm) et 8" (200 mm) de diamètre à l’aide d’un microscope optique ou d’un système de mesure vidéo, tel que Nikon NEXIV.
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Logiciels

Le logiciel NIS-Elements gère les appareils photo Nikon Digital Sight et les microscopes Nikon afin de capturer les meilleures images en vue de leur traitement. Il organise les images capturées et les traite de manière logique dans un flux de travail homogène.
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