高精度・高速測定
対物レンズの切り替え無しで、シームレスな光学ズームを実現。視野が広い低倍率側で測定箇所を確認し、高倍率側で微細なサンプルも明るく鮮明な画像で測定します。
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NEXIV VMZ-Sシリーズ
さまざまなサンプルをカバーする汎用モデルです。μm台の公差管理を高速/高精度/使いやすく行えます。
さまざまなサンプルをカバーする汎用モデル
専用光学系とTTLレーザーAFを標準搭載。サンプルサイズに応じてストロークの異なる3モデルをラインアップしています。多様な測定ニーズに対して高速·高精度な測定を実現します。
主な特長
6種類の高NA光学ズームヘッド
専用設計された6種類の高NA光学ズームヘッドから目的に応じてお選びいただけます。
TTL (Through The Lens) レーザーAF
多用途に対応する画像AFに加え、高精度・高速高さ測定も可能なTTL レーザーAFを標準搭載しています。
多彩な照明方法
サンプルに合わせた照明条件の設定が可能。難しい形状でも正確にエッジを検出します。
サーチ機能
サンプルの置き方や部品の位置ズレを自動補正。スムーズな連続自動測定を実現します。
特長・機能
3種類の入射角に対応した8分割LEDリング照明
すべての照明系に白色LEDを採用し、安定性と長寿命を実現。3種類の入射角が選択できる8方向リング照明で、エッジ検出が難しい段差や面取りのあるサンプルでも安定した自動測定を可能にします。
高精度・高速測定が可能なTTLレーザーAF
1000点/秒の高速レーザースキャンが可能なTTL（Through The Lens）レーザーAFで、高速・高精度な高さ測定とサンプルの表面形状取得が可能です。※タイプAでは利用不可
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| モデル | VMZ-S3020 | VMZ-S4540 | VMZ-S6555 |
| ストロークXYZ | 300×200×200 mm * タイプTZ低倍対物使用時: 250×200×200 mm | 450x400x200 mm * タイプTZ低倍対物使用時:400x400x200mm | 650x550x200 mm * タイプTZ低倍対物使用時: 600x550x200mm |
| 最小表示単位 | 0.01 μm | ||
| 被検物最大質量 | 20 kg (精度保証値: 5 kg) | 40 kg (精度保証値: 20 kg) | 50 kg (精度保証値: 30 kg) |
| 測定精度 (Lは測定長さ (mm) | EUX, MPE EUY, MPE 1.2 + 4L / 1000 µm EUXY, MPE 2.0 + 4L / 1000 µm EUZ, MPE1.2 + 5L / 1000 µm |
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| 最大許容プロービング誤差 1),2): MPE PF2D 0.8 µm 最大プローブプロービング誤差 1),2): MPE PFV2D 0.3 µm |
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| カメラ | 白黒/カラー 1/3型CMOS | ||
| 作動距離 | Type 1 ～ 3: 50mm Type 4: 30mm Type TZ:(高倍) 11 mm / (低倍) 32 mm Type A: 73.5 mm (レーザーAF部:63 mm) |
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| レーザーAF 繰り返し精度 1),3) | 2σ ≦ 0.5 µm | ||
| 照明 | Type 1 ～ 4 : 垂直落射、透過、8分割リング照明(全系統白色LED光源/タイプ1,2,3は3角度、タイプ4は1角度) タイプTZ:垂直落射、透過(VMZ-S3020の低倍側を除く)、暗視野照明 タイプA:垂直落射、透過、8分割リング照明(全系統白色LED光源/1角度) |
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| 供給電源、 消費電力 | AC100 V-240 V, 50/60 Hz / 4 A − 2 A | ||
| 寸法(W×D×H)/質量 | 本体部:700×730×1793 mm / 約265 kg コントローラー:190×450×450 mm / 約12 kg | 本体部: 1000×1340×1818 mm / 約510 kg コントローラー:190×450×450 mm / 約12 kg | 本体部:1200×1640×1818 mm / 約 740 kg コントローラー: 190×450×450 mm / 約 12 kg |
| 設置寸法 (W×D) 4) | 2700×2400 mm | 3000×3000 mm | 3200×3300 mm |
1）自社が定めた評価方法による。 2）タイプ2ヘッド、15倍時 3）サンプル：キャリブレーションプレートのクロム面。タイプAヘッドを除く。
4）メンテナンススペースを含む。
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