ECLIPSE L300ND, L300N et L200ND, L200N

Une gamme de microscopes pour semi-conducteurs idéale pour l’inspection des circuits intégrés (IC), des écrans plats (FPD), des dispositifs électroniques à grande échelle d’intégration (LSI) et de nombreuses autres applications.
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Microscopes à semi-conducteurs avancés pour l’inspection des dernières fabrications

Les optiques Nikon CFI60-2 d’excellente qualité fournissent des images parfaites aux deux oculaires et aux caméras d’imagerie numérique avec logiciel d’analyse de Nikon. La combinaison de ces optiques haute performance avec un système d’éclairage de pointe permet d’obtenir des images d’un contraste et d’une résolution remarquable.

Points clés du produit

Méthodes de contraste optique universelles

Lumière réfléchie : champ clair, fond sombre, polarisé (POL), à contraste interférentiel différentiel (DIC), épifluorescence et interférométrie à double faisceau. Éclairage par lumière transmise : fond clair, fond noir, polarisation, contraste interférentiel différentiel et contraste de phase.

Concept de design ergonomique

Grâce au positionnement optimal des commandes de l’opérateur et à l’angle variable de l’oculaire, le travail est effectué sans fatigue. L’image droite et redressée permet une observation optimale des matières premières, des semi-conducteurs et des composants industriels.

Série Digital Sight

Utilisées conjointement avec les caméras Digital Sight pour microscopes, elles permettent de capturer efficacement des images haute définition. Les images peuvent être traitées à l’aide du logiciel NIS-Elements afin d’effectuer des mesures et des analyses.

Communication numérique intelligente

Le microscope détecte et commande la lentille objectif utilisée, l’intensité lumineuse, l’éclairage épiscopique et l’ouverture via une connexion USB au logiciel NIS-Elements de Nikon.

Série d’optiques CFI60-2

La conception innovante de Nikon autorise des techniques d’imagerie de contraste optique nettes et très contrastées, en fond clair, fond noir, polarisation (POL), contraste interférentiel différentiel (DIC) et interférométrie à deux ondes.

Intégration du microscope L200N et du chargeur de wafers NWL200

De nombreuses entreprises du secteur des semi-conducteurs font confiance aux chargeurs de wafers de Nikon et les utilisent quotidiennement.

Fonctions clefs

Industries

Les applications sont principalement axées sur les tâches d’inspection dans les secteurs de l’électronique et des télécommunications. Les mesures sur les guides d’ondes des antennes sont d’une extrême précision, de même que celles d’autres composants tels que les wafers pour les dispositifs semi-conducteurs ou photovoltaïques et les microsystèmes électromécaniques (MEMS) utilisés dans les smartphones, les gyroscopes et les accéléromètres, par exemple.

Série L de microscopes droits

Série Digital Sight

NIS Elements

L300NL200NL300NDL200ND
Illumination typeEpiscopicEpiscopic/Diascopic
Main bodyPower sources for motorized control built-in
Motorized control for nosepiece, Light intensity control, Aperture diaphragm control,
Episcopic/Diascopic change-over (L300ND/L200ND only)
NosepieceGeneralMotorized universal sextuple nosepiece
Centering FunctionYes-Yes-
EPI/DIA changeover--YesYes
Focusing mechanismCross travel29 mm
Coarse12.7 mm per rotation (torque adjustable, refocusing mechanism provided)
Fine0.1 mm per rotation (in 1 μm increments)
Episcopic illuminator12V-50W halogen lamp light source built in, LV-LL LED Lamphouse

Observation methods:
Brightfield, Darkfield, Simple polarizing, DIC, Epi-fluorescence (L300N/L300ND/L200ND only)
Diascopic illuminator-12V-50W halogen lamp light source built-in
LV-LL LED Lamphouse
InterfaceUSB x 1, RS232C (for Intensilight) x 1
Eyepiece tubesL2-TTA tilting trinocular tube (tilt angle: 0-30 °)
L2-TT4A tilting trinocular tube (tilt angle: 0-30 °) with centering and focus adjustment mechanism
LV-TI3 trinocular tube (erected image)
StagesL3-S12 14 x 12 stageL2-S8A 8 x 8 stageL3-S12 14 x 12 stageL2-S8A 8 x 8 stage
LV-SHA stage handle adapter attachable to all stages
EyepiecesCFI eyepiece lens series
Objective lensesCFI60-2 / CFI60 objective lens series
Antistatic mechanism1000-10 V, within 0.2 sec
Power consumption1.2 A / 90 W
Weight (approx.)Body Only38 kg31 kg40 kg31 kg

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Composants pour microscope

Les composants pour microscopes Nikon servent à intégrer ces instruments dans des équipements de fabrication ou des systèmes d’inspection exigeant un niveau de précision extrêmement élevé.
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Logiciels

Le logiciel NIS-Elements gère les appareils photo Nikon Digital Sight et les microscopes Nikon afin de capturer les meilleures images en vue de leur traitement. Il organise les images capturées et les traite de manière logique dans un flux de travail homogène.
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