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Séries de chargeurs de wafers NWL200
Chargeur sophistiqué et fiable pour la manipulation d’une grande variété de gaufrettes
La série NWL est une excellente gamme de chargeurs de wafer de semi-conducteurs de Nikon, capables de transférer des wafers de 6″ (150 mm) et de 8″ (200 mm) de diamètre avec une épaisseur allant jusqu’à 100 microns (en option) dans les microscopes Nikon Eclipse L200N et LV150N ou dans le système de mesure vidéo Nikon NEXIV VMZ-S.
Utilisation combinée avec NEXIV – Métrologie par vidéo
Le chargeur de wafers NWL200 associé à un système de mesure vidéo Nikon NEXIV offre une précision, une fiabilité et une rapidité remarquables pour l’inspection des semi-conducteurs dans un environnement de production.
Points clefs du produit
Haute fiabilité pour la fabrication de semi-conducteurs
Lorsque l’alimentation électrique est interrompue inopinément, le mandrin à vide du bras macro reste actif, ce qui permet de déposer les wafers en toute sécurité.
Fonctions d’inspection macro
L’inspection des motifs de la face avant, du périmètre de la face arrière et de la partie centrale de wafer de semi-conducteur est prise en charge. La vitesse de rotation et l’angle d’inclinaison du wafer sont réglés automatiquement ou manuellement.
Conçu pour une capacité de production maximale
Un élévateur rapide de cassettes de wafers doté d’un mécanisme de centrage sans contact permet un alignement véloce et précis des wafers à l’aide d’un système multibras pour les charger et décharger avec la plus grande minutie.
Conception ergonomique
La conception ergonomique du NWL200 facilite son utilisation et son contrôle. La mise en place des wafers dans les encoches et le changement complet des cassettes sont facilités grâce au positionnement à 35 degrés sur la gauche.
Fonctions clefs
Produits associés
ECLIPSE LV150NA et LV150N
ECLIPSE L300ND, L300N et L200ND, L200N
Gamme NEXIV VMZ-S
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